Mūsdienu pusvadītāju ražošanas nozarē plazmas kodinātājs un turbomolekulārais sūknis ir divas svarīgas galvenās tehnoloģijas.Plazmas kodinātājs ir būtisks instruments mikroelektronisko komponentu ražošanā, savukārt turbomolekulārais sūknis ir paredzēts augstam vakuumam un lielam sūknēšanas ātrumam.Šajā rakstā mēs apspriežam turbomolekulāro sūkņu lomu un nozīmi plazmas kodinātājos.
Saturs
1. Plazmas kodināšanas mašīnas darbības princips
2. Turbomolekulārā sūkņa darbības princips
3. Turbomolekulārā sūkņa pielietojums plazmas kodināšanas mašīnā
4. Turbomolekulāro sūkņu priekšrocības un ierobežojumi
5. Secinājums
1. Plazmas kodināšanas iekārtas darbības princips:
Plazmas kodinātājs ir rīks materiālu apstrādei, izmantojot plazmu vakuuma kamerā.Plazma ir lādētu daļiņu kopums, ko rada gāzes jonizācija.Plazmas blīvumu un kustības virzienu var kontrolēt ar augstfrekvences elektriskajiem vai magnētiskajiem laukiem.Plazmas kodināšanas laikā plazma ietriecas darba materiāla virsmā un paceļ to nost vai noārda, radot vēlamo struktūru.
Tomēr plazmas kodināšanas laikā rodas liels daudzums izplūdes gāzu.Šīs izplūdes gāzes ietver darba materiālus un gāzē esošos piemaisījumus utt., kas jāizvada caur vakuuma sistēmu.Tāpēc plazmas kodināšanas iekārtai ir nepieciešama efektīva vakuuma sistēma, lai nodrošinātu kodināšanas procesa stabilitāti un precizitāti.
2. Turbomolekulārā sūkņa darbības princips:
Turbomolekulārie sūkņi ir vieni no visbiežāk izmantotajiem liela ātruma sūkņiem vakuuma sistēmās.Tas darbojas, griežot ātrgaitas rotējošu lāpstiņriteņu komplektu, lai izsūknētu gāzi no vakuuma kameras un izvadītu gāzi atmosfērā.Turbomolekulārajā sūknī gāze vispirms nonāk atbalsta sūknī, kur tā tiek saspiesta augsta spiediena reģionā, pirms tiek nosūtīta uz turbomolekulāro sūkni.
Turbomolekulārajā sūknī gāze tiek sūknēta caur rotējošu lāpstiņriteni, savukārt molekulārajā sūknī gāze tiek sadalīta mazākās molekulās.Turbomolekulārie sūkņi var nodrošināt augstu vakuumu, un to sūknēšanas ātrums var sasniegt 500–6000 l/s.Plazmas kodināšanas iekārtām, kurām nepieciešams augsts vakuums, turbomolekulārie sūkņi ir neaizstājama sastāvdaļa.
3. Turbomolekulārā sūkņa pielietojums plazmas kodināšanas mašīnā:
Turbomolekulārie sūkņi tiek plaši izmantoti plazmas kodināšanas iekārtās.Plazmas kodināšanas iekārtas vakuuma sistēmā kā galveno sūkni parasti izmanto turbomolekulāro sūkni, lai palīdzētu sasniegt augstu vakuumu.Kad plazma saskaras ar virsmu, tā rada lielu daudzumu izplūdes gāzu, ieskaitot atlikušās izejvielas un ķīmiskās reakcijas produktus.Šīs izplūdes gāzes ir ātri un efektīvi jāizsūknē no vakuuma kameras, lai nodrošinātu plazmas kodināšanas procesa stabilitāti un uzticamību.
Turbomolekulāro sūkņu lielais sūknēšanas ātrums un lielais vakuums padara tos par ideāliem sūkņiem.Plazmas kodinātājā turbomolekulārais sūknis parasti tiek ievietots atsevišķā sūkņa blokā, lai viegli kontrolētu vakuumu un spiedienu.Tajā pašā laikā, lai aizsargātu turbomolekulāro sūkni, turbomolekulārā sūkņa priekšā ir jāuzstāda mehāniskā sūkņa slānis un spiediena samazināšanas vārsts, lai izvairītos no pārmērīga spiediena un turbomolekulārā sūkņa bojājumiem.
4. Turbomolekulāro sūkņu priekšrocības un ierobežojumi:
Turbomolekulāriem sūkņiem ir daudz priekšrocību, piemēram, liels sūknēšanas ātrums, augsts vakuums, zems trokšņa līmenis un augsta uzticamība.Turbomolekulārā sūkņa lielais sūknēšanas ātrums var palielināt vakuuma pakāpi un tajā pašā laikā samazināt sūknēšanas laiku, tādējādi palielinot ražošanas efektivitāti.Turbomolekulārā sūkņa zemais troksnis un augstā uzticamība ir arī viena no tā priekšrocībām, kas nozīmē, ka turbomolekulārais sūknis var uzturēt efektīvu darbību ilgāku laiku, samazinot apkopju un nomaiņu skaitu.
Tomēr turbomolekulāriem sūkņiem ir arī daži ierobežojumi, piemēram, zema sūknēšanas efektivitāte noteiktām gāzēm.Piemēram, turbomolekulāriem sūkņiem ir zema ūdeņraža ekstrakcijas efektivitāte, un turbomolekulāriem sūkņiem ir arī noteiktas prasības attiecībā uz gāzes spiedienu un temperatūru.Tāpēc praktiskajā pielietojumā ir nepieciešams izvēlēties turbomolekulārā sūkņa tipu un darba parametrus atbilstoši konkrētajai situācijai, lai nodrošinātu tā normālu un efektīvu darbību.
5. Secinājums:
Pusvadītāju ražošanas procesā plazmas kodināšanas iekārta ir viena no ļoti svarīgajām iekārtām.Plazmas kodināšanas iekārtas vakuuma sistēmā turbomolekulārajam sūknim kā galvenajam sūknim ir būtiska loma augsta vakuuma un stabila plazmas kodināšanas procesa sasniegšanā.Turbomolekulāriem sūkņiem ir augsts sūknēšanas ātrums, augsts vakuums, zems trokšņa līmenis un optimizācija, lai tie atbilstu augstākām tehniskajām prasībām.
Vispārīgi runājot, turbomolekulārā sūkņa loma plazmas kodināšanas mašīnā ir neaizstājama.Pusvadītāju ražošanas nozarē turbomolekulārais sūknis ir kļuvis par vienu no nepieciešamajām iekārtām, kam ir liela nozīme plazmas kodināšanas iekārtas darbības un stabilitātes nodrošināšanā.Nepārtraukti attīstoties un progresējot pusvadītāju tehnoloģijai, turbomolekulāro sūkņu pieprasījums un izmantošanas apjoms turpinās paplašināties.Tāpēc turbomolekulāro sūkņu ražotājiem ir nepārtraukti jāuzlabo produktu veiktspēja un kvalitāte, lai apmierinātu pusvadītāju ražošanas nozares pieprasījumu pēc augstākas veiktspējas un stabilākām iekārtām.
Paziņojums par autortiesībām:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. iestājas par intelektuālā īpašuma tiesību ievērošanu un aizsardzību un norāda rakstu avotus ar skaidriem avotiem.Ja atklājat, ka šīs vietnes saturā ir autortiesību vai citas problēmas, lūdzu, sazinieties ar mums, lai to risinātu.Kontaktinformācija:marketing01@gpmcn.com
Izlikšanas laiks: 20.-20.2023