Yn de hjoeddeiske semiconductor produksje yndustry, plasma etser en turbomolecular pomp binne twa wichtige kaai technologyen.In plasma-etser is in essinsjeel ark yn 'e fabryk fan mikro-elektroanyske komponinten, wylst in turbomolekulêre pomp is ûntworpen foar hege fakuüm en hege pompsnelheid.Yn dit artikel besprekke wy de rol en it belang fan turbomolekulêre pompen yn plasma-etsers.
Ynhâld
1. Wurkprinsipe fan plasma-etsmasine
2. Wurkprinsipe fan turbomolekulêre pomp
3. Tapassing fan turbomolekulêre pomp yn plasma-etsmasine
4. Foardielen en beheiningen fan turbomolekulêre pompen
5. Konklúzje
1. Wurkprinsipe fan plasma-etsmasine:
In plasma-etser is in ark foar it ferwurkjen fan materialen troch plasma te brûken yn in fakuümkeamer.Plasma is in samling opladen dieltsjes produsearre troch gasionisaasje.De tichtens en rjochting fan beweging fan plasma kinne wurde regele troch hege-frekwinsje elektryske of magnetyske fjilden.Tidens plasma-etsen slacht in plasma it oerflak fan it wurkmateriaal en tilt it ôf of erodearret it, wêrtroch de winske struktuer ûntstiet.
In grutte hoemannichte útlaatgas wurdt lykwols generearre by plasma-etsen.Dizze útlaatgassen omfetsje wurkmaterialen en ûnreinheden yn it gas, ensfh., dy't troch it fakuümsysteem ôffierd wurde moatte.Dêrom hat de plasma-etsmasine in effisjint fakuümsysteem nedich om de stabiliteit en krektens fan it etsproses te garandearjen.
2. Wurkprinsipe fan turbomolekulêre pomp:
Turbomolekulêre pompen binne ien fan 'e meast brûkte pompen mei hege pompsnelheid yn fakuümsystemen.It wurket troch it spinnen fan in set fan rotearjende waaiers mei hege snelheid om it gas út 'e fakuümkeamer te pompen en it gas yn' e sfear te ferdriuwen.Yn in turbomolekulêre pomp komt gas earst in backingpomp yn wêr't it yn in hege drukregio komprimearre wurdt foardat it nei de turbomolekulêre pomp stjoerd wurdt.
Yn in turbomolekulêre pomp wurdt it gas troch in rotearjende waaier pompt, wylst yn in molekulêre pomp it gas ôfbrutsen wurdt yn lytsere molekulen.Turbomolekulêre pompen kinne hege fakuüm leverje, en har pompsnelheid kin 500 ~ 6000 L / s berikke.Foar plasma-etsmasines dy't heech fakuüm nedich binne, binne turbomolekulêre pompen in ûnmisber diel.
3. Tapassing fan turbomolekulêre pomp yn plasma-etsmasine:
Turbomolekulêre pompen wurde in protte brûkt yn plasma-etsmasines.Yn it fakuümsysteem fan in plasma-etsmasine wurdt in turbomolekulêre pomp normaal brûkt as de haadpomp om te helpen by it berikken fan hege fakuüm.As it plasma it oerflak rekket, produsearret it in grutte hoemannichte útlaatgas, ynklusyf oerbliuwende grûnstoffen en gemyske reaksjeprodukten.Dizze útlaatgassen moatte fluch en effisjint út 'e fakuümkeamer wurde pompt om de stabiliteit en betrouberens fan it plasma-etsproses te garandearjen.
De hege pompsnelheid en hege fakuüm fan turbomolekulêre pompen meitsje har ideale pompen.Yn in plasma-etser wurdt de turbomolekulêre pomp meastentiids pleatst yn in aparte pompienheid foar maklike kontrôle fan fakuüm en druk.Tagelyk, om de turbomolekulêre pomp te beskermjen, is it nedich om in laach fan meganyske pomp en in drukreduksjeklep foar de turbomolekulêre pomp te ynstallearjen om te foarkommen fan oermjittige druk en skea oan 'e turbomolekulêre pomp.
4. Foardielen en beheiningen fan turbomolekulêre pompen:
Turbomolekulêre pompen hawwe in protte foardielen, lykas hege pompsnelheid, heech fakuüm, leech lûd en hege betrouberens.De hege pompsnelheid fan 'e turbomolekulêre pomp kin de fakuümgraad ferheegje, en tagelyk kin de pomptiid ferminderje, en dêrmei de produksje-effisjinsje ferheegje.It lege lûd en hege betrouberens fan 'e turbomolekulêre pomp is ek ien fan har foardielen, dat betsjut dat de turbomolekulêre pomp effisjinte wurking foar in langere perioade kin behâlde, en it oantal ûnderhâld en ferfanging ferminderje.
Turbomolekulêre pompen hawwe lykwols ek wat beheiningen, lykas lege pompeffisjinsje foar bepaalde gassen.Bygelyks, turbomolekulêre pompen hawwe lege ekstraksje-effisjinsje foar wetterstof, en turbomolekulêre pompen hawwe ek bepaalde easken foar gasdruk en temperatuer.Dêrom, yn praktyske tapassingen, is it needsaaklik om it type en wurkparameters fan 'e turbomolekulêre pomp te selektearjen neffens de spesifike situaasje om har normale en effisjinte wurking te garandearjen.
5. Konklúzje:
Yn 'e semiconductor-produksjeproses is de plasma-etsmasine ien fan' e heul wichtige apparatuer.Yn it fakuümsysteem fan 'e plasma-etsmasine spilet de turbomolekulêre pomp, as de haadpomp, in fitale rol by it realisearjen fan hege fakuüm en stabile plasma-etsproses.Turbomolekulêre pompen hawwe hege pompsnelheid, heech fakuüm, leech lûd en optimisaasje om te foldwaan oan hegere technyske easken.
Yn 't algemien is de rol fan' e turbomolekulêre pomp yn 'e plasma-etsmasine net te ferfangen.Yn de semiconductor manufacturing yndustry, de turbomolecular pomp is wurden ien fan de nedige apparatuer, dat spilet in wichtige rol yn it garandearjen fan de prestaasjes en stabiliteit fan de plasma ets masine.Mei de trochgeande ûntwikkeling en foarútgong fan semiconductortechnology sil de fraach en omfang fan gebrûk fan turbomolekulêre pompen trochgean te wreidzjen.Dêrom moatte turbomolekulêre pompfabrikanten kontinu ferbetterje fan produktprestaasjes en kwaliteit om te foldwaan oan 'e fraach fan' e semiconductorprodusearjende yndustry foar hegere prestaasjes en stabiler apparatuer.
Copyright notice:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. pleitet foar respekt en beskerming fan yntellektuele eigendomsrjochten en jout de boarne fan artikels oan mei dúdlike boarnen.As jo fine dat der copyright of oare problemen yn de ynhâld fan dizze webside, nim dan kontakt mei ús op om te gean mei it.Kontakt ynformaasje:marketing01@gpmcn.com
Post tiid: okt-20-2023