In vandag se halfgeleiervervaardigingsbedryf is plasma-etser en turbomolekulêre pomp twee belangrike sleuteltegnologieë.'n Plasma-etser is 'n noodsaaklike hulpmiddel in die vervaardiging van mikro-elektroniese komponente, terwyl 'n turbomolekulêre pomp ontwerp is vir hoë vakuum en hoë pompspoed.In hierdie artikel bespreek ons die rol en belangrikheid van turbomolekulêre pompe in plasma-etsers.
Inhoud
1. Werksbeginsel van plasma-etsmasjien
2. Werksbeginsel van turbomolekulêre pomp
3. Toepassing van turbomolekulêre pomp in plasma-etsmasjien
4. Voordele en beperkings van turbomolekulêre pompe
5. Gevolgtrekking
1. Werksbeginsel van plasma-etsmasjien:
'n Plasma-etser is 'n instrument om materiaal te verwerk deur plasma in 'n vakuumkamer te gebruik.Plasma is 'n versameling gelaaide deeltjies wat deur gasionisasie geproduseer word.Die digtheid en rigting van beweging van plasma kan beheer word deur hoëfrekwensie elektriese of magnetiese velde.Tydens plasma-ets tref 'n plasma die oppervlak van die werkmateriaal en lig dit af of erodeer dit, wat die gewenste struktuur skep.
'n Groot hoeveelheid uitlaatgas word egter tydens plasma-ets gegenereer.Hierdie uitlaatgasse sluit in werkende materiale en onsuiwerhede in die gas, ens., wat deur die vakuumstelsel ontslaan moet word.Daarom benodig die plasma-etsmasjien 'n doeltreffende vakuumstelsel om die stabiliteit en akkuraatheid van die etsproses te verseker.
2. Werksbeginsel van turbomolekulêre pomp:
Turbomolekulêre pompe is een van die mees gebruikte hoëpompspoedpompe in vakuumstelsels.Dit werk deur 'n stel hoëspoed-roterende waaiers te draai om die gas uit die vakuumkamer te pomp en die gas in die atmosfeer te verdryf.In 'n turbomolekulêre pomp gaan gas eers 'n rugpomp binne waar dit in 'n hoëdrukgebied saamgepers word voordat dit na die turbomolekulêre pomp gestuur word.
In 'n turbomolekulêre pomp word die gas deur 'n roterende waaier gepomp, terwyl die gas in 'n molekulêre pomp in kleiner molekules afgebreek word.Turbomolekulêre pompe kan hoë vakuum verskaf, en hul pompspoed kan 500 ~ 6000 L/s bereik.Vir plasma-etsmasjiene wat hoë vakuum benodig, is turbomolekulêre pompe 'n onontbeerlike deel.
3. Toepassing van turbomolekulêre pomp in plasma-etsmasjien:
Turbomolekulêre pompe word wyd gebruik in plasma-etsmasjiene.In die vakuumstelsel van 'n plasma-etsmasjien word 'n turbomolekulêre pomp gewoonlik as die hoofpomp gebruik om hoë vakuum te help bereik.Wanneer die plasma die oppervlak tref, produseer dit 'n groot hoeveelheid uitlaatgas, insluitend oorblywende grondstowwe en chemiese reaksieprodukte.Hierdie uitlaatgasse moet vinnig en doeltreffend uit die vakuumkamer gepomp word om die stabiliteit en betroubaarheid van die plasma-etsproses te verseker.
Die hoë pompspoed en hoë vakuum van turbomolekulêre pompe maak hulle ideale pompe.In 'n plasma-etser word die turbomolekulêre pomp gewoonlik in 'n aparte pompeenheid geplaas vir maklike beheer van vakuum en druk.Terselfdertyd, om die turbomolekulêre pomp te beskerm, is dit nodig om 'n laag meganiese pomp en 'n drukverminderingsklep voor die turbomolekulêre pomp te installeer om oormatige druk en skade aan die turbomolekulêre pomp te vermy.
4. Voordele en beperkings van turbomolekulêre pompe:
Turbomolekulêre pompe het baie voordele, soos hoë pompspoed, hoë vakuum, lae geraas en hoë betroubaarheid.Die hoë pompspoed van die turbomolekulêre pomp kan die vakuumgraad verhoog, en kan terselfdertyd die pomptyd verminder en sodoende die produksiedoeltreffendheid verhoog.Die lae geraas en hoë betroubaarheid van die turbomolekulêre pomp is ook een van sy voordele, wat beteken dat die turbomolekulêre pomp doeltreffende werking vir 'n langer tydperk kan handhaaf, wat die aantal onderhoud en vervanging verminder.
Turbomolekulêre pompe het egter ook sekere beperkings, soos lae pompdoeltreffendheid vir sekere gasse.Byvoorbeeld, turbomolekulêre pompe het 'n lae ekstraksiedoeltreffendheid vir waterstof, en turbomolekulêre pompe het ook sekere vereistes vir gasdruk en temperatuur.Daarom, in praktiese toepassings, is dit nodig om die tipe en werkparameters van die turbomolekulêre pomp volgens die spesifieke situasie te kies om die normale en doeltreffende werking daarvan te verseker.
5.Gevolgtrekking:
In die halfgeleiervervaardigingsproses is die plasma-etsmasjien een van die baie belangrike toerusting.In die vakuumstelsel van die plasma-etsmasjien speel die turbomolekulêre pomp, as die hoofpomp, 'n belangrike rol in die bereiking van hoë vakuum en stabiele plasma-etsproses.Turbomolekulêre pompe het hoë pompspoed, hoë vakuum, lae geraas en optimalisering om aan hoër tegniese vereistes te voldoen.
Oor die algemeen is die rol van die turbomolekulêre pomp in die plasma-etsmasjien onvervangbaar.In die halfgeleiervervaardigingsbedryf het die turbomolekulêre pomp een van die nodige toerusting geword, wat 'n belangrike rol speel om die werkverrigting en stabiliteit van die plasma-etsmasjien te verseker.Met die voortdurende ontwikkeling en vooruitgang van halfgeleiertegnologie, sal die aanvraag en omvang van die gebruik van turbomolekulêre pompe steeds uitbrei.Daarom moet turbomolekulêre pompvervaardigers voortdurend produkprestasie en kwaliteit verbeter om aan die halfgeleiervervaardigingsbedryf se vraag na hoër werkverrigting en meer stabiele toerusting te voldoen.
Kopieregkennisgewing:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. bepleit respek en beskerming van intellektuele eiendomsregte en dui die bron van artikels met duidelike bronne aan.As jy vind dat daar kopiereg of ander probleme in die inhoud van hierdie webwerf is, kontak ons asseblief om dit te hanteer.Kontak inligting:marketing01@gpmcn.com
Postyd: 20 Okt-2023