Na industria de fabricación de semicondutores actual, o gravador de plasma e a bomba turbomolecular son dúas tecnoloxías clave importantes.Un gravador de plasma é unha ferramenta esencial na fabricación de compoñentes microelectrónicos, mentres que unha bomba turbomolecular está deseñada para alto baleiro e alta velocidade de bombeo.Neste artigo, discutimos o papel e a importancia das bombas turbomoleculares nos gravadores de plasma.
Contido
1. Principio de funcionamento da máquina de gravado por plasma
2. Principio de funcionamento da bomba turbomolecular
3. Aplicación da bomba turbomolecular na máquina de gravado por plasma
4. Vantaxes e limitacións das bombas turbomoleculares
5. Conclusión
1. Principio de funcionamento da máquina de gravado por plasma:
Un gravador de plasma é unha ferramenta para procesar materiais utilizando plasma nunha cámara de baleiro.O plasma é unha colección de partículas cargadas producidas pola ionización de gases.A densidade e a dirección do movemento do plasma pódense controlar mediante campos eléctricos ou magnéticos de alta frecuencia.Durante o gravado por plasma, un plasma golpea a superficie do material de traballo e sácalo ou erosiona, creando a estrutura desexada.
Non obstante, durante o gravado por plasma xérase unha gran cantidade de gases de escape.Estes gases de escape inclúen materiais de traballo e impurezas no gas, etc., que deben ser descargados a través do sistema de baleiro.Polo tanto, a máquina de gravado por plasma necesita un sistema de baleiro eficiente para garantir a estabilidade e precisión do proceso de gravado.
2. Principio de funcionamento da bomba turbomolecular:
As bombas turbomoleculares son unha das bombas de alta velocidade de bombeo máis utilizadas nos sistemas de baleiro.Funciona facendo xirar un conxunto de impulsores rotativos de alta velocidade para bombear o gas fóra da cámara de baleiro e expulsar o gas á atmosfera.Nunha bomba turbomolecular, o gas entra primeiro nunha bomba de respaldo onde se comprime nunha rexión de alta presión antes de ser enviado á bomba turbomolecular.
Nunha bomba turbomolecular, o gas é bombeado a través dun impulsor xiratorio, mentres que nunha bomba molecular o gas se descompón en moléculas máis pequenas.As bombas turbomoleculares poden proporcionar un alto baleiro e a súa velocidade de bombeo pode alcanzar os 500 ~ 6000 L/s.Para as máquinas de gravado por plasma que requiren un alto baleiro, as bombas turbomoleculares son unha parte indispensable.
3. Aplicación da bomba turbomolecular na máquina de gravado por plasma:
As bombas turbomoleculares son amplamente utilizadas nas máquinas de gravado por plasma.No sistema de baleiro dunha máquina de gravado por plasma, adoita empregarse unha bomba turbomolecular como bomba principal para axudar a conseguir un alto baleiro.Cando o plasma chega á superficie, produce unha gran cantidade de gases de escape, incluíndo materias primas residuais e produtos de reacción química.Estes gases de escape deben ser bombeados fóra da cámara de baleiro de forma rápida e eficiente para garantir a estabilidade e fiabilidade do proceso de gravado por plasma.
A alta velocidade de bombeo e o alto baleiro das bombas turbomoleculares fan que sexan bombas ideais.Nun gravador de plasma, a bomba turbomolecular adoita colocarse nunha unidade de bomba separada para un fácil control do baleiro e da presión.Ao mesmo tempo, para protexer a bomba turbomolecular, é necesario instalar unha capa de bomba mecánica e unha válvula reductora de presión diante da bomba turbomolecular para evitar unha presión excesiva e danos á bomba turbomolecular.
4. Vantaxes e limitacións das bombas turbomoleculares:
As bombas turbomoleculares teñen moitas vantaxes, como a alta velocidade de bombeo, alto baleiro, baixo ruído e alta fiabilidade.A alta velocidade de bombeo da bomba turbomolecular pode aumentar o grao de baleiro e, ao mesmo tempo, pode reducir o tempo de bombeo, aumentando así a eficiencia de produción.O baixo ruído e a alta fiabilidade da bomba turbomolecular tamén é unha das súas vantaxes, o que significa que a bomba turbomolecular pode manter un funcionamento eficiente durante un período máis longo de tempo, reducindo o número de mantemento e substitución.
Non obstante, as bombas turbomoleculares tamén teñen algunhas limitacións, como a baixa eficiencia de bombeo de determinados gases.Por exemplo, as bombas turbomoleculares teñen unha baixa eficiencia de extracción de hidróxeno e as bombas turbomoleculares tamén teñen certos requisitos de presión e temperatura do gas.Polo tanto, nas aplicacións prácticas, é necesario seleccionar o tipo e os parámetros de traballo da bomba turbomolecular segundo a situación específica para garantir o seu funcionamento normal e eficiente.
5. Conclusión:
No proceso de fabricación de semicondutores, a máquina de gravado por plasma é un dos equipos moi importantes.No sistema de baleiro da máquina de gravado por plasma, a bomba turbomolecular, como bomba principal, xoga un papel vital para lograr un proceso de gravado de plasma estable e baleiro alto.As bombas turbomoleculares teñen alta velocidade de bombeo, alto baleiro, baixo ruído e optimización para cumprir requisitos técnicos máis elevados.
En xeral, o papel da bomba turbomolecular na máquina de gravado por plasma é insubstituíble.Na industria de fabricación de semicondutores, a bomba turbomolecular converteuse nun dos equipos necesarios, que xoga un papel importante para garantir o rendemento e a estabilidade da máquina de gravado por plasma.Co desenvolvemento e progreso continuos da tecnoloxía de semicondutores, a demanda e o alcance de uso das bombas turbomoleculares continuarán a expandirse.Polo tanto, os fabricantes de bombas turbomoleculares necesitan mellorar continuamente o rendemento e a calidade do produto para satisfacer a demanda da industria de fabricación de semicondutores de maior rendemento e equipos máis estables.
Aviso de copyright:
GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Ltd defende o respecto e protección dos dereitos de propiedade intelectual e indica a fonte dos artigos con fontes claras.Se considera que hai problemas de copyright ou outros problemas no contido deste sitio web, póñase en contacto connosco para tratalos.Información de contacto:marketing01@gpmcn.com
Hora de publicación: 20-Oct-2023