Dalam industri manufaktur semikonduktor saat ini, etsa plasma dan pompa turbomolekuler adalah dua teknologi utama yang penting.Etsa plasma adalah alat penting dalam pembuatan komponen mikroelektronik, sedangkan pompa turbomolekuler dirancang untuk vakum tinggi dan kecepatan pemompaan tinggi.Pada artikel ini, kita membahas peran dan pentingnya pompa turbomolekuler dalam pengetsaan plasma.
Isi
1. Prinsip kerja mesin etsa plasma
2. Prinsip kerja pompa turbomolekuler
3. Penerapan pompa turbomolekuler pada mesin etsa plasma
4. Keuntungan dan keterbatasan pompa turbomolekuler
5. Kesimpulan
1. Prinsip kerja mesin etsa plasma:
Plasma etcher adalah alat untuk mengolah bahan dengan menggunakan plasma dalam ruang vakum.Plasma adalah kumpulan partikel bermuatan yang dihasilkan oleh ionisasi gas.Kepadatan dan arah gerak plasma dapat dikontrol oleh medan listrik atau magnet frekuensi tinggi.Selama etsa plasma, plasma mengenai permukaan bahan kerja dan mengangkatnya atau mengikisnya, sehingga menciptakan struktur yang diinginkan.
Namun, sejumlah besar gas buang dihasilkan selama etsa plasma.Gas buang ini termasuk bahan kerja dan kotoran di dalam gas, dll., yang perlu dibuang melalui sistem vakum.Oleh karena itu, mesin etsa plasma memerlukan sistem vakum yang efisien untuk menjamin stabilitas dan keakuratan proses etsa.
2. Prinsip kerja pompa turbomolekuler:
Pompa turbomolekuler adalah salah satu pompa berkecepatan tinggi yang paling umum digunakan dalam sistem vakum.Ia bekerja dengan memutar satu set impeler berputar berkecepatan tinggi untuk memompa gas keluar dari ruang vakum dan mengeluarkan gas ke atmosfer.Dalam pompa turbomolekuler, gas pertama-tama memasuki pompa pendukung di mana gas tersebut dikompresi ke dalam daerah bertekanan tinggi sebelum dikirim ke pompa turbomolekuler.
Pada pompa turbomolekul, gas dipompa melalui impeler yang berputar, sedangkan pada pompa molekuler, gas dipecah menjadi molekul yang lebih kecil.Pompa turbomolekuler dapat memberikan vakum tinggi, dan kecepatan pemompaannya dapat mencapai 500~6000 L/s.Untuk mesin etsa plasma yang membutuhkan vakum tinggi, pompa turbomolekuler merupakan bagian yang sangat diperlukan.
3. Penerapan pompa turbomolekuler pada mesin etsa plasma:
Pompa turbomolekuler banyak digunakan pada mesin etsa plasma.Dalam sistem vakum mesin etsa plasma, pompa turbomolekul biasanya digunakan sebagai pompa utama untuk membantu mencapai vakum tinggi.Ketika plasma menyentuh permukaan, ia menghasilkan sejumlah besar gas buang, termasuk sisa bahan mentah dan produk reaksi kimia.Gas buang ini perlu dipompa keluar dari ruang vakum dengan cepat dan efisien untuk menjamin stabilitas dan keandalan proses etsa plasma.
Kecepatan pemompaan yang tinggi dan vakum yang tinggi dari pompa turbomolekuler menjadikannya pompa yang ideal.Dalam etsa plasma, pompa turbomolekul biasanya ditempatkan di unit pompa terpisah untuk memudahkan kontrol vakum dan tekanan.Pada saat yang sama, untuk melindungi pompa turbomolekul, perlu dipasang lapisan pompa mekanis dan katup pengurang tekanan di depan pompa turbomolekul untuk menghindari tekanan berlebihan dan kerusakan pada pompa turbomolekul.
4. Keuntungan dan keterbatasan pompa turbomolekuler:
Pompa turbomolekuler memiliki banyak keunggulan, seperti kecepatan pemompaan yang tinggi, vakum yang tinggi, kebisingan yang rendah, dan keandalan yang tinggi.Kecepatan pemompaan yang tinggi dari pompa turbomolekul dapat meningkatkan derajat vakum, sekaligus mengurangi waktu pemompaan, sehingga meningkatkan efisiensi produksi.Kebisingan yang rendah dan keandalan yang tinggi dari pompa turbomolekuler juga menjadi salah satu kelebihannya, yang berarti pompa turbomolekuler dapat mempertahankan pengoperasian yang efisien untuk jangka waktu yang lebih lama, sehingga mengurangi jumlah perawatan dan penggantian.
Namun pompa turbomolekuler juga memiliki beberapa keterbatasan, seperti efisiensi pemompaan yang rendah untuk gas tertentu.Misalnya, pompa turbomolekuler memiliki efisiensi ekstraksi hidrogen yang rendah, dan pompa turbomolekuler juga memiliki persyaratan tertentu untuk tekanan dan suhu gas.Oleh karena itu, dalam aplikasi praktis, jenis dan parameter kerja pompa turbomolekuler perlu dipilih sesuai dengan situasi spesifik untuk memastikan pengoperasian normal dan efisien.
5. Kesimpulan:
Dalam proses pembuatan semikonduktor, mesin etsa plasma merupakan salah satu peralatan yang sangat penting.Dalam sistem vakum mesin etsa plasma, pompa turbomolekul sebagai pompa utama berperan penting dalam mencapai vakum tinggi dan proses etsa plasma yang stabil.Pompa turbomolekuler memiliki kecepatan pemompaan tinggi, vakum tinggi, kebisingan rendah, dan optimalisasi untuk memenuhi persyaratan teknis yang lebih tinggi.
Secara umum, peran pompa turbomolekuler dalam mesin etsa plasma tidak tergantikan.Dalam industri manufaktur semikonduktor, pompa turbomolekuler telah menjadi salah satu peralatan penting yang berperan penting dalam menjamin kinerja dan stabilitas mesin etsa plasma.Dengan terus berkembangnya dan kemajuan teknologi semikonduktor, permintaan dan cakupan penggunaan pompa turbomolekuler akan terus berkembang.Oleh karena itu, produsen pompa turbomolekuler perlu terus meningkatkan kinerja dan kualitas produk untuk memenuhi permintaan industri manufaktur semikonduktor akan kinerja yang lebih tinggi dan peralatan yang lebih stabil.
Pemberitahuan hak cipta:
GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Ltd. menganjurkan penghormatan dan perlindungan hak kekayaan intelektual dan menunjukkan sumber artikel dengan sumber yang jelas.Jika Anda menemukan ada masalah hak cipta atau masalah lain pada konten situs web ini, silakan hubungi kami untuk menanganinya.Kontak informasi:marketing01@gpmcn.com
Waktu posting: 20 Oktober 2023