Хагас дамжуулагч нь орчин үеийн электроникийн үйлдвэрлэлийн үндсэн материалуудын нэг бөгөөд нэгдсэн хэлхээ, оптоэлектроник төхөөрөмж зэрэг электрон эд ангиудыг үйлдвэрлэх чухал материал юм.Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл хөгжихийн хэрээр хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн үйлдвэрлэл улам бүр чухал болж байна.Хагас дамжуулагч төхөөрөмжид механик хаалганы нарийн холболт нь маш чухал бүрэлдэхүүн хэсэг бөгөөд битүүмжлэх механик хаалганы агаар нэвтрэхгүй байх, төхөөрөмжийн хэвийн ажиллагааг хангах үүрэгтэй.Энэхүү нийтлэл нь хагас дамжуулагч төхөөрөмж дэх хаалганы механик холболтын нарийн боловсруулалтын тодорхойлолт, функц, шинж чанар, боловсруулах үйл явц, практик хэрэглээг танилцуулж, түүний ач холбогдол, хагас дамжуулагч төхөөрөмжид хэрэглэх хэтийн төлөвийг судлах зорилготой юм.
Агуулга:
I. Хаалганы механик холболтын нарийн боловсруулалтын тодорхойлолт
II.Хаалганы механик холболтыг нарийн боловсруулах функц
III.Хаалганы механик холболтын нарийн боловсруулалтын шинж чанар
IV.Нарийвчилсан боловсруулалтын механик хаалганы холболтыг боловсруулах үйл явц
V. Хагас дамжуулагч төхөөрөмжид нарийн боловсруулалтын механик хаалганы холболтын практик хэрэглээ
I. Хаалганы механик холболтын нарийн боловсруулалтын тодорхойлолт
Нарийвчлалтай механик хаалганы холболт нь өндөр нарийвчлалтай машин хэрэгслээр боловсруулсан нарийн механик бүрэлдэхүүн хэсэг юм.Үндсэн үүрэг нь механик хаалга болон тоног төхөөрөмжийн их биеийг хооронд нь холбож, битүүмжлэх механик хаалганы агаар нэвтрэхгүй байх, тоос шороо, ус болон бусад бохирдуулагч бодисыг тоног төхөөрөмжид нэвтрүүлэхгүй байх, тоног төхөөрөмжийн хэвийн ажиллагааг хангахад оршино.Хагас дамжуулагч төхөөрөмжид нарийн механик хаалганы холболтыг ашиглах нь маш өргөн цар хүрээтэй бөгөөд үүнд вакуум үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмж, нимгэн хальс хадгалах төхөөрөмж, фотолитографийн төхөөрөмж гэх мэт.
II.Хаалганы механик холболтыг нарийн боловсруулах функц
Хагас дамжуулагч төхөөрөмжид хаалганы механик холболтыг нарийн боловсруулах функц нь маш чухал юм.Үүний гол үүрэг нь битүүмжлэх механик хаалганы агаарын битүүмжлэлийг хангах явдал юм.Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн янз бүрийн процессыг хүрээлэн буй орчны тодорхой нөхцөлд гүйцэтгэх шаардлагатай бөгөөд эдгээр нөхцлийг нарийн боловсруулалтын механик хаалганы холболтын агаарын битүүмжлэлээр баталгаажуулах шаардлагатай.Жишээлбэл, вакуум үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид механик хаалганы холболтыг нарийн боловсруулах нь битүүмжлэх хаалгыг бүрэн вакуум орчинд хүрэхийн тулд төхөөрөмжийн биед нягт тааруулж, тоног төхөөрөмжийг бохирдуулахгүй байх шаардлагатай.Үүний зэрэгцээ, нарийн боловсруулалтын механик хаалганы холбоос нь тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын явцад хүнд дарамт, чичиргээг тэсвэрлэж, төхөөрөмжийн тогтвортой байдал, аюулгүй байдлыг хангадаг.
III.Хаалганы механик холболтын нарийн боловсруулалтын шинж чанар
Хаалганы механик холболтыг нарийн боловсруулах нь олон шинж чанар, давуу талтай байдаг.Нэгдүгээрт, түүний боловсруулалтын нарийвчлал нь маш өндөр бөгөөд микроны түвшний нарийвчлалын шаардлагыг хангаж чаддаг.Хоёрдугаарт, нарийн боловсруулалтын механик хаалганы холбоос нь механик шинж чанар, химийн тогтвортой байдал сайтай бөгөөд хүчтэй хүчил, шүлт зэрэг идэмхий бодисыг тэсвэрлэх чадвартай тул тоног төхөөрөмжийг удаан хугацааны туршид гэмтээхгүй байх боломжийг олгодог.Нэмж дурдахад, хаалганы механик холболт нь өндөр механик бат бөх, хатуу бөгөөд өндөр давтамжийн хөдөлгөөн, чичиргээг тэсвэрлэх чадвартай.
Хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн хувьд хаалганы механик холболтыг нарийн боловсруулахад өргөн хүрээний хэрэглээний хувилбарууд байдаг.Жишээлбэл, хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд зориулсан нойтон сийлбэр хийх төхөөрөмжид битүүмжлэх механик хаалганы агаарын битүүмжлэлийн шаардлага маш өндөр байдаг бөгөөд энэ нь битүүмжлэлийн үр нөлөөг хангахын тулд нарийн механик механик хаалганы холболтыг ашиглахыг шаарддаг.Нэмж дурдахад, хаалганы механик холболтыг нарийн боловсруулахад хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжийн вакуум систем, хагас дамжуулагч чип шалгах төхөөрөмж болон бусад салбарт ашиглаж болно.
IV.Нарийвчилсан боловсруулалтын механик хаалганы холболтыг боловсруулах үйл явц
Хаалганы механик холболтыг нарийн боловсруулах үйл явц нь ихэвчлэн дараах алхмуудыг агуулдаг: материалыг бэлтгэх, урьдчилан боловсруулах, механик боловсруулалт, туршилт ба тохируулга, цэвэрлэх, савлах гэх мэт. Боловсруулахаас өмнө бэлтгэхдээ нарийвчилсан боловсруулалтын төлөвлөгөөг боловсруулах шаардлагатай. болон тохирох боловсруулах тоног төхөөрөмж, багаж хэрэгслийг сонгох шаардлагатай.Механик боловсруулалтын үе шатанд нарийвчлал, гадаргуугийн чанарын шаардлагыг хангахын тулд өндөр нарийвчлалтай машин хэрэгсэл, зүсэх хэрэгслийг ашигладаг.Туршилт, тохируулгын үе шат нь боловсруулалтын нарийвчлал, чанарыг баталгаажуулахын тулд гурван координат хэмжих машин гэх мэт нарийн туршилтын хэрэгсэл, аргыг ашиглахыг шаарддаг.Эцэст нь цэвэрлэх, баглаа боодлын үе шат нь механик хаалганы механик холбоосыг цэвэрлэх, тослох, зэврэлтээс урьдчилан сэргийлэх, савлах, дараа нь ашиглах, удирдахад зориулагдсан шошго юм.
V. Хагас дамжуулагч төхөөрөмжид нарийн боловсруулалтын механик хаалганы холболтын практик хэрэглээ
Хагас дамжуулагч төхөөрөмжид хаалганы механик холболтыг нарийн боловсруулах практик хэрэглээ нь маш чухал юм.Хаалганы механик холболтыг нарийн боловсруулснаар хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн гүйцэтгэл, тогтвортой байдлыг үр дүнтэй сайжруулж, засвар үйлчилгээний зардал, эвдрэлийн түвшинг бууруулах боломжтой.Практик хэрэглээнд олон компани, байгууллагууд хагас дамжуулагч үйлдвэрлэхэд нойтон сийлбэр хийх төхөөрөмжид ашигладаг механик хаалгыг битүүмжлэх зэрэг нарийн механик хаалганы холболтыг ашигладаг.
Дүгнэлт
Ерөнхийдөө хагас дамжуулагч төхөөрөмжид механик хаалганы холболтыг нарийн боловсруулахын ач холбогдол, давуу талыг үл тоомсорлож болохгүй.Хагас дамжуулагч төхөөрөмжид нарийн боловсруулалтын технологийг ашиглах хэтийн төлөв ирээдүйтэй байна, учир нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл нь тоног төхөөрөмжийн гүйцэтгэл, тогтвортой байдалд улам өндөр шаардлага тавьж байгаа бөгөөд хаалганы механик холболтыг нарийн боловсруулах нь эдгээр шаардлагыг хангахад тусалдаг.Хаалганы механик холболтыг нарийн боловсруулах нь өндөр нарийвчлалтай, элэгдэлд тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй, удаан эдэлгээтэй байдаг тул хагас дамжуулагч төхөөрөмжийн механик хаалганы битүүмжлэлийг хангаж, тоног төхөөрөмжийн тогтвортой байдал, найдвартай байдлыг сайжруулдаг.Практик хэрэглээний хувьд хаалганы механик холболтыг нарийн боловсруулах нь хагас дамжуулагч төхөөрөмжид өргөн хэрэглэгддэг бөгөөд хэрэглээний чухал үр дүнд хүрсэн.Тиймээс хаалганы механик холболтыг нарийн боловсруулах нь хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд илүү өргөн хүрээний хэрэглээтэй байх болно.
Шуудангийн цаг: 2023 оны 11-р сарын 20-ны хооронд