Bugünkü yarımkeçirici istehsal sənayesində plazma etcher və turbomolekulyar nasos iki mühüm əsas texnologiyadır.Plazma aşındırıcı mikroelektronik komponentlərin hazırlanmasında mühüm vasitədir, turbomolekulyar nasos isə yüksək vakuum və yüksək nasos sürəti üçün nəzərdə tutulmuşdur.Bu yazıda biz plazma etçerlərində turbomolekulyar nasosların rolunu və əhəmiyyətini müzakirə edirik.
Məzmun
1. Plazma aşındırma maşınının iş prinsipi
2. Turbomolekulyar nasosun iş prinsipi
3. Plazma aşındırma maşınında turbomolekulyar nasosun tətbiqi
4. Turbomolekulyar nasosların üstünlükləri və məhdudiyyətləri
5. Nəticə
1. Plazma aşındırma maşınının iş prinsipi:
Plazma aşındırıcısı vakuum kamerasında plazmadan istifadə edərək materialların emalı üçün bir vasitədir.Plazma qazın ionlaşması nəticəsində yaranan yüklü hissəciklərin toplusudur.Plazmanın sıxlığı və hərəkət istiqaməti yüksək tezlikli elektrik və ya maqnit sahələri ilə idarə oluna bilər.Plazma aşındırma zamanı plazma işçi materialın səthinə dəyir və onu qaldırır və ya aşındıraraq istənilən strukturu yaradır.
Bununla belə, plazmanın aşındırılması zamanı çox miqdarda işlənmiş qaz əmələ gəlir.Bu işlənmiş qazlara vakuum sistemi vasitəsilə atılmalı olan iş materialları və qazdakı çirklər və s. daxildir.Buna görə də, aşındırma prosesinin sabitliyini və dəqiqliyini təmin etmək üçün plazma aşındırma maşınının səmərəli vakuum sisteminə ehtiyacı var.
2. Turbomolekulyar nasosun iş prinsipi:
Turbomolekulyar nasoslar vakuum sistemlərində ən çox istifadə edilən yüksək nasos sürətli nasoslardan biridir.Qazı vakuum kamerasından çıxarmaq və qazı atmosferə atmaq üçün yüksək sürətli fırlanan çarxlar dəstini fırlatmaqla işləyir.Turbomolekulyar nasosda qaz əvvəlcə arxa nasosa daxil olur və burada turbomolekulyar nasosa göndərilməzdən əvvəl yüksək təzyiq bölgəsinə sıxılır.
Turbomolekulyar nasosda qaz fırlanan çarx vasitəsilə vurulur, molekulyar nasosda isə qaz daha kiçik molekullara parçalanır.Turbomolekulyar nasoslar yüksək vakuum təmin edə bilər və onların nasos sürəti 500~6000 L/s-ə çata bilər.Yüksək vakuum tələb edən plazma aşındırma maşınları üçün turbomolekulyar nasoslar əvəzedilməz hissədir.
3. Plazma aşındırma maşınında turbomolekulyar nasosun tətbiqi:
Turbomolekulyar nasoslar plazma aşındırma maşınlarında geniş istifadə olunur.Plazma aşındırma maşınının vakuum sistemində yüksək vakuuma nail olmaq üçün əsas nasos kimi adətən turbomolekulyar nasosdan istifadə edilir.Plazma səthə dəydikdə, qalıq xammal və kimyəvi reaksiya məhsulları da daxil olmaqla çoxlu miqdarda işlənmiş qaz əmələ gətirir.Plazma aşındırma prosesinin sabitliyini və etibarlılığını təmin etmək üçün bu işlənmiş qazların vakuum kamerasından tez və səmərəli şəkildə çıxarılması lazımdır.
Turbomolekulyar nasosların yüksək nasos sürəti və yüksək vakuumu onları ideal nasoslar edir.Plazma etcherində turbomolekulyar nasos adətən vakuum və təzyiqə asan nəzarət etmək üçün ayrıca nasos qurğusuna yerləşdirilir.Eyni zamanda, turbomolekulyar nasosu qorumaq üçün həddindən artıq təzyiq və turbomolekulyar nasosun zədələnməsinin qarşısını almaq üçün turbomolekulyar nasosun qarşısında mexaniki nasos təbəqəsi və təzyiq azaldıcı klapan quraşdırmaq lazımdır.
4. Turbomolekulyar nasosların üstünlükləri və məhdudiyyətləri:
Turbomolekulyar nasoslar yüksək nasos sürəti, yüksək vakuum, aşağı səs-küy və yüksək etibarlılıq kimi bir çox üstünlüklərə malikdir.Turbomolekulyar nasosun yüksək nasos sürəti vakuum dərəcəsini artıra bilər və eyni zamanda nasos vaxtını azalda bilər və bununla da istehsal səmərəliliyini artırır.Turbomolekulyar nasosun aşağı səs-küy və yüksək etibarlılığı da onun üstünlüklərindən biridir ki, bu da turbomolekulyar nasosun daha uzun müddət səmərəli işləməsini təmin edərək, texniki xidmət və dəyişdirmə sayını azalda bilər.
Bununla belə, turbomolekulyar nasoslar da müəyyən qazlar üçün aşağı nasos səmərəliliyi kimi bəzi məhdudiyyətlərə malikdir.Məsələn, turbomolekulyar nasoslar hidrogen üçün aşağı hasilat səmərəliliyinə malikdir və turbomolekulyar nasoslar da qaz təzyiqi və temperaturu üçün müəyyən tələblərə malikdir.Buna görə də praktik tətbiqlərdə onun normal və səmərəli işləməsini təmin etmək üçün turbomolekulyar nasosun tipini və iş parametrlərini konkret vəziyyətə uyğun seçmək lazımdır.
5. Nəticə:
Yarımkeçiricilərin istehsalı prosesində plazma aşındırma maşını çox vacib avadanlıqlardan biridir.Plazma aşındırma maşınının vakuum sistemində əsas nasos kimi turbomolekulyar nasos yüksək vakuum və sabit plazma aşındırma prosesinə nail olmaqda mühüm rol oynayır.Turbomolekulyar nasoslar yüksək nasos sürəti, yüksək vakuum, aşağı səs-küy və daha yüksək texniki tələblərə cavab verən optimallaşdırmaya malikdir.
Ümumiyyətlə, plazma aşındırma maşınında turbomolekulyar nasosun rolu əvəzsizdir.Yarımkeçiricilərin istehsalı sənayesində turbomolekulyar nasos plazma aşındırma maşınının işini və dayanıqlığını təmin etməkdə mühüm rol oynayan zəruri avadanlıqlardan birinə çevrilmişdir.Yarımkeçirici texnologiyanın davamlı inkişafı və tərəqqisi ilə turbomolekulyar nasoslara tələbat və istifadə sahəsi genişlənməyə davam edəcəkdir.Buna görə də, turbomolekulyar nasos istehsalçıları yarımkeçiricilər istehsalı sənayesinin daha yüksək performansa və daha sabit avadanlıqlara olan tələbatını ödəmək üçün məhsulun performansını və keyfiyyətini davamlı olaraq yaxşılaşdırmalıdırlar.
Müəlliflik hüququ bildirişi:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. əqli mülkiyyət hüquqlarına hörmət və mühafizəni müdafiə edir və aydın mənbələrlə məqalələrin mənbəyini göstərir.Bu veb-saytın məzmununda müəllif hüququ və ya digər problemlərin olduğunu görsəniz, lütfən, bununla məşğul olmaq üçün bizimlə əlaqə saxlayın.Əlaqə məlumatı:marketing01@gpmcn.com
Göndərmə vaxtı: 20 oktyabr 2023-cü il