در صنعت تولید نیمه هادی امروزی، اچر پلاسما و پمپ توربومولکولی دو فناوری کلیدی مهم هستند.اچر پلاسما یک ابزار ضروری در ساخت قطعات میکروالکترونیکی است، در حالی که یک پمپ توربومولکولی برای خلاء بالا و سرعت پمپاژ بالا طراحی شده است.در این مقاله به نقش و اهمیت پمپ های توربومولکولی در اترهای پلاسما می پردازیم.
محتوا
1. اصل کار دستگاه اچ پلاسما
2. اصل کار پمپ توربومولکولی
3. کاربرد پمپ توربومولکولی در دستگاه اچینگ پلاسما
4. مزایا و محدودیت های پمپ های توربومولکولی
5. نتیجه گیری
1. اصل کار دستگاه اچ پلاسما:
اچر پلاسما ابزاری برای پردازش مواد با استفاده از پلاسما در محفظه خلاء است.پلاسما مجموعه ای از ذرات باردار است که توسط یونیزاسیون گاز تولید می شود.چگالی و جهت حرکت پلاسما را می توان با میدان های الکتریکی یا مغناطیسی با فرکانس بالا کنترل کرد.در حین اچ کردن پلاسما، پلاسما به سطح ماده کار برخورد کرده و آن را بلند کرده یا فرسایش می دهد و ساختار مورد نظر را ایجاد می کند.
با این حال، مقدار زیادی گاز خروجی در حین اچ پلاسما تولید می شود.این گازهای خروجی شامل مواد کاری و ناخالصی های موجود در گاز و غیره می باشد که باید از طریق سیستم خلاء تخلیه شوند.بنابراین، دستگاه اچ پلاسما نیاز به یک سیستم خلاء کارآمد برای اطمینان از ثبات و دقت فرآیند اچ دارد.
2. اصل کار پمپ توربومولکولی:
پمپ های توربومولکولی یکی از رایج ترین پمپ های پمپ با سرعت بالا در سیستم های خلاء هستند.این دستگاه با چرخاندن مجموعه ای از پروانه های چرخان با سرعت بالا عمل می کند تا گاز را از محفظه خلاء خارج کرده و گاز را به جو خارج کند.در پمپ توربومولکولی، گاز ابتدا وارد یک پمپ پشتی می شود که در آنجا به یک ناحیه با فشار بالا فشرده می شود و سپس به پمپ توربومولکولی فرستاده می شود.
در پمپ های توربومولکولی، گاز از طریق یک پروانه چرخان پمپ می شود، در حالی که در پمپ مولکولی گاز به مولکول های کوچکتر تجزیه می شود.پمپ‌های توربومولکولی می‌توانند خلاء بالایی ایجاد کنند و سرعت پمپاژ آنها می‌تواند به 500 تا 6000 لیتر در ثانیه برسد.برای ماشین‌های اچ پلاسما که به خلاء بالا نیاز دارند، پمپ‌های توربومولکولی جزء ضروری هستند.
3. کاربرد پمپ توربومولکولی در دستگاه اچینگ پلاسما:
پمپ های توربومولکولی به طور گسترده در ماشین های اچ پلاسما استفاده می شود.در سیستم خلاء دستگاه اچ پلاسما، معمولاً از پمپ توربومولکولی به عنوان پمپ اصلی برای کمک به دستیابی به خلاء بالا استفاده می شود.هنگامی که پلاسما به سطح برخورد می کند، مقدار زیادی گاز خروجی، از جمله مواد خام باقیمانده و محصولات واکنش شیمیایی تولید می کند.این گازهای خروجی باید به سرعت و کارآمد از محفظه خلاء خارج شوند تا از پایداری و قابلیت اطمینان فرآیند اچ پلاسما اطمینان حاصل شود.
سرعت پمپاژ بالا و خلاء زیاد پمپ های توربومولکولی آنها را به پمپ های ایده آل تبدیل می کند.در اچر پلاسما، پمپ توربومولکولی معمولاً در یک واحد پمپ جداگانه برای کنترل آسان خلاء و فشار قرار می گیرد.در عین حال، برای محافظت از پمپ توربومولکولی، لازم است یک لایه پمپ مکانیکی و یک شیر کاهش فشار در جلوی پمپ توربومولکولی نصب شود تا از فشار بیش از حد و آسیب به پمپ توربومولکولی جلوگیری شود.
4. مزایا و محدودیت های پمپ های توربومولکولی:
پمپ های توربومولکولی دارای مزایای بسیاری مانند سرعت پمپاژ بالا، خلاء بالا، صدای کم و قابلیت اطمینان بالا هستند.سرعت پمپاژ بالای پمپ توربومولکولی می تواند درجه خلاء را افزایش دهد و در عین حال می تواند زمان پمپاژ را کاهش دهد و در نتیجه راندمان تولید را افزایش دهد.صدای کم و قابلیت اطمینان بالای پمپ توربومولکولی نیز یکی از مزایای آن است، به این معنی که پمپ توربومولکولی می تواند عملکرد کارآمد را برای مدت زمان طولانی تری حفظ کند و تعداد تعمیر و نگهداری و تعویض را کاهش دهد.
با این حال، پمپ های توربومولکولی دارای محدودیت هایی مانند راندمان پمپاژ پایین برای گازهای خاص نیز هستند.به عنوان مثال، پمپ های توربومولکولی دارای راندمان استخراج پایینی برای هیدروژن هستند و پمپ های توربومولکولی نیز الزامات خاصی برای فشار و دمای گاز دارند.بنابراین در کاربردهای عملی لازم است نوع و پارامترهای کاری پمپ توربومولکولی را با توجه به موقعیت خاص انتخاب کرد تا از عملکرد طبیعی و کارآمد آن اطمینان حاصل شود.
5-نتیجه گیری:
در فرآیند ساخت نیمه هادی، دستگاه اچ پلاسما یکی از تجهیزات بسیار مهم است.در سیستم خلاء دستگاه اچ پلاسما، پمپ توربومولکولی به عنوان پمپ اصلی، نقش حیاتی در دستیابی به خلاء بالا و فرآیند اچ پلاسما پایدار دارد.پمپ های توربومولکولی دارای سرعت پمپاژ بالا، خلاء بالا، نویز کم و بهینه سازی برای برآوردن نیازهای فنی بالاتر هستند.
به طور کلی، نقش پمپ توربومولکولی در دستگاه اچ پلاسما بی بدیل است.در صنعت تولید نیمه هادی، پمپ توربومولکولی به یکی از تجهیزات ضروری تبدیل شده است که نقش مهمی در تضمین عملکرد و پایداری دستگاه اچ پلاسما دارد.با توسعه و پیشرفت مداوم فناوری نیمه هادی، تقاضا و دامنه استفاده از پمپ های توربومولکولی همچنان در حال گسترش است.بنابراین، تولیدکنندگان پمپ های توربومولکولی باید به طور مداوم عملکرد و کیفیت محصول را بهبود بخشند تا تقاضای صنعت تولید نیمه هادی برای عملکرد بالاتر و تجهیزات پایدارتر را برآورده کنند.
اطلاعیه حق چاپ:
GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Ltd. مدافع احترام و حمایت از حقوق مالکیت معنوی است و منبع مقالات را با منابع روشن نشان می دهد.اگر متوجه شدید کپی رایت یا مشکلات دیگری در محتوای این وب سایت وجود دارد، لطفاً برای رسیدگی به آن با ما تماس بگیرید.اطلاعات تماس:marketing01@gpmcn.com
زمان ارسال: اکتبر 20-2023