Այսօրվա կիսահաղորդիչների արտադրության արդյունաբերության մեջ պլազմային փորագրումը և տուրբոմոլեկուլային պոմպը երկու կարևոր տեխնոլոգիաներ են:Պլազմային փորագրիչը միկրոէլեկտրոնային բաղադրիչների արտադրության մեջ կարևոր գործիք է, մինչդեռ տուրբոմոլեկուլային պոմպը նախատեսված է բարձր վակուումի և բարձր մղման արագության համար:Այս հոդվածում մենք կքննարկենք տուրբոմոլեկուլային պոմպերի դերն ու նշանակությունը պլազմային փորագրիչների մեջ:
Բովանդակություն
1. Պլազմային փորագրող մեքենայի աշխատանքի սկզբունքը
2. Տուրբոմոլեկուլային պոմպի աշխատանքի սկզբունքը
3. Տուրբոմոլեկուլային պոմպի կիրառումը պլազմայի փորագրման մեքենայում
4. Տուրբոմոլեկուլային պոմպերի առավելություններն ու սահմանափակումները
5. Եզրակացություն
1. Պլազմային փորագրման մեքենայի աշխատանքային սկզբունքը.
Պլազմային փորագրիչը նյութերի մշակման գործիք է՝ օգտագործելով պլազմա վակուումային խցիկում:Պլազման լիցքավորված մասնիկների հավաքածու է, որն առաջանում է գազի իոնացման արդյունքում:Պլազմայի շարժման խտությունը և ուղղությունը կարելի է վերահսկել բարձր հաճախականությամբ էլեկտրական կամ մագնիսական դաշտերով։Պլազմայի փորագրման ժամանակ պլազման հարվածում է աշխատանքային նյութի մակերեսին և այն հանում կամ քայքայում՝ ստեղծելով ցանկալի կառուցվածքը:
Այնուամենայնիվ, պլազմայի փորագրման ժամանակ մեծ քանակությամբ արտանետվող գազ է առաջանում:Այս արտանետվող գազերը ներառում են աշխատանքային նյութեր և գազի մեջ առկա կեղտեր և այլն, որոնք պետք է արտանետվեն վակուումային համակարգի միջոցով:Հետևաբար, պլազմային փորագրման մեքենային անհրաժեշտ է արդյունավետ վակուումային համակարգ՝ ապահովելու փորագրման գործընթացի կայունությունն ու ճշգրտությունը:
2. Տուրբոմոլեկուլային պոմպի աշխատանքային սկզբունքը.
Տուրբոմոլեկուլային պոմպերը վակուումային համակարգերում ամենից հաճախ օգտագործվող բարձր արագությամբ պոմպային պոմպերից են:Այն աշխատում է արագ պտտվող շարժիչների մի շարք պտտելով՝ գազը վակուումային խցիկից դուրս մղելու և գազը մթնոլորտ դուրս մղելու համար:Տուրբոմոլեկուլային պոմպում գազը սկզբում մտնում է հենակետային պոմպ, որտեղ այն սեղմվում է բարձր ճնշման շրջանի մեջ, նախքան տուրբոմոլեկուլային պոմպ ուղարկելը:
Տուրբոմոլեկուլային պոմպում գազը մղվում է պտտվող շարժիչով, մինչդեռ մոլեկուլային պոմպերում գազը տրոհվում է փոքր մոլեկուլների:Տուրբոմոլեկուլային պոմպերը կարող են ապահովել բարձր վակուում, իսկ դրանց մղման արագությունը կարող է հասնել 500~6000 լ/վրկ:Պլազմայի փորագրման մեքենաների համար, որոնք պահանջում են բարձր վակուում, տուրբոմոլեկուլային պոմպերը անփոխարինելի մասն են:
3. Տուրբոմոլեկուլային պոմպի կիրառումը պլազմայի փորագրման մեքենայի մեջ.
Տուրբոմոլեկուլային պոմպերը լայնորեն կիրառվում են պլազմայի փորագրման մեքենաներում։Պլազմային փորագրման մեքենայի վակուումային համակարգում տուրբոմոլեկուլային պոմպը սովորաբար օգտագործվում է որպես հիմնական պոմպ, որն օգնում է հասնել բարձր վակուումի:Երբ պլազման հարվածում է մակերեսին, այն արտադրում է մեծ քանակությամբ արտանետվող գազ, ներառյալ մնացորդային հումք և քիմիական ռեակցիայի արտադրանք:Այս արտանետվող գազերը պետք է արագ և արդյունավետ կերպով դուրս մղվեն վակուումային խցիկից՝ ապահովելու պլազմայի փորագրման գործընթացի կայունությունն ու հուսալիությունը:
Պոմպային բարձր արագությունը և տուրբոմոլեկուլային պոմպերի բարձր վակուումը դրանք դարձնում են իդեալական պոմպեր:Պլազմային փորագրման մեջ տուրբոմոլեկուլային պոմպը սովորաբար տեղադրվում է առանձին պոմպի միավորում՝ վակուումի և ճնշման հեշտ վերահսկման համար:Միևնույն ժամանակ, տուրբոմոլեկուլային պոմպը պաշտպանելու համար անհրաժեշտ է տեղադրել մեխանիկական պոմպի շերտ և ճնշում նվազեցնող փական տուրբոմոլեկուլային պոմպի դիմաց՝ խուսափելու ավելորդ ճնշումից և տուրբոմոլեկուլային պոմպի վնասից:
4. Տուրբոմոլեկուլային պոմպերի առավելություններն ու սահմանափակումները.
Տուրբոմոլեկուլային պոմպերն ունեն բազմաթիվ առավելություններ, ինչպիսիք են բարձր պոմպային արագությունը, բարձր վակուումը, ցածր աղմուկը և բարձր հուսալիությունը:Տուրբոմոլեկուլային պոմպի բարձր պոմպային արագությունը կարող է մեծացնել վակուումային աստիճանը, և միևնույն ժամանակ կարող է նվազեցնել պոմպային ժամանակը, դրանով իսկ բարձրացնելով արտադրության արդյունավետությունը:Տուրբոմոլեկուլային պոմպի ցածր աղմուկը և բարձր հուսալիությունը նույնպես նրա առավելություններից մեկն է, ինչը նշանակում է, որ տուրբոմոլեկուլային պոմպը կարող է պահպանել արդյունավետ աշխատանքը ավելի երկար ժամանակ՝ նվազեցնելով սպասարկման և փոխարինման քանակը:
Այնուամենայնիվ, տուրբոմոլեկուլային պոմպերն ունեն նաև որոշ սահմանափակումներ, ինչպիսիք են որոշակի գազերի պոմպային ցածր արդյունավետությունը:Օրինակ, տուրբոմոլեկուլային պոմպերն ունեն ջրածնի արդյունահանման ցածր արդյունավետություն, իսկ տուրբոմոլեկուլային պոմպերը նաև որոշակի պահանջներ ունեն գազի ճնշման և ջերմաստիճանի համար:Հետևաբար, գործնական կիրառություններում անհրաժեշտ է ընտրել տուրբոմոլեկուլային պոմպի տեսակը և աշխատանքային պարամետրերը՝ ըստ կոնկրետ իրավիճակի՝ ապահովելու դրա նորմալ և արդյունավետ աշխատանքը:
5. Եզրակացություն.
Կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացում պլազմային փորագրման մեքենան շատ կարևոր սարքավորումներից մեկն է:Պլազմային փորագրման մեքենայի վակուումային համակարգում տուրբոմոլեկուլային պոմպը, որպես հիմնական պոմպ, կենսական դեր է խաղում բարձր վակուումային և կայուն պլազմայի փորագրման գործընթացի հասնելու համար:Տուրբոմոլեկուլային պոմպերն ունեն բարձր մղման արագություն, բարձր վակուում, ցածր աղմուկ և օպտիմալացում՝ ավելի բարձր տեխնիկական պահանջներին համապատասխանելու համար:
Ընդհանուր առմամբ, տուրբոմոլեկուլային պոմպի դերը պլազմայի փորագրման մեքենայում անփոխարինելի է։Կիսահաղորդիչների արտադրության արդյունաբերության մեջ տուրբոմոլեկուլային պոմպը դարձել է անհրաժեշտ սարքավորումներից մեկը, որը կարևոր դեր է խաղում պլազմայի փորագրման մեքենայի աշխատանքի և կայունության ապահովման գործում:Կիսահաղորդչային տեխնոլոգիայի շարունակական զարգացման և առաջընթացի պայմաններում տուրբոմոլեկուլային պոմպերի պահանջարկը և օգտագործման շրջանակը կշարունակեն ընդլայնվել:Հետևաբար, տուրբոմոլեկուլային պոմպեր արտադրողները պետք է շարունակաբար բարելավեն արտադրանքի կատարողականությունը և որակը, որպեսզի բավարարեն կիսահաղորդչային արտադրական արդյունաբերության պահանջարկը բարձր արդյունավետության և ավելի կայուն սարքավորումների համար:
Հեղինակային իրավունքի ծանուցում.
GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Ltd.-ն պաշտպանում է մտավոր սեփականության իրավունքները և նշում է հստակ աղբյուրներով հոդվածների աղբյուրը:Եթե գտնում եք, որ այս կայքի բովանդակության մեջ կան հեղինակային իրավունքի կամ այլ խնդիրներ, խնդրում ենք կապվել մեզ հետ՝ լուծելու համար:Կոնտակտային տվյալներ:marketing01@gpmcn.com
Հրապարակման ժամանակը՝ հոկտ-20-2023