Жартылай өткізгіш қазіргі заманғы электроника өнеркәсібіндегі негізгі материалдардың бірі және интегралдық схемалар мен оптоэлектрондық құрылғылар сияқты электрондық компоненттерді өндіру үшін маңызды материал болып табылады.Жартылай өткізгіш өнеркәсібінің дамуымен жартылай өткізгіш жабдықтарды өндірудің маңызы арта түсті.Жартылай өткізгішті жабдықта механикалық есіктің дәлдікпен өңдеуі өте маңызды құрамдас бөлік болып табылады, ол тығыздағыш механикалық есіктің ауа өткізбейтіндігін қамтамасыз етуге және жабдықтың қалыпты жұмысын қамтамасыз етуге жауап береді.Бұл мақалада жартылай өткізгішті жабдықта оның маңыздылығын және қолдану перспективаларын зерттеуге бағытталған дәл өңдеудің механикалық есік байланысының анықтамасы, функциясы, сипаттамалары, өңдеу процесі және практикалық қолданылуы таныстырылады.
Мазмұны:
I. Есіктің механикалық байланысын дәл өңдеудің анықтамасы
II.Есіктің механикалық байланысын дәл өңдеу функциясы
III.Есіктің механикалық байланысын дәл өңдеудің сипаттамалары
IV.Дәл өңдеудің механикалық есік байланысын өңдеу процесі
V. Жартылай өткізгішті жабдықта дәл өңдеудің механикалық есік байланысын практикалық қолдану
I. Есіктің механикалық байланысын дәл өңдеудің анықтамасы
Дәл өңдеудің механикалық есік байланысы - бұл жоғары дәлдіктегі станокпен өңделген дәл механикалық компонент.Оның негізгі қызметі механикалық есік пен жабдықтың корпусын қосу, тығыздағыш механикалық есіктің ауа өткізбейтіндігін қамтамасыз ету, шаңның, судың және басқа ластаушы заттардың жабдыққа енуіне жол бермеу және жабдықтың қалыпты жұмысын қамтамасыз ету.Жартылай өткізгішті жабдықта дәл өңдеудің механикалық есік байланысын қолдану өте кең, соның ішінде вакуумдық өндіріс жабдығы, жұқа пленка тұндыру жабдығы, фотолитографиялық жабдық және т.б.
II.Есіктің механикалық байланысын дәл өңдеу функциясы
Жартылай өткізгішті жабдықта есіктің механикалық байланысын дәл өңдеу функциясы өте маңызды.Оның негізгі функциясы механикалық есікті тығыздауыштың ауа өткізбейтіндігін қамтамасыз ету болып табылады.Жартылай өткізгішті жабдықтағы әртүрлі процестер белгілі бір қоршаған орта жағдайында жүзеге асырылуы керек және бұл шарттар дәл өңдеудің механикалық есік байланысының ауа өткізбейтіндігімен қамтамасыз етілуі керек.Мысалы, вакуумдық өндіріс жабдығында дәл өңдеудің механикалық есік байланысы толығымен вакуумдық ортаға қол жеткізу және жабдықтың ластанбауын қамтамасыз ету үшін тығыздағыш есіктің жабдық корпусына тығыз орналасуын қамтамасыз етуі керек.Сонымен қатар дәл өңдеудің механикалық есік байланысы жабдықтың жұмысы кезіндегі ауыр қысым мен дірілге төтеп бере алады, бұл жабдықтың тұрақтылығы мен қауіпсіздігін қамтамасыз етеді.
III.Есіктің механикалық байланысын дәл өңдеудің сипаттамалары
Дәл өңдеудің механикалық есік байланысы көптеген сипаттамалар мен артықшылықтарға ие.Біріншіден, оның өңдеу дәлдігі өте жоғары және микрон деңгейіндегі дәлдік талаптарына жауап бере алады.Екіншіден, дәл өңдеудің механикалық есік байланысы жақсы механикалық қасиеттерге және химиялық тұрақтылыққа ие және күшті қышқылдар мен сілтілер сияқты коррозиялық орталарға төтеп бере алады, бұл жабдықтың ұзақ мерзімді жұмыс кезінде зақымданбауын қамтамасыз етеді.Сонымен қатар, дәл өңдеудің механикалық есік байланысы да жоғары механикалық беріктік пен қаттылыққа ие және жоғары жиілікті қозғалыс пен дірілге төтеп бере алады.
Жартылай өткізгішті жабдықта дәл өңдеудің механикалық есік байланысы қолдану сценарийлерінің кең ауқымына ие.Мысалы, жартылай өткізгішті өндіруге арналған ылғалды өңдеу жабдығында тығыздағыш механикалық есіктің ауа өткізбейтін талаптары өте жоғары, бұл тығыздау әсерін қамтамасыз ету үшін дәл өңдеудің механикалық есік байланысын пайдалануды талап етеді.Сонымен қатар, дәл өңдеудің механикалық есік байланысы жартылай өткізгішті өндіру жабдықтарының вакуумдық жүйесінде, жартылай өткізгішті чиптерді сынау жабдықтарында және басқа да салаларда қолданылуы мүмкін.
IV.Дәл өңдеудің механикалық есік байланысын өңдеу процесі
Есіктің механикалық байланысын дәл өңдеуді өңдеу процесі әдетте келесі қадамдарды қамтиды: материалды дайындау, алдын ала өңдеу, механикалық өңдеу, сынау және реттеу, тазалау және орау, т.б.. Өңдеуге дейін дайындық кезінде егжей-тегжейлі өңдеу жоспарын құрастыру қажет, және сәйкес өңдеу жабдықтары мен құралдарын таңдау қажет.Механикалық өңдеу сатысында дәлдік пен бет сапасының талаптарын қамтамасыз ету үшін жоғары дәлдіктегі станоктар мен кескіш құралдар қолданылады.Сынақ және реттеу сатысы өңдеу дәлдігі мен сапасын қамтамасыз ету үшін үш координатты өлшеуіш машина сияқты дәлме-дәл сынау құралдары мен әдістерін қолдануды талап етеді.Ақырында, тазалау және орау кезеңі тазалауды, майсыздандыруды, тоттың алдын алуды, орауды және кейіннен пайдалану және басқару үшін өңделген механикалық есік байланысын таңбалауды қамтиды.
V. Жартылай өткізгішті жабдықта дәл өңдеудің механикалық есік байланысын практикалық қолдану
Жартылай өткізгішті жабдықта дәл өңдеудің механикалық есік байланысын практикалық қолдану өте маңызды.Есіктің механикалық байланысын дәл өңдеу арқылы жартылай өткізгіш жабдықтың өнімділігі мен тұрақтылығын тиімді түрде жақсартуға болады, сонымен бірге техникалық қызмет көрсету шығындары мен істен шығу жылдамдығын азайтуға болады.Практикалық қолданбаларда көптеген компаниялар мен мекемелер есіктің механикалық байланысын дәл өңдеуді қабылдады, мысалы, жартылай өткізгішті өндіруге арналған ылғалды өңдеу жабдықтарында қолданылатын тығыздағыш механикалық есік.
Қорытынды
Тұтастай алғанда, жартылай өткізгішті жабдықта есіктің механикалық байланысын дәл өңдеудің маңыздылығы мен артықшылықтарын елемеуге болмайды.Жартылай өткізгішті жабдықта дәл өңдеу технологиясын қолдану перспективасы перспективалы болып табылады, өйткені жартылай өткізгіш өнеркәсібінде жабдықтың өнімділігі мен тұрақтылығына қойылатын талаптар барған сайын жоғарырақ және есіктің механикалық байланысын дәл өңдеу осы талаптарды қанағаттандыруға көмектеседі.Дәл өңдеудің механикалық есік байланысы жоғары өңдеу дәлдігінің, жақсы тозуға төзімділігінің және коррозияға төзімділігінің және ұзақ қызмет ету мерзімінің артықшылықтарына ие, бұл жартылай өткізгіш жабдықтың механикалық есігінің герметикалық тығыздығын қамтамасыз ете алады және жабдықтың тұрақтылығы мен сенімділігін арттырады.Практикалық қолданбаларда дәлме-дәл өңдеудің механикалық есік байланысы жартылай өткізгіш жабдықта кеңінен қолданылды және қолданудың маңызды әсерлеріне қол жеткізді.Сондықтан есіктің механикалық байланысын дәл өңдеу жартылай өткізгіш өнеркәсібінде кеңірек қолдану перспективасына ие болады.
Жіберу уақыты: 20 қараша 2023 ж