I nutidens halvlederfremstillingsindustri er plasmaætser og turbomolekylær pumpe to vigtige nøgleteknologier.En plasmaætser er et vigtigt værktøj i fremstillingen af mikroelektroniske komponenter, mens en turbomolekylær pumpe er designet til højt vakuum og høj pumpehastighed.I denne artikel diskuterer vi rollen og betydningen af turbomolekylære pumper i plasmaætsere.
Indhold
1. Arbejdsprincip for plasma ætsemaskine
2. Arbejdsprincip for turbomolekylær pumpe
3. Anvendelse af turbomolekylær pumpe i plasma ætsemaskine
4. Fordele og begrænsninger ved turbomolekylære pumper
5. Konklusion
1. Arbejdsprincip for plasma ætsemaskine:
En plasmaætser er et værktøj til behandling af materialer ved at bruge plasma i et vakuumkammer.Plasma er en samling af ladede partikler produceret ved gasionisering.Plasmas tæthed og bevægelsesretning kan styres af højfrekvente elektriske eller magnetiske felter.Under plasmaætsning rammer et plasma overfladen af arbejdsmaterialet og løfter det af eller eroderer det, hvilket skaber den ønskede struktur.
Der dannes imidlertid en stor mængde udstødningsgas under plasmaætsning.Disse udstødningsgasser omfatter arbejdsmaterialer og urenheder i gassen osv., som skal udledes gennem vakuumsystemet.Derfor har plasmaætsemaskinen brug for et effektivt vakuumsystem for at sikre stabiliteten og nøjagtigheden af ætseprocessen.
2. Arbejdsprincip for turbomolekylær pumpe:
Turbomolekylære pumper er en af de mest almindeligt anvendte højpumpehastighedspumper i vakuumsystemer.Det fungerer ved at dreje et sæt højhastigheds roterende pumpehjul for at pumpe gassen ud af vakuumkammeret og uddrive gassen ud i atmosfæren.I en turbomolekylær pumpe kommer gas først ind i en støttepumpe, hvor den komprimeres til et højtryksområde, før den sendes til den turbomolekylære pumpe.
I en turbomolekylær pumpe pumpes gassen gennem et roterende pumpehjul, mens gassen i en molekylær pumpe nedbrydes til mindre molekyler.Turbomolekylære pumper kan give højt vakuum, og deres pumpehastighed kan nå 500 ~ 6000 L/s.Til plasmaætsningsmaskiner, der kræver højvakuum, er turbomolekylære pumper en uundværlig del.
3. Anvendelse af turbomolekylær pumpe i plasma ætsemaskine:
Turbomolekylære pumper er meget udbredt i plasmaætsemaskiner.I vakuumsystemet i en plasmaætsemaskine bruges en turbomolekylær pumpe normalt som hovedpumpe for at hjælpe med at opnå højvakuum.Når plasmaet rammer overfladen, producerer det en stor mængde udstødningsgas, herunder restråmaterialer og kemiske reaktionsprodukter.Disse udstødningsgasser skal pumpes ud af vakuumkammeret hurtigt og effektivt for at sikre stabiliteten og pålideligheden af plasmaætningsprocessen.
Turbomolekylære pumpers høje pumpehastighed og høje vakuum gør dem til ideelle pumper.I en plasmaætser er den turbomolekylære pumpe normalt placeret i en separat pumpeenhed for nem kontrol af vakuum og tryk.For at beskytte den turbomolekylære pumpe er det samtidig nødvendigt at installere et lag af mekanisk pumpe og en trykreduktionsventil foran den turbomolekylære pumpe for at undgå for højt tryk og beskadigelse af turbomolekylærpumpen.
4. Fordele og begrænsninger ved turbomolekylære pumper:
Turbomolekylære pumper har mange fordele, såsom høj pumpehastighed, højt vakuum, lav støj og høj pålidelighed.Turbomolekylærpumpens høje pumpehastighed kan øge vakuumgraden og kan samtidig reducere pumpetiden og derved øge produktionseffektiviteten.Turbomolekylærpumpens lave støj og høje pålidelighed er også en af dens fordele, hvilket betyder, at turbomolekylærpumpen kan opretholde en effektiv drift i længere tid, hvilket reducerer antallet af vedligeholdelse og udskiftning.
Turbomolekylære pumper har dog også nogle begrænsninger, såsom lav pumpeeffektivitet for visse gasser.For eksempel har turbomolekylære pumper lav ekstraktionseffektivitet for brint, og turbomolekylære pumper har også visse krav til gastryk og temperatur.Derfor er det i praktiske applikationer nødvendigt at vælge turbomolekylærpumpens type og arbejdsparametre i henhold til den specifikke situation for at sikre dens normale og effektive drift.
5. Konklusion:
I halvlederfremstillingsprocessen er plasmaætsemaskinen et af de meget vigtige udstyr.I plasmaætsemaskinens vakuumsystem spiller den turbomolekylære pumpe, som hovedpumpen, en afgørende rolle for at opnå højvakuum og stabil plasmaætsningsproces.Turbomolekylære pumper har høj pumpehastighed, højt vakuum, lavt støjniveau og optimering for at opfylde højere tekniske krav.
Generelt set er den turbomolekylære pumpes rolle i plasmaætsemaskinen uerstattelig.I halvlederfremstillingsindustrien er den turbomolekylære pumpe blevet et af det nødvendige udstyr, som spiller en vigtig rolle i at sikre ydeevnen og stabiliteten af plasmaætsemaskinen.Med den kontinuerlige udvikling og fremskridt inden for halvlederteknologi vil efterspørgslen og anvendelsesområdet for turbomolekylære pumper fortsætte med at udvide sig.Derfor er turbomolekylære pumpeproducenter nødt til løbende at forbedre produktets ydeevne og kvalitet for at imødekomme halvlederfremstillingsindustriens krav om højere ydeevne og mere stabilt udstyr.
Ophavsretsmeddelelse:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. går ind for respekt og beskyttelse af intellektuelle ejendomsrettigheder og angiver kilden til artikler med klare kilder.Hvis du opdager, at der er ophavsretlige eller andre problemer i indholdet på denne hjemmeside, bedes du kontakte os for at håndtere det.Kontakt information:marketing01@gpmcn.com
Indlægstid: 20. oktober 2023