ໃນອຸດສາຫະກໍາການຜະລິດ semiconductor ມື້ນີ້, plasma etcher ແລະ turbomolecular pump ແມ່ນສອງເຕັກໂນໂລຢີທີ່ສໍາຄັນ.ເຄື່ອງດູດ plasma ເປັນເຄື່ອງມືທີ່ສໍາຄັນໃນການຜະລິດອົງປະກອບຂອງຈຸນລະພາກເອເລັກໂຕຣນິກ, ໃນຂະນະທີ່ປັ໊ມ turbomolecular ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບສູນຍາກາດສູງແລະຄວາມໄວການສູບນ້ໍາສູງ.ໃນບົດຄວາມນີ້, ພວກເຮົາປຶກສາຫາລືກ່ຽວກັບບົດບາດແລະຄວາມສໍາຄັນຂອງປັ໊ມ turbomolecular ໃນ etchers plasma.
ເນື້ອໃນ
1. ຫຼັກການການເຮັດວຽກຂອງເຄື່ອງ plasma etching
2. ຫຼັກການການເຮັດວຽກຂອງປັ໊ມ turbomolecular
3. ການນໍາໃຊ້ປັ໊ມ turbomolecular ໃນເຄື່ອງ etching plasma
4. ຂໍ້ໄດ້ປຽບແລະຂໍ້ຈໍາກັດຂອງປັ໊ມ turbomolecular
5. ສະຫຼຸບ
1. ຫຼັກການເຮັດວຽກຂອງເຄື່ອງ plasma etching:
plasma etcher ແມ່ນເຄື່ອງມືສໍາລັບການປຸງແຕ່ງວັດສະດຸໂດຍໃຊ້ plasma ຢູ່ໃນຫ້ອງສູນຍາກາດ.Plasma ແມ່ນການເກັບກໍາຂອງອະນຸພາກຄິດຄ່າທໍານຽມທີ່ຜະລິດໂດຍອາຍແກັສ ionization.ຄວາມຫນາແຫນ້ນແລະທິດທາງຂອງການເຄື່ອນໄຫວຂອງ plasma ສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ໂດຍພາກສະຫນາມໄຟຟ້າຫຼືແມ່ເຫຼັກທີ່ມີຄວາມຖີ່ສູງ.ໃນລະຫວ່າງການ plasma etching, plasma ໂຈມຕີພື້ນຜິວຂອງອຸປະກອນການເຮັດວຽກແລະຍົກມັນອອກຫຼື erodes ມັນ, ສ້າງໂຄງສ້າງທີ່ຕ້ອງການ.
ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ອາຍແກັສໄອເສຍຈໍານວນຫຼວງຫຼາຍແມ່ນຜະລິດໃນລະຫວ່າງການ plasma etching.ທາດອາຍພິດເຫຼົ່ານີ້ປະກອບມີອຸປະກອນການເຮັດວຽກແລະສິ່ງເສດເຫຼືອໃນອາຍແກັສ, ແລະອື່ນໆ, ເຊິ່ງຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ລະບາຍອອກໂດຍຜ່ານລະບົບສູນຍາກາດ.ດັ່ງນັ້ນ, ເຄື່ອງ plasma etching ຕ້ອງການລະບົບສູນຍາກາດທີ່ມີປະສິດທິພາບເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຂະບວນການ etching.
2. ຫຼັກການເຮັດວຽກຂອງປັ໊ມ turbomolecular:
ປັ໊ມ Turbomolecular ແມ່ນຫນຶ່ງໃນເຄື່ອງສູບນ້ໍາຄວາມໄວສູງທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປທີ່ສຸດໃນລະບົບສູນຍາກາດ.ມັນເຮັດວຽກໂດຍການ spinning ຊຸດຂອງ impeller rotating ຄວາມໄວສູງເພື່ອສູບອາຍແກັສອອກຈາກຫ້ອງສູນຍາກາດແລະຂັບໄລ່ອາຍແກັສເຂົ້າໄປໃນບັນຍາກາດ.ໃນປັ໊ມ turbomolecular, ອາຍແກັສທໍາອິດເຂົ້າໄປໃນປັ໊ມຮອງບ່ອນທີ່ມັນຖືກບີບອັດເຂົ້າໄປໃນພາກພື້ນທີ່ມີຄວາມກົດດັນສູງກ່ອນທີ່ຈະຖືກສົ່ງໄປຫາປັ໊ມ turbomolecular.
ໃນປັ໊ມ turbomolecular, ອາຍແກັສຖືກສູບຜ່ານທໍ່ຫມຸນ, ໃນຂະນະທີ່ຢູ່ໃນປັ໊ມໂມເລກຸນອາຍແກັສຖືກແຍກອອກເປັນໂມເລກຸນນ້ອຍກວ່າ.ປັ໊ມ Turbomolecular ສາມາດສະຫນອງສູນຍາກາດສູງ, ແລະຄວາມໄວການສູບຂອງພວກມັນສາມາດບັນລຸ 500 ~ 6000 ລິດ / ວິນາທີ.ສໍາລັບເຄື່ອງຈັກ plasma etching ທີ່ຕ້ອງການສູນຍາກາດສູງ, ປັ໊ມ turbomolecular ແມ່ນສ່ວນຫນຶ່ງທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້.
3. ການນໍາໃຊ້ປັ໊ມ turbomolecular ໃນເຄື່ອງ etching plasma:
ປັ໊ມ Turbomolecular ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນເຄື່ອງຈັກ plasma etching.ໃນລະບົບສູນຍາກາດຂອງເຄື່ອງຈັກ plasma etching, ປັ໊ມ turbomolecular ປົກກະຕິແລ້ວຖືກນໍາໃຊ້ເປັນປັ໊ມຕົ້ນຕໍເພື່ອຊ່ວຍໃຫ້ບັນລຸສູນຍາກາດສູງ.ເມື່ອ plasma ຕີພື້ນຜິວ, ມັນຜະລິດອາຍແກັສໄອເສຍຈໍານວນຫລາຍ, ລວມທັງວັດຖຸດິບທີ່ຕົກຄ້າງແລະຜະລິດຕະພັນປະຕິກິລິຢາເຄມີ.ທາດອາຍພິດເຫຼົ່ານີ້ຕ້ອງໄດ້ຮັບການສູບອອກຈາກຫ້ອງສູນຍາກາດຢ່າງໄວວາແລະປະສິດທິພາບເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຂະບວນການ etching plasma.
ຄວາມໄວການສູບນ້ໍາສູງແລະສູນຍາກາດສູງຂອງປັ໊ມ turbomolecular ເຮັດໃຫ້ພວກເຂົາເປັນປັ໊ມທີ່ເຫມາະສົມ.ໃນ plasma etcher, ປັ໊ມ turbomolecular ປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນຖືກຈັດໃສ່ໃນຫົວປັ໊ມແຍກຕ່າງຫາກເພື່ອງ່າຍຕໍ່ການຄວບຄຸມສູນຍາກາດແລະຄວາມກົດດັນ.ໃນເວລາດຽວກັນ, ເພື່ອປ້ອງກັນປັ໊ມ turbomolecular, ມັນຈໍາເປັນຕ້ອງຕິດຕັ້ງຊັ້ນຂອງປັ໊ມກົນຈັກແລະປ່ຽງຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນຢູ່ທາງຫນ້າຂອງປັ໊ມ turbomolecular ເພື່ອຫຼີກເວັ້ນຄວາມກົດດັນຫຼາຍເກີນໄປແລະຄວາມເສຍຫາຍຕໍ່ປັ໊ມ turbomolecular.
4. ຂໍ້ດີ ແລະ ຂໍ້ຈຳກັດຂອງປ້ຳ turbomolecular:
ປັ໊ມ Turbomolecular ມີຂໍ້ດີຫຼາຍເຊັ່ນ: ຄວາມໄວການສູບນ້ໍາສູງ, ສູນຍາກາດສູງ, ສຽງຕ່ໍາ, ແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືສູງ.ຄວາມໄວການສູບນ້ໍາສູງຂອງປັ໊ມ turbomolecular ສາມາດເພີ່ມລະດັບສູນຍາກາດ, ແລະໃນເວລາດຽວກັນສາມາດຫຼຸດຜ່ອນເວລາການສູບນ້ໍາ, ດັ່ງນັ້ນການເພີ່ມປະສິດທິພາບການຜະລິດ.ສຽງຕ່ໍາແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືສູງຂອງປັ໊ມ turbomolecular ຍັງເປັນຫນຶ່ງໃນຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງມັນ, ຊຶ່ງຫມາຍຄວາມວ່າປັ໊ມ turbomolecular ສາມາດຮັກສາການດໍາເນີນງານທີ່ມີປະສິດທິພາບສໍາລັບໄລຍະເວລາທີ່ຍາວນານ, ຫຼຸດຜ່ອນຈໍານວນການບໍາລຸງຮັກສາແລະການທົດແທນ.
ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ປັ໊ມ turbomolecular ຍັງມີຂໍ້ຈໍາກັດບາງຢ່າງເຊັ່ນ: ປະສິດທິພາບການສູບນ້ໍາຕ່ໍາສໍາລັບທາດອາຍຜິດບາງຢ່າງ.ຕົວຢ່າງ, ປັ໊ມ turbomolecular ມີປະສິດທິພາບການສະກັດເອົາຕ່ໍາສໍາລັບ hydrogen, ແລະປັ໊ມ turbomolecular ຍັງມີຄວາມຕ້ອງການທີ່ແນ່ນອນສໍາລັບຄວາມກົດດັນຂອງອາຍແກັສແລະອຸນຫະພູມ.ດັ່ງນັ້ນ, ໃນການປະຕິບັດຕົວຈິງ, ມັນຈໍາເປັນຕ້ອງເລືອກປະເພດແລະຕົວກໍານົດການເຮັດວຽກຂອງປັ໊ມ turbomolecular ຕາມສະຖານະການສະເພາະເພື່ອຮັບປະກັນການເຮັດວຽກປົກກະຕິແລະປະສິດທິພາບຂອງມັນ.
5.ສະຫຼຸບ:
ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor, ເຄື່ອງ plasma etching ແມ່ນຫນຶ່ງໃນອຸປະກອນທີ່ສໍາຄັນ.ໃນລະບົບສູນຍາກາດຂອງເຄື່ອງ etching plasma, ປັ໊ມ turbomolecular, ເປັນປັ໊ມຕົ້ນຕໍ, ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການບັນລຸຂະບວນການດູດຊືມ plasma ສູງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງ.ປັ໊ມ Turbomolecular ມີຄວາມໄວໃນການສູບນ້ໍາສູງ, ສູນຍາກາດສູງ, ສຽງຕ່ໍາແລະການເພີ່ມປະສິດທິພາບເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການດ້ານວິຊາການທີ່ສູງຂຶ້ນ.
ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວ, ບົດບາດຂອງປັ໊ມ turbomolecular ໃນເຄື່ອງ plasma etching ແມ່ນບໍ່ສາມາດທົດແທນໄດ້.ໃນອຸດສາຫະກໍາການຜະລິດ semiconductor, ປັ໊ມ turbomolecular ໄດ້ກາຍເປັນຫນຶ່ງໃນອຸປະກອນທີ່ຈໍາເປັນ, ເຊິ່ງມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຮັບປະກັນການປະຕິບັດແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງເຄື່ອງຈັກ plasma etching.ດ້ວຍການພັດທະນາຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງແລະຄວາມກ້າວຫນ້າຂອງເທກໂນໂລຍີ semiconductor, ຄວາມຕ້ອງການແລະຂອບເຂດຂອງການນໍາໃຊ້ປັ໊ມ turbomolecular ຈະສືບຕໍ່ຂະຫຍາຍຕົວ.ດັ່ງນັ້ນ, ຜູ້ຜະລິດປັ໊ມ turbomolecular ຕ້ອງປັບປຸງການປະຕິບັດແລະຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງອຸດສາຫະກໍາການຜະລິດ semiconductor ສໍາລັບການປະຕິບັດທີ່ສູງຂຶ້ນແລະອຸປະກອນທີ່ຫມັ້ນຄົງຫຼາຍ.
ແຈ້ງການລິຂະສິດ:
GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Ltd. ສົ່ງເສີມການເຄົາລົບແລະປົກປ້ອງສິດທິຊັບສິນທາງປັນຍາແລະຊີ້ໃຫ້ເຫັນແຫຼ່ງບົດຄວາມທີ່ມີແຫຼ່ງທີ່ຊັດເຈນ.ຖ້າທ່ານພົບວ່າມີລິຂະສິດຫຼືບັນຫາອື່ນໆໃນເນື້ອຫາຂອງເວັບໄຊທ໌ນີ້, ກະລຸນາຕິດຕໍ່ພວກເຮົາເພື່ອຈັດການກັບມັນ.ຂໍ້ມູນຕິດຕໍ່:marketing01@gpmcn.com
ເວລາປະກາດ: ຕຸລາ 20-2023