Gaur egungo erdieroaleen fabrikazio-industrian, plasma grabatzailea eta ponpa turbomolekularra funtsezko bi teknologia dira.Plasma-grabagailua osagai mikroelektronikoen fabrikazioan ezinbesteko tresna da, eta ponpa turbomolekularra hutsean eta ponpaketa abiadura handian diseinatuta dago.Artikulu honetan, ponpa turbomolekularren papera eta garrantzia eztabaidatuko dugu plasma grabagailuetan.
Edukia
1. Plasma grabatzeko makinaren funtzionamendu-printzipioa
2. Ponpa turbomolekularraren funtzionamendu-printzipioa
3. Ponpa turbomolekularraren aplikazioa plasma grabatzeko makinan
4. Ponpa turbomolekularren abantailak eta mugak
5. Ondorioa
1. Plasma grabatzeko makinaren funtzionamendu-printzipioa:
Plasma grabagailua materialak prozesatzeko tresna bat da, plasma huts-ganbera batean erabiliz.Plasma gasaren ionizazioan sortutako partikula kargatuen bilduma da.Plasmaren dentsitatea eta mugimenduaren norabidea maiztasun handiko eremu elektriko edo magnetikoen bidez kontrola daitezke.Plasma grabatzean, plasma batek lan-materialaren gainazala jotzen du eta hura altxatu edo higatzen du, nahi den egitura sortuz.
Hala ere, ihes-gas kantitate handia sortzen da plasma grabatzean.Ihes-gas horien artean, laneko materialak eta gasaren ezpurutasunak, etab., huts-sistemaren bidez isuri behar dira.Hori dela eta, plasma grabatzeko makinak huts-sistema eraginkor bat behar du grabaketa-prozesuaren egonkortasuna eta zehaztasuna bermatzeko.
2. Ponpa turbomolekularraren funtzionamendu-printzipioa:
Ponpa turbomolekularrak hutseko sistemetan ponpaketa-abiadura handiko ponparik erabilienetako bat dira.Abiadura handiko errotatzaile multzo bat birakatuz funtzionatzen du gasa huts-ganberatik ponpatzeko eta gasa atmosferara kanporatzeko.Ponpa turbomolekular batean, gasa babes-ponpa batean sartzen da eta bertan presio handiko eskualde batean konprimitzen da ponpa turbomolekularra bidali aurretik.
Ponpa turbomolekular batean, gasa biraka egiten duen bulkada baten bidez ponpatzen da, ponpa molekular batean, berriz, gasa molekula txikiagotan banatzen da.Ponpa turbomolekularrek huts handia eman dezakete eta ponpaketa-abiadura 500 ~ 6000 L/s-ra irits daiteke.Huts handia behar duten plasma grabatzeko makinetarako, ponpa turbomolekularrak ezinbesteko pieza dira.
3. Ponpa turbomolekularraren aplikazioa plasma grabatzeko makinan:
Ponpa turbomolekularrak asko erabiltzen dira plasma grabatzeko makinetan.Plasma grabatzeko makina baten huts-sisteman, ponpa turbomolekularra erabili ohi da ponpa nagusi gisa huts handia lortzen laguntzeko.Plasma gainazalera jotzen duenean, ihes-gas kopuru handia sortzen du, hondar lehengaiak eta erreakzio kimikoko produktuak barne.Ihes-gas hauek huts-ganberatik azkar eta modu eraginkorrean ponpatu behar dira plasma grabaketa-prozesuaren egonkortasuna eta fidagarritasuna bermatzeko.
Ponpatze-abiadura handiak eta ponpa turbomolekularren hutsune handiak ponpa ezin hobeak bihurtzen ditu.Plasma grabagailu batean, ponpa turbomolekularra aparteko ponpa-unitate batean jarri ohi da hutsaren eta presioa erraz kontrolatzeko.Aldi berean, ponpa turbomolekularra babesteko, ponpa turbomolekularraren aurrean ponpa mekanikoaren geruza bat eta presioa murrizteko balbula bat instalatu behar dira ponpa turbomolekularra gehiegizko presioa eta kalteak saihesteko.
4. Ponpa turbomolekularren abantailak eta mugak:
Ponpa turbomolekularrek abantaila ugari dituzte, hala nola ponpaketa abiadura handia, huts handia, zarata txikia eta fidagarritasun handia.Ponpa turbomolekularraren ponpaketa-abiadura handiak huts-maila handitu dezake eta, aldi berean, ponpaketa-denbora murrizten du, eta, ondorioz, ekoizpen-eraginkortasuna areagotzen du.Ponpa turbomolekularraren zarata txikia eta fidagarritasun handia ere bere abantailetako bat da, hau da, ponpa turbomolekularrak funtzionamendu eraginkorra mantendu dezake denbora luzeagoan, mantentze- eta ordezkapen-kopurua murriztuz.
Dena den, ponpa turbomolekularrek ere muga batzuk dituzte, hala nola gas jakin batzuen ponpaketa-eraginkortasun baxua.Esaterako, ponpa turbomolekularrek hidrogenoaren erauzketa-eraginkortasun txikia dute, eta ponpa turbomolekularrek ere baldintza batzuk dituzte gasaren presioa eta tenperaturari dagokionez.Horregatik, aplikazio praktikoetan, beharrezkoa da ponpa turbomolekularraren mota eta lan-parametroak hautatzea egoera zehatzaren arabera, bere funtzionamendu normal eta eraginkorra bermatzeko.
5.Ondorioa:
Erdieroaleen fabrikazio prozesuan, plasma grabatzeko makina ekipamendu garrantzitsuenetako bat da.Plasma grabatzeko makinaren huts-sisteman, ponpa turbomolekularrak, ponpa nagusi gisa, ezinbestekoa du hutsune handia eta plasma grabatze prozesu egonkorra lortzeko.Ponpa turbomolekularrek ponpaketa abiadura handia, huts handia, zarata txikia eta eskakizun tekniko handiagoak betetzeko optimizazioa dituzte.
Oro har, ponpa turbomolekularraren papera plasma grabatzeko makinan ordezkaezina da.Erdieroaleen fabrikazio-industrian, ponpa turbomolekularra beharrezko ekipamenduetako bat bihurtu da, eta horrek paper garrantzitsua betetzen du plasma grabatzeko makinaren errendimendua eta egonkortasuna bermatzeko.Erdieroaleen teknologiaren etengabeko garapenarekin eta aurrerapenarekin, ponpa turbomolekularren eskaera eta erabilera-esparrua hedatzen jarraituko dute.Hori dela eta, ponpa turbomolekularren fabrikatzaileek produktuaren errendimendua eta kalitatea etengabe hobetu behar dituzte erdieroaleen fabrikazio-industriak errendimendu handiagoa eta ekipamendu egonkorragoen eskaria asetzeko.
Copyright-oharra:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd.-k jabetza intelektualaren eskubideen errespetua eta babesa defendatzen du eta artikuluen iturria iturri argiekin adierazten du.Webgune honetako edukietan copyrighta edo bestelako arazoak daudela ikusten baduzu, jar zaitez gurekin harremanetan horri aurre egiteko.Harremanetarako informazioa:marketing01@gpmcn.com
Argitalpenaren ordua: 2023-urri-20