આજના સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગ ઉદ્યોગમાં, પ્લાઝ્મા ઈચર અને ટર્બોમોલેક્યુલર પંપ એ બે મહત્વની ટેક્નોલોજી છે.માઈક્રોઈલેક્ટ્રોનિક ઘટકોના નિર્માણમાં પ્લાઝ્મા ઈચર એ એક આવશ્યક સાધન છે, જ્યારે ટર્બોમોલેક્યુલર પંપ ઉચ્ચ શૂન્યાવકાશ અને ઉચ્ચ પમ્પિંગ ઝડપ માટે રચાયેલ છે.આ લેખમાં, અમે પ્લાઝ્મા ઇચર્સમાં ટર્બોમોલેક્યુલર પંપની ભૂમિકા અને મહત્વની ચર્ચા કરીએ છીએ.
સામગ્રી
1. પ્લાઝ્મા એચિંગ મશીનનું કાર્ય સિદ્ધાંત
2. ટર્બોમોલેક્યુલર પંપનું કાર્ય સિદ્ધાંત
3. પ્લાઝ્મા એચિંગ મશીનમાં ટર્બોમોલેક્યુલર પંપની અરજી
4. ટર્બોમોલેક્યુલર પંપના ફાયદા અને મર્યાદાઓ
5. નિષ્કર્ષ
1. પ્લાઝ્મા એચિંગ મશીનના કાર્યકારી સિદ્ધાંત:
પ્લાઝ્મા ઈચર એ વેક્યૂમ ચેમ્બરમાં પ્લાઝ્માનો ઉપયોગ કરીને સામગ્રીની પ્રક્રિયા કરવા માટેનું એક સાધન છે.પ્લાઝ્મા એ ગેસ આયનીકરણ દ્વારા ઉત્પાદિત ચાર્જ થયેલા કણોનો સંગ્રહ છે.પ્લાઝ્માની ગતિની ઘનતા અને દિશા ઉચ્ચ-આવર્તન ઇલેક્ટ્રિક અથવા ચુંબકીય ક્ષેત્રો દ્વારા નિયંત્રિત કરી શકાય છે.પ્લાઝ્મા ઇચિંગ દરમિયાન, પ્લાઝ્મા કાર્યકારી સામગ્રીની સપાટી પર અથડાવે છે અને તેને ઉપાડે છે અથવા તેને ભૂંસી નાખે છે, ઇચ્છિત માળખું બનાવે છે.
જો કે, પ્લાઝ્મા ઈચિંગ દરમિયાન મોટી માત્રામાં એક્ઝોસ્ટ ગેસ ઉત્પન્ન થાય છે.આ એક્ઝોસ્ટ ગેસમાં કાર્યકારી સામગ્રી અને ગેસમાં રહેલી અશુદ્ધિઓ વગેરેનો સમાવેશ થાય છે, જેને વેક્યૂમ સિસ્ટમ દ્વારા છોડવાની જરૂર છે.તેથી, પ્લાઝ્મા એચિંગ મશીનને એચિંગ પ્રક્રિયાની સ્થિરતા અને ચોકસાઈની ખાતરી કરવા માટે એક કાર્યક્ષમ વેક્યૂમ સિસ્ટમની જરૂર છે.
2. ટર્બોમોલેક્યુલર પંપના કાર્ય સિદ્ધાંત:
ટર્બોમોલેક્યુલર પંપ વેક્યૂમ સિસ્ટમ્સમાં સૌથી વધુ ઉપયોગમાં લેવાતા હાઇ પમ્પિંગ સ્પીડ પંપ પૈકી એક છે.તે વેક્યૂમ ચેમ્બરમાંથી ગેસને બહાર કાઢવા અને વાયુને વાતાવરણમાં બહાર કાઢવા માટે હાઇ-સ્પીડ ફરતા ઇમ્પેલર્સના સમૂહને સ્પિનિંગ કરીને કામ કરે છે.ટર્બોમોલેક્યુલર પંપમાં, ગેસ પ્રથમ બેકિંગ પંપમાં પ્રવેશે છે જ્યાં તેને ટર્બોમોલેક્યુલર પંપ પર મોકલતા પહેલા ઉચ્ચ દબાણવાળા પ્રદેશમાં સંકુચિત કરવામાં આવે છે.
ટર્બોમોલેક્યુલર પંપમાં, ગેસને ફરતા ઇમ્પેલર દ્વારા પમ્પ કરવામાં આવે છે, જ્યારે મોલેક્યુલર પંપમાં ગેસ નાના અણુઓમાં તૂટી જાય છે.ટર્બોમોલેક્યુલર પંપ ઉચ્ચ શૂન્યાવકાશ પ્રદાન કરી શકે છે, અને તેમની પમ્પિંગ ઝડપ 500~6000 L/s સુધી પહોંચી શકે છે.ઉચ્ચ શૂન્યાવકાશની જરૂર હોય તેવા પ્લાઝ્મા એચિંગ મશીનો માટે, ટર્બોમોલેક્યુલર પંપ અનિવાર્ય ભાગ છે.
3. પ્લાઝ્મા એચિંગ મશીનમાં ટર્બોમોલેક્યુલર પંપનો ઉપયોગ:
ટર્બોમોલેક્યુલર પંપનો ઉપયોગ પ્લાઝ્મા ઈચિંગ મશીનોમાં વ્યાપકપણે થાય છે.પ્લાઝ્મા ઈચિંગ મશીનની વેક્યુમ સિસ્ટમમાં, ટર્બોમોલેક્યુલર પંપનો ઉપયોગ સામાન્ય રીતે ઉચ્ચ શૂન્યાવકાશ પ્રાપ્ત કરવામાં મદદ કરવા માટે મુખ્ય પંપ તરીકે થાય છે.જ્યારે પ્લાઝ્મા સપાટી પર આવે છે, ત્યારે તે મોટા પ્રમાણમાં એક્ઝોસ્ટ ગેસ ઉત્પન્ન કરે છે, જેમાં શેષ કાચો માલ અને રાસાયણિક પ્રતિક્રિયા ઉત્પાદનોનો સમાવેશ થાય છે.આ એક્ઝોસ્ટ ગેસને પ્લાઝ્મા ઈચિંગ પ્રક્રિયાની સ્થિરતા અને વિશ્વસનીયતા સુનિશ્ચિત કરવા માટે વેક્યૂમ ચેમ્બરમાંથી ઝડપથી અને અસરકારક રીતે બહાર કાઢવાની જરૂર છે.
ટર્બોમોલેક્યુલર પંપની ઊંચી પમ્પિંગ ઝડપ અને ઉચ્ચ શૂન્યાવકાશ તેમને આદર્શ પંપ બનાવે છે.પ્લાઝ્મા ઈચરમાં, ટર્બોમોલેક્યુલર પંપ સામાન્ય રીતે શૂન્યાવકાશ અને દબાણના સરળ નિયંત્રણ માટે અલગ પંપ યુનિટમાં મૂકવામાં આવે છે.તે જ સમયે, ટર્બોમોલેક્યુલર પંપને સુરક્ષિત રાખવા માટે, ટર્બોમોલેક્યુલર પંપને વધુ પડતા દબાણ અને નુકસાનને ટાળવા માટે ટર્બોમોલેક્યુલર પંપની સામે યાંત્રિક પંપનું સ્તર અને દબાણ ઘટાડવાનું વાલ્વ સ્થાપિત કરવું જરૂરી છે.
4. ટર્બોમોલેક્યુલર પંપના ફાયદા અને મર્યાદાઓ:
ટર્બોમોલેક્યુલર પંપના ઘણા ફાયદા છે, જેમ કે ઉચ્ચ પમ્પિંગ ઝડપ, ઉચ્ચ શૂન્યાવકાશ, ઓછો અવાજ અને ઉચ્ચ વિશ્વસનીયતા.ટર્બોમોલેક્યુલર પંપની ઊંચી પંમ્પિંગ ઝડપ વેક્યુમ ડિગ્રીમાં વધારો કરી શકે છે, અને તે જ સમયે પંમ્પિંગ સમય ઘટાડી શકે છે, જેનાથી ઉત્પાદન કાર્યક્ષમતામાં વધારો થાય છે.ટર્બોમોલેક્યુલર પંપનો ઓછો અવાજ અને ઉચ્ચ વિશ્વસનીયતા એ પણ તેના ફાયદાઓમાંનો એક છે, જેનો અર્થ છે કે ટર્બોમોલેક્યુલર પંપ લાંબા સમય સુધી કાર્યક્ષમ કામગીરી જાળવી શકે છે, જાળવણી અને રિપ્લેસમેન્ટની સંખ્યામાં ઘટાડો કરે છે.
જો કે, ટર્બોમોલેક્યુલર પંપમાં પણ કેટલીક મર્યાદાઓ હોય છે, જેમ કે અમુક વાયુઓ માટે ઓછી પમ્પિંગ કાર્યક્ષમતા.ઉદાહરણ તરીકે, ટર્બોમોલેક્યુલર પંપમાં હાઇડ્રોજન માટે ઓછી નિષ્કર્ષણ કાર્યક્ષમતા હોય છે, અને ટર્બોમોલેક્યુલર પંપમાં પણ ગેસના દબાણ અને તાપમાન માટે ચોક્કસ જરૂરિયાતો હોય છે.તેથી, વ્યવહારુ કાર્યક્રમોમાં, તેના સામાન્ય અને કાર્યક્ષમ કામગીરીને સુનિશ્ચિત કરવા માટે ચોક્કસ પરિસ્થિતિ અનુસાર ટર્બોમોલેક્યુલર પંપના પ્રકાર અને કાર્યકારી પરિમાણો પસંદ કરવા જરૂરી છે.
5.નિષ્કર્ષ:
સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં, પ્લાઝ્મા એચિંગ મશીન એ ખૂબ જ મહત્વપૂર્ણ સાધનોમાંનું એક છે.પ્લાઝ્મા ઈચિંગ મશીનની વેક્યુમ સિસ્ટમમાં, ટર્બોમોલેક્યુલર પંપ, મુખ્ય પંપ તરીકે, ઉચ્ચ શૂન્યાવકાશ અને સ્થિર પ્લાઝ્મા ઈચિંગ પ્રક્રિયાને હાંસલ કરવામાં મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા ભજવે છે.ટર્બોમોલેક્યુલર પંપમાં ઉચ્ચ પંમ્પિંગ ઝડપ, ઉચ્ચ શૂન્યાવકાશ, ઓછો અવાજ અને ઉચ્ચ તકનીકી જરૂરિયાતોને પહોંચી વળવા માટે ઑપ્ટિમાઇઝેશન હોય છે.
સામાન્ય રીતે કહીએ તો, પ્લાઝ્મા ઈચિંગ મશીનમાં ટર્બોમોલેક્યુલર પંપની ભૂમિકા બદલી ન શકાય તેવી છે.સેમિકન્ડક્ટર મેન્યુફેક્ચરિંગ ઉદ્યોગમાં, ટર્બોમોલેક્યુલર પંપ જરૂરી સાધનોમાંનું એક બની ગયું છે, જે પ્લાઝ્મા એચિંગ મશીનની કામગીરી અને સ્થિરતાને સુનિશ્ચિત કરવામાં મહત્વપૂર્ણ ભૂમિકા ભજવે છે.સેમિકન્ડક્ટર ટેક્નોલોજીના સતત વિકાસ અને પ્રગતિ સાથે, ટર્બોમોલેક્યુલર પંપના ઉપયોગની માંગ અને અવકાશ સતત વિસ્તરશે.તેથી, ટર્બોમોલેક્યુલર પંપ ઉત્પાદકોએ ઉચ્ચ પ્રદર્શન અને વધુ સ્થિર સાધનો માટેની સેમિકન્ડક્ટર ઉત્પાદન ઉદ્યોગની માંગને પહોંચી વળવા ઉત્પાદનની કામગીરી અને ગુણવત્તામાં સતત સુધારો કરવાની જરૂર છે.
કૉપિરાઇટ સૂચના:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. બૌદ્ધિક સંપદા અધિકારોના આદર અને રક્ષણની હિમાયત કરે છે અને સ્પષ્ટ સ્ત્રોતો સાથે લેખોના સ્ત્રોત સૂચવે છે.જો તમને લાગે કે આ વેબસાઇટની સામગ્રીમાં કૉપિરાઇટ અથવા અન્ય સમસ્યાઓ છે, તો કૃપા કરીને તેનો સામનો કરવા માટે અમારો સંપર્ક કરો.સંપર્ક માહિતી:marketing01@gpmcn.com
પોસ્ટ સમય: ઑક્ટો-20-2023