ഇന്നത്തെ അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ വ്യവസായത്തിൽ, പ്ലാസ്മ എച്ചറും ടർബോമോളികുലാർ പമ്പും രണ്ട് പ്രധാന സാങ്കേതിക വിദ്യകളാണ്.മൈക്രോ ഇലക്ട്രോണിക് ഘടകങ്ങളുടെ നിർമ്മാണത്തിൽ പ്ലാസ്മ എച്ചർ ഒരു പ്രധാന ഉപകരണമാണ്, അതേസമയം ടർബോമോളികുലാർ പമ്പ് ഉയർന്ന വാക്വത്തിനും ഉയർന്ന പമ്പിംഗ് വേഗതയ്ക്കും വേണ്ടി രൂപകൽപ്പന ചെയ്തിട്ടുള്ളതാണ്.ഈ ലേഖനത്തിൽ, പ്ലാസ്മ എച്ചറുകളിൽ ടർബോമോളികുലാർ പമ്പുകളുടെ പങ്കും പ്രാധാന്യവും ഞങ്ങൾ ചർച്ച ചെയ്യുന്നു.
ഉള്ളടക്കം
1. പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് മെഷീൻ്റെ പ്രവർത്തന തത്വം
2. ടർബോമോളികുലാർ പമ്പിൻ്റെ പ്രവർത്തന തത്വം
3. പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് മെഷീനിൽ ടർബോമോളികുലാർ പമ്പിൻ്റെ പ്രയോഗം
4. ടർബോമോളികുലാർ പമ്പുകളുടെ ഗുണങ്ങളും പരിമിതികളും
5. ഉപസംഹാരം
1. പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് മെഷീൻ്റെ പ്രവർത്തന തത്വം:
ഒരു വാക്വം ചേമ്പറിൽ പ്ലാസ്മ ഉപയോഗിച്ച് മെറ്റീരിയലുകൾ പ്രോസസ്സ് ചെയ്യുന്നതിനുള്ള ഒരു ഉപകരണമാണ് പ്ലാസ്മ എച്ചർ.ഗ്യാസ് അയോണൈസേഷൻ വഴി ഉൽപ്പാദിപ്പിക്കുന്ന ചാർജ്ജ് കണങ്ങളുടെ ഒരു ശേഖരമാണ് പ്ലാസ്മ.പ്ലാസ്മയുടെ ചലനത്തിൻ്റെ സാന്ദ്രതയും ദിശയും ഉയർന്ന ആവൃത്തിയിലുള്ള വൈദ്യുത അല്ലെങ്കിൽ കാന്തിക മണ്ഡലങ്ങളാൽ നിയന്ത്രിക്കാനാകും.പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് സമയത്ത്, ഒരു പ്ലാസ്മ പ്രവർത്തിക്കുന്ന മെറ്റീരിയലിൻ്റെ ഉപരിതലത്തിൽ തട്ടി അതിനെ ഉയർത്തുകയോ നശിപ്പിക്കുകയോ ചെയ്യുന്നു, ആവശ്യമുള്ള ഘടന സൃഷ്ടിക്കുന്നു.
എന്നിരുന്നാലും, പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് സമയത്ത് വലിയ അളവിൽ എക്സ്ഹോസ്റ്റ് വാതകം ഉത്പാദിപ്പിക്കപ്പെടുന്നു.ഈ എക്സ്ഹോസ്റ്റ് വാതകങ്ങളിൽ പ്രവർത്തന വസ്തുക്കളും വാതകത്തിലെ മാലിന്യങ്ങളും ഉൾപ്പെടുന്നു, അവ വാക്വം സിസ്റ്റത്തിലൂടെ ഡിസ്ചാർജ് ചെയ്യേണ്ടതുണ്ട്.അതിനാൽ, പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് മെഷീന് എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയയുടെ സ്ഥിരതയും കൃത്യതയും ഉറപ്പാക്കാൻ കാര്യക്ഷമമായ വാക്വം സിസ്റ്റം ആവശ്യമാണ്.
2. ടർബോമോളികുലാർ പമ്പിൻ്റെ പ്രവർത്തന തത്വം:
വാക്വം സിസ്റ്റങ്ങളിൽ ഏറ്റവും സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്ന ഉയർന്ന പമ്പിംഗ് സ്പീഡ് പമ്പുകളിൽ ഒന്നാണ് ടർബോമോളികുലാർ പമ്പുകൾ.വാക്വം ചേമ്പറിൽ നിന്ന് വാതകം പമ്പ് ചെയ്യാനും അന്തരീക്ഷത്തിലേക്ക് വാതകം പുറന്തള്ളാനും ഒരു കൂട്ടം ഹൈ-സ്പീഡ് റൊട്ടേറ്റിംഗ് ഇംപെല്ലറുകൾ കറക്കിയാണ് ഇത് പ്രവർത്തിക്കുന്നത്.ഒരു ടർബോമോളിക്യുലാർ പമ്പിൽ, ഗ്യാസ് ആദ്യം ഒരു ബാക്കിംഗ് പമ്പിലേക്ക് പ്രവേശിക്കുന്നു, അവിടെ അത് ടർബോമോളികുലാർ പമ്പിലേക്ക് അയയ്ക്കുന്നതിന് മുമ്പ് ഉയർന്ന മർദ്ദമുള്ള പ്രദേശത്തേക്ക് കംപ്രസ് ചെയ്യുന്നു.
ഒരു ടർബോമോളികുലാർ പമ്പിൽ, ഒരു കറങ്ങുന്ന ഇംപെല്ലറിലൂടെ വാതകം പമ്പ് ചെയ്യപ്പെടുന്നു, അതേസമയം തന്മാത്രാ പമ്പിൽ വാതകം ചെറിയ തന്മാത്രകളായി വിഘടിക്കുന്നു.ടർബോമോളികുലാർ പമ്പുകൾക്ക് ഉയർന്ന വാക്വം നൽകാൻ കഴിയും, കൂടാതെ അവയുടെ പമ്പിംഗ് വേഗത 500~6000 L/s ൽ എത്താം.ഉയർന്ന വാക്വം ആവശ്യമുള്ള പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് മെഷീനുകൾക്ക്, ടർബോമോളികുലാർ പമ്പുകൾ ഒഴിച്ചുകൂടാനാവാത്ത ഭാഗമാണ്.
3. പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് മെഷീനിൽ ടർബോമോളികുലാർ പമ്പിൻ്റെ പ്രയോഗം:
പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് മെഷീനുകളിൽ ടർബോമോളികുലാർ പമ്പുകൾ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.ഒരു പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് മെഷീൻ്റെ വാക്വം സിസ്റ്റത്തിൽ, ഉയർന്ന വാക്വം നേടാൻ സഹായിക്കുന്ന പ്രധാന പമ്പായി ടർബോമോളികുലാർ പമ്പ് സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.പ്ലാസ്മ ഉപരിതലത്തിൽ പതിക്കുമ്പോൾ, അവശിഷ്ട അസംസ്കൃത വസ്തുക്കളും രാസപ്രവർത്തന ഉൽപ്പന്നങ്ങളും ഉൾപ്പെടെ വലിയ അളവിൽ എക്സ്ഹോസ്റ്റ് വാതകം ഉത്പാദിപ്പിക്കുന്നു.പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയയുടെ സ്ഥിരതയും വിശ്വാസ്യതയും ഉറപ്പാക്കാൻ ഈ എക്സ്ഹോസ്റ്റ് വാതകങ്ങൾ വാക്വം ചേമ്പറിൽ നിന്ന് വേഗത്തിലും കാര്യക്ഷമമായും പമ്പ് ചെയ്യേണ്ടതുണ്ട്.
ടർബോമോളികുലാർ പമ്പുകളുടെ ഉയർന്ന പമ്പിംഗ് വേഗതയും ഉയർന്ന വാക്വവും അവയെ അനുയോജ്യമായ പമ്പുകളാക്കുന്നു.ഒരു പ്ലാസ്മ എച്ചറിൽ, ടർബോമോളികുലാർ പമ്പ് സാധാരണയായി ഒരു പ്രത്യേക പമ്പ് യൂണിറ്റിലാണ് വാക്വവും മർദ്ദവും എളുപ്പത്തിൽ നിയന്ത്രിക്കുന്നത്.അതേസമയം, ടർബോമോളിക്യുലാർ പമ്പിനെ സംരക്ഷിക്കുന്നതിന്, അമിതമായ മർദ്ദവും ടർബോമോളിക്യുലാർ പമ്പിന് കേടുപാടുകളും ഉണ്ടാകാതിരിക്കാൻ ടർബോമോളികുലാർ പമ്പിന് മുന്നിൽ ഒരു മെക്കാനിക്കൽ പമ്പും മർദ്ദം കുറയ്ക്കുന്ന വാൽവും ഇൻസ്റ്റാൾ ചെയ്യേണ്ടത് ആവശ്യമാണ്.
4. ടർബോമോളികുലാർ പമ്പുകളുടെ ഗുണങ്ങളും പരിമിതികളും:
ടർബോമോളികുലാർ പമ്പുകൾക്ക് ഉയർന്ന പമ്പിംഗ് വേഗത, ഉയർന്ന വാക്വം, കുറഞ്ഞ ശബ്ദം, ഉയർന്ന വിശ്വാസ്യത എന്നിങ്ങനെ നിരവധി ഗുണങ്ങളുണ്ട്.ടർബോമോളികുലാർ പമ്പിൻ്റെ ഉയർന്ന പമ്പിംഗ് വേഗത വാക്വം ഡിഗ്രി വർദ്ധിപ്പിക്കും, അതേ സമയം പമ്പിംഗ് സമയം കുറയ്ക്കാനും അതുവഴി ഉൽപ്പാദനക്ഷമത വർദ്ധിപ്പിക്കാനും കഴിയും.ടർബോമോളിക്യുലാർ പമ്പിൻ്റെ കുറഞ്ഞ ശബ്ദവും ഉയർന്ന വിശ്വാസ്യതയും അതിൻ്റെ ഗുണങ്ങളിലൊന്നാണ്, അതായത് ടർബോമോളിക്യുലാർ പമ്പിന് കൂടുതൽ സമയത്തേക്ക് കാര്യക്ഷമമായ പ്രവർത്തനം നിലനിർത്താൻ കഴിയും, ഇത് അറ്റകുറ്റപ്പണികളുടെയും മാറ്റിസ്ഥാപിക്കലിൻ്റെയും എണ്ണം കുറയ്ക്കുന്നു.
എന്നിരുന്നാലും, ടർബോമോളിക്യുലാർ പമ്പുകൾക്ക് ചില പരിമിതികളുണ്ട്, ചില വാതകങ്ങൾക്ക് കുറഞ്ഞ പമ്പിംഗ് കാര്യക്ഷമത.ഉദാഹരണത്തിന്, ടർബോമോളിക്യുലാർ പമ്പുകൾക്ക് ഹൈഡ്രജൻ്റെ എക്സ്ട്രാക്ഷൻ കാര്യക്ഷമത കുറവാണ്, കൂടാതെ ടർബോമോളികുലാർ പമ്പുകൾക്ക് വാതക സമ്മർദ്ദത്തിനും താപനിലയ്ക്കും ചില ആവശ്യകതകളുണ്ട്.അതിനാൽ, പ്രായോഗിക പ്രയോഗങ്ങളിൽ, ടർബോമോളികുലാർ പമ്പിൻ്റെ സാധാരണവും കാര്യക്ഷമവുമായ പ്രവർത്തനം ഉറപ്പാക്കുന്നതിന് നിർദ്ദിഷ്ട സാഹചര്യത്തിനനുസരിച്ച് അതിൻ്റെ തരവും പ്രവർത്തന പാരാമീറ്ററുകളും തിരഞ്ഞെടുക്കേണ്ടത് ആവശ്യമാണ്.
5. ഉപസംഹാരം:
അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ, പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് മെഷീൻ വളരെ പ്രധാനപ്പെട്ട ഉപകരണങ്ങളിൽ ഒന്നാണ്.പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് മെഷീൻ്റെ വാക്വം സിസ്റ്റത്തിൽ, പ്രധാന പമ്പ് എന്ന നിലയിൽ ടർബോമോളിക്യുലാർ പമ്പ് ഉയർന്ന വാക്വവും സ്ഥിരതയുള്ള പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് പ്രക്രിയയും കൈവരിക്കുന്നതിൽ ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കുന്നു.ഉയർന്ന സാങ്കേതിക ആവശ്യങ്ങൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി ടർബോമോളികുലാർ പമ്പുകൾക്ക് ഉയർന്ന പമ്പിംഗ് വേഗത, ഉയർന്ന വാക്വം, കുറഞ്ഞ ശബ്ദം, ഒപ്റ്റിമൈസേഷൻ എന്നിവയുണ്ട്.
പൊതുവായി പറഞ്ഞാൽ, പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് മെഷീനിൽ ടർബോമോളികുലാർ പമ്പിൻ്റെ പങ്ക് മാറ്റാനാകാത്തതാണ്.അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ വ്യവസായത്തിൽ, ടർബോമോളികുലാർ പമ്പ് ആവശ്യമായ ഉപകരണങ്ങളിലൊന്നായി മാറിയിരിക്കുന്നു, ഇത് പ്ലാസ്മ എച്ചിംഗ് മെഷീൻ്റെ പ്രകടനവും സ്ഥിരതയും ഉറപ്പാക്കുന്നതിൽ ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കുന്നു.അർദ്ധചാലക സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ തുടർച്ചയായ വികസനവും പുരോഗതിയും കൊണ്ട്, ടർബോമോളികുലാർ പമ്പുകളുടെ ആവശ്യകതയും ഉപയോഗത്തിൻ്റെ വ്യാപ്തിയും വികസിക്കുന്നത് തുടരും.അതിനാൽ, ഉയർന്ന പ്രകടനത്തിനും കൂടുതൽ സ്ഥിരതയുള്ള ഉപകരണങ്ങൾക്കുമുള്ള അർദ്ധചാലക നിർമ്മാണ വ്യവസായത്തിൻ്റെ ആവശ്യം നിറവേറ്റുന്നതിന് ടർബോമോളികുലാർ പമ്പ് നിർമ്മാതാക്കൾ ഉൽപ്പന്ന പ്രകടനവും ഗുണനിലവാരവും തുടർച്ചയായി മെച്ചപ്പെടുത്തേണ്ടതുണ്ട്.
പകർപ്പവകാശ അറിയിപ്പ്:
GPM ഇൻ്റലിജൻ്റ് ടെക്നോളജി(Guangdong) Co., Ltd. ബൗദ്ധിക സ്വത്തവകാശങ്ങളുടെ ബഹുമാനത്തിനും സംരക്ഷണത്തിനും വേണ്ടി വാദിക്കുകയും വ്യക്തമായ ഉറവിടങ്ങളുള്ള ലേഖനങ്ങളുടെ ഉറവിടം സൂചിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.ഈ വെബ്സൈറ്റിൻ്റെ ഉള്ളടക്കത്തിൽ പകർപ്പവകാശമോ മറ്റ് പ്രശ്നങ്ങളോ ഉണ്ടെന്ന് നിങ്ങൾ കണ്ടെത്തുകയാണെങ്കിൽ, അത് കൈകാര്യം ചെയ്യാൻ ഞങ്ങളെ ബന്ധപ്പെടുക.ബന്ധപ്പെടാനുള്ള വിവരങ്ങൾ:marketing01@gpmcn.com
പോസ്റ്റ് സമയം: ഒക്ടോബർ-20-2023