I roto i te umanga whakangao semiconductor o enei ra, ko te plasma etcher me te papu turbomolecular e rua nga hangarau nui.Ko te plasma etcher he taputapu nui ki te hanga i nga waahanga microelectronic, i te mea ko te papu turbomolecular he mea hanga mo te korehau teitei me te tere papu.I roto i tenei tuhinga, ka korerohia e maatau te mahi me te hiranga o nga papu turbomolecular i roto i nga etchers plasma.
Ihirangi
1. Tikanga mahi o te miihini etching plasma
2. Tikanga mahi o te papu turbomolecular
3. Te tono o te papu turbomolecular i roto i te miihini etching plasma
4. Nga painga me nga here o nga papu turbomolecular
5. Whakamutunga
1. Tikanga mahi o te miihini etching plasma:
Ko te plasma etcher he taputapu mo te tukatuka rauemi ma te whakamahi plasma i roto i te ruma korehau.Ko te Plasma he kohinga o nga matūriki kua utaina e te katote hau.Ko te kiato me te ahunga o te nekehanga o te plasma ka taea te whakahaere e nga papa hiko, autō ranei.I te wa e taraihia ana te plasma, ka whiua e te plasma te mata o te taonga mahi ka hikina atu, ka pakaru ranei, ka hanga i te hanganga e hiahiatia ana.
Heoi, he nui te hau ruha ka puta i te wa e tarai ana te plasma.Kei roto i enei hau ngongo nga taonga mahi me nga poke i roto i te hau, me era atu, e tika ana kia tukuna ma te punaha korehau.Na reira, ka hiahia te miihini etching plasma ki te punaha korehau pai hei whakarite i te pumau me te tika o te mahi tarai.
2. Tikanga mahi o te papu turbomolecular:
Ko nga papu turbomolecular tetahi o nga papua tere papu teitei e whakamahia ana i roto i nga punaha korehau.Ka mahi ma te huri i te huinga o nga mea hurihuri tere-tere ki te pupuhi i te hau mai i te ruuma korehau me te pana i te hau ki roto i te hau.I roto i te papu turbomolecular, i te tuatahi ka uru te hau ki roto i te papu tuara i reira ka kōpeketia ki roto i te rohe pehanga teitei i mua i te tuku ki te papu turbomolecular.
I roto i te papu turbomolecular, ka pupuhihia te hau i roto i te impeller hurihuri, i roto i te papu rapoi ka pakaru te hau ki roto i nga ngota ngota iti.Ka taea e nga papu turbomolecular te whakarato i te waatea teitei, a ka taea e to raatau tere te tere ki te 500 ~ 6000 L / s.Mo nga miihini etching plasma e hiahia ana kia nui te korehau, ko nga papu turbomolecular tetahi waahanga nui.
3. Te tono papu turbomolecular i roto i te miihini etching plasma:
Ko nga papu turbomolecular e whakamahia nuitia ana ki nga miihini etching plasma.I roto i te punaha korehau o te miihini etching plasma, ka whakamahia te papu turbomolecular hei papu matua ki te awhina ki te whakatutuki i te korehau teitei.Ka pa ana te plasma ki runga i te mata, ka puta he nui o te hau pau, tae atu ki te toenga o nga rawa mata me nga hua tauhohenga matū.Ko enei hau ngongo me tere te pana ki waho o te ruuma korehau kia pai ai te noho pumau me te pono o te mahi tarai plasma.
Ko te tere papu me te korehau teitei o nga papu turbomolecular e pai ana ki a raatau.I roto i te raima plasma, ka tuuhia te papu turbomolecular ki tetahi waahanga papu motuhake mo te ngawari ki te whakahaere i te korehau me te pehanga.I te wa ano, ki te tiaki i te papu turbomolecular, he mea tika ki te whakauru i te paparanga o te papu miihini me te paera whakaiti i te pehanga i mua o te papu turbomolecular ki te karo i te pehanga nui me te kino ki te papu turbomolecular.
4. Nga painga me nga herenga o nga papu turbomolecular:
He maha nga painga o nga papu turbomolecular, penei i te tere o te pupuhi, te korehau teitei, te haruru iti, me te pono.Ko te tere o te pupuhi o te turbomolecular papu ka taea te whakanui ake i te tohu korehau, a i te wa ano ka taea te whakaiti i te wa pupuhi, na reira ka piki ake te pai o te whakaputa.Ko te iti o te haruru me te nui o te pono o te papu turbomolecular ko tetahi o ona painga, ko te tikanga ka taea e te papu turbomolecular te pupuri i te mahi pai mo te wa roa, ka whakaiti i te maha o te tiaki me te whakakapi.
Heoi ano, he herenga nga papu turbomolecular, penei i te iti o te pai o te papu mo etahi hau.Hei tauira, he iti te kaha o te tangohanga o nga papu turbomolecular mo te hauwai, a, he whakaritenga ano hoki mo te pehanga hau me te pāmahana nga papu turbomolecular.Na reira, i roto i nga tono mahi, he mea tika ki te kowhiri i te momo me nga tawhā mahi o te papu turbomolecular kia rite ki te ahuatanga motuhake hei whakarite i tana mahi noa me te pai.
5.Whakamutunga:
I roto i nga mahi hangahanga semiconductor, ko te miihini etching plasma tetahi o nga taputapu tino nui.I roto i te punaha korehau o te miihini etching plasma, ko te papu turbomolecular, hei papu matua, e whai waahi nui ana ki te whakatutuki i te korehau teitei me te mahi etching plasma pūmau.Ko nga papu turbomolecular he tere tere te pupuhi, he korehau teitei, he iti te haruru me te arotautanga ki te whakatutuki i nga whakaritenga hangarau teitei ake.
Ko te tikanga, ko te mahi a te papu turbomolecular i roto i te miihini etching plasma kaore e taea te whakakapi.I roto i te umanga whakangao semiconductor, kua riro te papu turbomolecular tetahi o nga taputapu e tika ana, he mea nui ki te whakarite i te mahi me te pumau o te miihini etching plasma.Na te whanaketanga tonu me te ahunga whakamua o te hangarau semiconductor, ka piki tonu te tono me te whānuitanga o te whakamahi i nga papu turbomolecular.Na reira, me whakapai tonu nga kaihanga papu turbomolecular mahi hua me te kounga ki te whakatutuki i te hiahia a te ahumahi hanga semiconductor mo nga mahi teitei ake me nga taputapu pumau.
Panui mana pupuri:
Ko te GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. e tautoko ana i te whakaute me te whakamarumaru i nga mana taonga hinengaro me te tohu i te puna o nga tuhinga me nga puna marama.Mena ka kitea e koe he mana pupuri, etahi atu raruraru ranei kei roto i nga korero o tenei paetukutuku, tena koa whakapiri mai ki a maatau ki te mahi.Mōhiohio whakapā:marketing01@gpmcn.com
Te wa tuku: Oketopa-20-2023