У сучаснай індустрыі вытворчасці паўправаднікоў плазменнае траўленне і турбамалекулярны помпа з'яўляюцца дзвюма важнымі ключавымі тэхналогіямі.Плазменны труцільнік з'яўляецца важным інструментам у вытворчасці мікраэлектронных кампанентаў, у той час як турбамалекулярны помпа прызначаны для высокага вакууму і высокай хуткасці адпампоўкі.У гэтым артыкуле мы абмяркуем ролю і значэнне турбамалекулярных помпаў у плазменных труцільніках.
Змест
1. Прынцып працы машыны для плазменнага тручэння
2. Прынцып работы турбамалекулярнай помпы
3. Прымяненне турбамалекулярнай помпы ў машыне плазменнага тручэння
4. Перавагі і недахопы турбамалекулярных помпаў
5. Заключэнне
1. Прынцып працы машыны для плазменнага тручэння:
Плазменны травільнік - гэта прылада для апрацоўкі матэрыялаў з дапамогай плазмы ў вакуумнай камеры.Плазма - гэта сукупнасць зараджаных часціц, якія ўтвараюцца ў выніку іянізацыі газу.Шчыльнасць і кірунак руху плазмы можна кантраляваць з дапамогай высокачашчынных электрычных або магнітных палёў.Падчас плазменнага тручэння плазма трапляе на паверхню працоўнага матэрыялу і адрывае яго або раз'ядае, ствараючы патрэбную структуру.
Аднак падчас плазменнага тручэння ўтвараецца вялікая колькасць выхлапных газаў.Гэтыя выхлапныя газы ўключаюць у сябе працоўныя рэчывы і прымешкі ў газе і г.д., якія неабходна выводзіць праз вакуумную сістэму.Такім чынам, машына для плазменнага тручэння патрабуе эфектыўнай вакуумнай сістэмы для забеспячэння стабільнасці і дакладнасці працэсу тручэння.
2. Прынцып працы турбамалекулярнага помпы:
Турбамалекулярныя помпы з'яўляюцца аднымі з найбольш часта выкарыстоўваюцца высокахуткасных помпаў у вакуумных сістэмах.Ён працуе, круцячы набор высакахуткасных верціцца крыльчатак, каб выпампоўваць газ з вакуумнай камеры і выкідваць газ у атмасферу.У турбамалекулярным помпе газ спачатку паступае ў рэзервовы помпа, дзе ён сціскаецца ў вобласць высокага ціску, перш чым накіроўвацца ў турбамалекулярны помпа.
У турбамалекулярным помпе газ перапампоўваецца праз верціцца працоўнае кола, у той час як у малекулярным помпе газ расшчапляецца на больш дробныя малекулы.Турбамалекулярныя помпы могуць забяспечваць высокі вакуум, а іх хуткасць адпампоўкі можа дасягаць 500~6000 л/с.Для машын плазменнага тручэння, якія патрабуюць высокага вакууму, турбамалекулярныя помпы з'яўляюцца незаменнай часткай.
3. Прымяненне турбамалекулярнай помпы ў машыне плазменнага тручэння:
Турбамалекулярныя помпы шырока выкарыстоўваюцца ў машынах плазменнага тручэння.У вакуумнай сістэме машыны плазменнага тручэння турбамалекулярны помпа звычайна выкарыстоўваецца ў якасці асноўнага помпы для дасягнення высокага вакууму.Калі плазма трапляе на паверхню, яна вырабляе вялікую колькасць выхлапных газаў, уключаючы рэшткавую сыравіну і прадукты хімічнай рэакцыі.Гэтыя выхлапныя газы неабходна хутка і эфектыўна адпампоўваць з вакуумнай камеры, каб забяспечыць стабільнасць і надзейнасць працэсу плазменнага тручэння.
Высокая хуткасць адпампоўкі і высокі вакуум турбамалекулярных помпаў робяць іх ідэальнымі помпамі.У плазменным травіцелі турбамалекулярны помпа звычайна размяшчаецца ў асобным помпавым агрэгаце для лёгкага кантролю вакууму і ціску.У той жа час, каб абараніць турбамалекулярны помпа, неабходна ўсталяваць пласт механічнага помпы і рэдукцыйны клапан перад турбамалекулярным помпай, каб пазбегнуць празмернага ціску і пашкоджання турбамалекулярнага помпы.
4. Перавагі і абмежаванні турбамалекулярных помпаў:
Турбамалекулярныя помпы маюць шмат пераваг, такіх як высокая хуткасць адпампоўкі, высокі вакуум, нізкі ўзровень шуму і высокая надзейнасць.Высокая хуткасць адпампоўкі турбамалекулярнай помпы можа павялічыць ступень вакууму і ў той жа час можа скараціць час адпампоўкі, тым самым павялічваючы эфектыўнасць вытворчасці.Нізкі ўзровень шуму і высокая надзейнасць турбамалекулярнага помпы таксама з'яўляецца адной з яго пераваг, што азначае, што турбамалекулярны помпа можа падтрымліваць эфектыўную працу на працягу больш доўгага перыяду часу, памяншаючы колькасць абслугоўвання і замены.
Аднак турбамалекулярныя помпы таксама маюць некаторыя абмежаванні, такія як нізкая эфектыўнасць перапампоўвання некаторых газаў.Напрыклад, турбамалекулярныя помпы маюць нізкую эфектыўнасць экстракцыі вадароду, а турбамалекулярныя помпы таксама маюць пэўныя патрабаванні да ціску і тэмпературы газу.Такім чынам, у практычных прымяненнях неабходна выбіраць тып і працоўныя параметры турбамалекулярнага помпы ў адпаведнасці з канкрэтнай сітуацыяй, каб забяспечыць яго нармальную і эфектыўную працу.
5. Выснова:
У працэсе вытворчасці паўправаднікоў машына для плазменнага тручэння з'яўляецца адным з вельмі важных прылад.У вакуумнай сістэме машыны для плазменнага тручэння турбамалекулярны помпа як галоўны помпа адыгрывае важную ролю ў дасягненні высокага вакууму і стабільнага працэсу плазменнага тручэння.Турбамалекулярныя помпы маюць высокую хуткасць адпампоўкі, высокі вакуум, нізкі ўзровень шуму і аптымізацыю для задавальнення больш высокіх тэхнічных патрабаванняў.
Наогул, роля турбамалекулярнай помпы ў машыне плазменнага тручэння незаменная.У вытворчасці паўправаднікоў турбамалекулярны помпа стаў адным з неабходных прылад, якія адыгрываюць важную ролю ў забеспячэнні прадукцыйнасці і стабільнасці машыны для плазменнага тручэння.З бесперапынным развіццём і прагрэсам паўправадніковых тэхналогій попыт і сфера выкарыстання турбамалекулярных помпаў будуць працягваць пашырацца.Такім чынам, вытворцам турбамалекулярных помпаў неабходна пастаянна паляпшаць прадукцыйнасць і якасць прадукцыі, каб задаволіць попыт індустрыі вытворчасці паўправаднікоў на больш высокую прадукцыйнасць і больш стабільнае абсталяванне.
Паведамленне аб аўтарскім праве:
GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Ltd. выступае за павагу і абарону правоў інтэлектуальнай уласнасці і паказвае крыніцу артыкулаў з дакладнымі крыніцамі.Калі вы выявіце, што ў змесце гэтага вэб-сайта ёсць праблемы з аўтарскім правам або іншыя праблемы, звяжыцеся з намі, каб вырашыць іх.Кантактная інфармацыя:marketing01@gpmcn.com
Час публікацыі: 20 кастрычніка 2023 г