An der haiteger Halbleiterfabrikatiounsindustrie sinn Plasma Ätcher an Turbomolekulare Pompel zwee wichteg Schlësseltechnologien.E Plasma Etcher ass e wesentlecht Tool bei der Fabrikatioun vu mikroelektronesche Komponenten, während eng turbomolekulär Pompel fir héich Vakuum an héich Pompelgeschwindegkeet entwéckelt ass.An dësem Artikel diskutéiere mir d'Roll an d'Wichtegkeet vun turbomolekuläre Pompelen a Plasma Ätcher.
Inhalt
1. Aarbechtsprinzip vu Plasma Ätzmaschinn
2. Aarbechtsprinzip vun der turbomolekulare Pompel
3. Applikatioun vun turbomolecular Pompel an Plasma Ätzmaschinn
4. Virdeeler an Aschränkungen vun turbomolecular Pompelen
5. Conclusioun
1. Aarbechtsprinzip vu Plasma Ätzmaschinn:
E Plasma Etcher ass e Tool fir Material ze veraarbecht andeems Plasma an enger Vakuumkammer benotzt.Plasma ass eng Sammlung vu geluedenen Partikelen produzéiert duerch Gasioniséierung.D'Dicht an d'Bewegungsrichtung vu Plasma kënnen duerch héichfrequenz elektresch oder magnetesch Felder kontrolléiert ginn.Wärend der Plasma Ässung schléit e Plasma d'Uewerfläch vum Aarbechtsmaterial an hieft et of oder erodéiert et, a schaaft déi gewënscht Struktur.
Wéi och ëmmer, eng grouss Quantitéit vum Ofgas gëtt wärend der Plasma Ätzen generéiert.Dës Ofgase enthalen Aarbechtsmaterialien an Gëftstoffer am Gas, asw., déi duerch de Vakuumsystem entlooss musse ginn.Dofir brauch d'Plasma Ätzemaschinn en effiziente Vakuumsystem fir d'Stabilitéit an d'Genauegkeet vum Ätzprozess ze garantéieren.
2. Aarbechtsprinzip vun der turbomolekulärer Pompel:
Turbomolekulär Pompelen sinn eng vun de meescht benotzte Pompelen mat héijer Pompelgeschwindegkeet a Vakuumsystemer.Et funktionnéiert andeems Dir e Set vu High-Speed-rotéierende Impellere dréit fir de Gas aus der Vakuumkammer ze pumpen an de Gas an d'Atmosphär ze verdreiwen.An enger turbomolekulärer Pompel kënnt de Gas fir d'éischt an eng Ënnerstëtzungspompel, wou et an eng Héichdrockregioun kompriméiert gëtt, ier en an d'turbomolekulär Pompel geschéckt gëtt.
An enger turbomolekulärer Pompel gëtt de Gas duerch e rotativen Impeller gepompelt, wärend an enger molekulare Pompel gëtt de Gas a méi kleng Moleküle opgedeelt.Turbomolecular Pompelen kënnen héich Vakuum bidden, an hir Pompel Vitesse kann 500 ~ 6000 L / s erreechen.Fir Plasma Ätzmaschinnen déi héich Vakuum erfuerderen, sinn turbomolekulär Pompelen en onverzichtbaren Deel.
3. Uwendung vun turbomolekuläre Pompel an Plasma Ätzmaschinn:
Turbomolekulär Pompelen gi wäit a Plasma Ätsmaschinne benotzt.Am Vakuumsystem vun enger Plasma Ätzmaschinn gëtt eng turbomolekulär Pompel normalerweis als Haaptpompel benotzt fir ze hëllefen en héije Vakuum z'erreechen.Wann de Plasma d'Uewerfläch trefft, produzéiert et eng grouss Quantitéit vum Ofgas, dorënner Reschtoffallmaterialien a chemesch Reaktiounsprodukter.Dës Ofgase musse séier an effizient aus der Vakuumkammer gepompelt ginn fir d'Stabilitéit an d'Zouverlässegkeet vum Plasma Ätzprozess ze garantéieren.
Déi héich Pompelgeschwindegkeet an héich Vakuum vun turbomolekuläre Pompelen maachen se ideal Pompelen.An engem Plasma Etcher gëtt d'turbomolekulare Pompel normalerweis an enger separater Pompel Eenheet fir eng einfach Kontroll vu Vakuum an Drock gesat.Zur selwechter Zäit, fir d'Turbomolekulare Pompel ze schützen, ass et néideg eng Schicht vun der mechanescher Pompel an en Drockreduktiounsventil virun der turbomolekulärer Pompel ze installéieren fir exzessiv Drock a Schued un der turbomolekulärer Pompel ze vermeiden.
4. Virdeeler an Aschränkungen vun turbomolekuläre Pompelen:
Turbomolecular Pompelen hu vill Virdeeler, wéi héich Pompel Vitesse, héich Vakuum, niddereg Kaméidi, an héich Zouverlässegkeet.Déi héich Pompelgeschwindegkeet vun der turbomolekulärer Pompel kann de Vakuumgrad erhéijen, a gläichzäiteg d'Pompelzäit reduzéieren an doduerch d'Produktiounseffizienz erhéijen.Déi niddereg Kaméidi an héich Zouverlässegkeet vun der turbomolekulärer Pompel ass och ee vu senge Virdeeler, dat heescht datt d'turbomolekuläre Pompel effizient Operatioun fir eng méi laang Zäit erhalen kann, d'Zuel vun den Ënnerhalt an Ersatz reduzéieren.
Wéi och ëmmer, turbomolekulär Pompelen hunn och e puer Aschränkungen, sou wéi eng niddreg Pompeffizienz fir verschidde Gase.Zum Beispill, turbomolecular Pompelen hunn niddereg Extraktioun Effizienz fir Waasserstoff, an turbomolecular Pompelen hunn och gewësse Viraussetzunge fir Gas Drock an Temperatur.Dofir, an praktesch Uwendungen, ass et néideg der Zort an Aarbecht Parameteren vun turbomolecular Pompel no der spezifesch Situatioun ze wielen fir seng normal an efficace Operatioun ze garantéieren.
5. Conclusioun:
Am Halbleiterfabrikatiounsprozess ass d'Plasma Ätzmaschinn ee vun de ganz wichtegen Ausrüstung.Am Vakuumsystem vun der Plasma Ätzmaschinn spillt d'Turbomolekulare Pompel, als Haaptpompel, eng vital Roll bei der Erreeche vun engem héije Vakuum a stabile Plasma Ätzprozess.Turbomolecular Pompelen hunn héich Pompelstatiounen Vitesse, héich Vakuum, niddereg Kaméidi an Optimisatioun méi héich technesch Ufuerderunge ze treffen.
Allgemeng ass d'Roll vun der turbomolekulärer Pompel an der Plasma Ätzmaschinn irreplaceable.An der Hallefleitfabrikatiounsindustrie ass d'turbomolekuläre Pompel ee vun den néidegen Ausrüstung ginn, déi eng wichteg Roll spillt fir d'Performance an d'Stabilitéit vun der Plasma Ätzemaschinn ze garantéieren.Mat der kontinuéierlecher Entwécklung a Fortschrëtter vun der Hallefleittechnologie wäert d'Nofro an d'Ausmooss vun der Benotzung vun turbomolekuläre Pompelen weider ausbauen.Dofir mussen turbomolekulare Pompel Hiersteller kontinuéierlech d'Produktleistung a Qualitéit verbesseren fir d'Demande vun der Halbleiterfabrikatiounsindustrie fir méi héich Leeschtung a méi stabil Ausrüstung ze treffen.
Copyright Notiz:
GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Ltd. plädéiert fir Respekt a Schutz vun den intellektuellen Eegentumsrechter a weist d'Quell vun Artikelen mat kloere Quellen un.Wann Dir fannt datt et Copyright oder aner Probleemer am Inhalt vun dëser Websäit sinn, kontaktéiert eis w.e.g. fir et ze këmmeren.Kontakt-Informatioun:marketing01@gpmcn.com
Post Zäit: Okt-20-2023