В днешната промишленост за производство на полупроводници, плазменото ецване и турбомолекулярната помпа са две важни ключови технологии.Плазменият ецчер е основен инструмент при производството на микроелектронни компоненти, докато турбомолекулярната помпа е проектирана за висок вакуум и висока скорост на изпомпване.В тази статия обсъждаме ролята и значението на турбомолекулярните помпи в плазмените ецващи машини.
Съдържание
1. Принцип на работа на машината за плазмено ецване
2. Принцип на работа на турбомолекулярната помпа
3. Приложение на турбомолекулярна помпа в машина за плазмено ецване
4. Предимства и ограничения на турбомолекулярните помпи
5. Заключение
1. Принцип на работа на машината за плазмено ецване:
Плазменият ецчер е инструмент за обработка на материали чрез използване на плазма във вакуумна камера.Плазмата е колекция от заредени частици, получени от йонизация на газ.Плътността и посоката на движение на плазмата могат да се контролират от високочестотни електрически или магнитни полета.По време на плазменото ецване плазмата удря повърхността на работния материал и го повдига или разяжда, създавайки желаната структура.
По време на плазменото ецване обаче се генерира голямо количество отработен газ.Тези отработени газове включват работни материали и примеси в газа и т.н., които трябва да бъдат изхвърлени през вакуумната система.Следователно машината за плазмено ецване се нуждае от ефективна вакуумна система, за да се гарантира стабилността и точността на процеса на ецване.
2. Принцип на работа на турбомолекулярната помпа:
Турбомолекулярните помпи са едни от най-често използваните високоскоростни помпи във вакуумни системи.Той работи чрез завъртане на набор от високоскоростни въртящи се колела, за да изпомпва газа от вакуумната камера и да изхвърля газа в атмосферата.В турбомолекулярната помпа газът първо влиза в поддържаща помпа, където се компресира в област с високо налягане, преди да бъде изпратен към турбомолекулярната помпа.
В турбомолекулярната помпа газът се изпомпва през въртящо се работно колело, докато в молекулярната помпа газът се разгражда на по-малки молекули.Турбомолекулярните помпи могат да осигурят висок вакуум и тяхната скорост на изпомпване може да достигне 500~6000 L/s.За машини за плазмено ецване, които изискват висок вакуум, турбомолекулярните помпи са незаменима част.
3. Приложение на турбомолекулярна помпа в машина за плазмено ецване:
Турбомолекулярните помпи се използват широко в машини за плазмено ецване.Във вакуумната система на машина за плазмено ецване обикновено се използва турбомолекулярна помпа като основна помпа, за да се постигне висок вакуум.Когато плазмата удари повърхността, тя произвежда голямо количество отработен газ, включително остатъчни суровини и продукти от химическа реакция.Тези изгорели газове трябва да бъдат изпомпвани от вакуумната камера бързо и ефективно, за да се гарантира стабилността и надеждността на процеса на плазмено ецване.
Високата скорост на изпомпване и високият вакуум на турбомолекулярните помпи ги правят идеални помпи.В плазмената машина за ецване турбомолекулярната помпа обикновено се поставя в отделна помпа за лесно управление на вакуума и налягането.В същото време, за да се защити турбомолекулярната помпа, е необходимо да се монтира слой от механична помпа и редуцир на налягането пред турбомолекулярната помпа, за да се избегне прекомерно налягане и повреда на турбомолекулярната помпа.
4. Предимства и ограничения на турбомолекулярните помпи:
Турбомолекулярните помпи имат много предимства, като висока скорост на изпомпване, висок вакуум, нисък шум и висока надеждност.Високата скорост на изпомпване на турбомолекулярната помпа може да увеличи степента на вакуум и в същото време може да намали времето за изпомпване, като по този начин увеличи ефективността на производството.Ниският шум и високата надеждност на турбомолекулярната помпа също е едно от нейните предимства, което означава, че турбомолекулярната помпа може да поддържа ефективна работа за по-дълъг период от време, намалявайки броя на поддръжката и подмяната.
Турбомолекулярните помпи обаче имат и някои ограничения, като ниска ефективност на изпомпване за определени газове.Например турбомолекулярните помпи имат ниска ефективност на извличане на водород, а турбомолекулярните помпи също имат определени изисквания за налягане и температура на газа.Следователно в практическите приложения е необходимо да се изберат типът и работните параметри на турбомолекулярната помпа според конкретната ситуация, за да се осигури нейната нормална и ефективна работа.
5. Заключение:
В процеса на производство на полупроводници машината за плазмено ецване е едно от много важните съоръжения.Във вакуумната система на машината за плазмено ецване турбомолекулярната помпа, като основна помпа, играе жизненоважна роля за постигане на висок вакуум и стабилен процес на плазмено ецване.Турбомолекулярните помпи имат висока скорост на изпомпване, висок вакуум, нисък шум и оптимизация, за да отговорят на по-високи технически изисквания.
Най-общо казано, ролята на турбомолекулярната помпа в машината за плазмено ецване е незаменима.В индустрията за производство на полупроводници турбомолекулярната помпа се превърна в едно от необходимите съоръжения, което играе важна роля за осигуряване на производителност и стабилност на машината за плазмено ецване.С непрекъснатото развитие и прогрес на полупроводниковата технология, търсенето и обхватът на използване на турбомолекулярни помпи ще продължат да се разширяват.Следователно производителите на турбомолекулярни помпи трябва непрекъснато да подобряват производителността и качеството на продуктите, за да отговорят на търсенето на индустрията за производство на полупроводници за по-висока производителност и по-стабилно оборудване.
Известие за авторски права:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. се застъпва за зачитането и защитата на правата на интелектуална собственост и посочва източника на статиите с ясни източници.Ако установите, че има проблеми с авторски права или други проблеми в съдържанието на този уебсайт, моля свържете се с нас, за да се справим с тях.Информация за връзка:marketing01@gpmcn.com
Време на публикуване: 20 октомври 2023 г