Өнөөгийн хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн салбарт плазмын зүлгүүр болон турбомолекул насос нь хоёр чухал гол технологи юм.Плазмын нунтаглагч нь микроэлектроник эд анги үйлдвэрлэхэд чухал хэрэгсэл болдог бол турбомолекул насос нь өндөр вакуум, өндөр хурдтай шахах зориулалттай.Энэ нийтлэлд бид плазмын сийвэн дэх турбомолекулын насосны үүрэг, ач холбогдлын талаар ярилцах болно.
Агуулга
1. Плазма сийлбэр хийх машины ажиллах зарчим
2. Турбомолекулын насосны ажиллах зарчим
3. Плазмын сийлбэрийн машинд турбомолекулын насосыг ашиглах
4. Турбомолекулын шахуургын давуу ба хязгаарлалт
5. Дүгнэлт
1. Плазма сийлбэр хийх машины ажиллах зарчим:
Плазма сийлбэр нь вакуум камерт плазмыг ашиглан материалыг боловсруулах хэрэгсэл юм.Плазма нь хийн иончлолын үр дүнд үүссэн цэнэгтэй хэсгүүдийн цуглуулга юм.Плазмын нягтрал ба хөдөлгөөний чиглэлийг өндөр давтамжийн цахилгаан эсвэл соронзон орны тусламжтайгаар удирдаж болно.Плазмын сийлбэр хийх явцад плазм нь ажлын материалын гадаргуу дээр цохиулж, түүнийг өргөж эсвэл элэгдэлд оруулснаар хүссэн бүтцийг бий болгодог.
Гэсэн хэдий ч плазмын сийлбэр хийх явцад их хэмжээний яндангийн хий үүсдэг.Эдгээр яндангийн хий нь вакуум системээр гадагшлуулах шаардлагатай ажлын материал, хийн хольц гэх мэт.Тиймээс сийвэн сийлбэрийн машинд сийлбэрийн үйл явцын тогтвортой байдал, үнэн зөв байдлыг хангахын тулд үр ашигтай вакуум систем хэрэгтэй.
2. Турбомолекул насосны ажиллах зарчим:
Турбомолекул насос нь вакуум системд хамгийн их ашиглагддаг өндөр хурдтай шахуургын нэг юм.Энэ нь вакуум танхимаас хийг шахаж, агаар мандалд гаргахын тулд өндөр хурдтай эргэдэг сэнсийг эргүүлэх замаар ажилладаг.Турбомолекулын шахуургад хий нь эхлээд арын насос руу орж, турбомолекулын насос руу илгээгдэхээсээ өмнө өндөр даралтын бүсэд шахагддаг.
Турбомолекулын шахуургад хий нь эргэдэг импеллерээр дамждаг бол молекулын шахуургад хий нь жижиг молекулуудад задардаг.Турбомолекулын шахуургууд нь өндөр вакуумаар хангаж, шахах хурд нь 500~6000 л/с хүрч чаддаг.Өндөр вакуум шаарддаг плазмын сийлбэр хийх машинуудын хувьд турбомолекул насос нь зайлшгүй чухал хэсэг юм.
3. Плазмын сийлбэрийн машинд турбомолекулын насосыг ашиглах:
Турбомолекулын насосыг плазмын сийлбэр хийх машинд өргөн ашигладаг.Плазмын сийлбэр хийх машины вакуум системд турбомолекулын насосыг ихэвчлэн өндөр вакуум гаргахад туслах гол насос болгон ашигладаг.Плазма нь гадаргуу дээр хүрэх үед үлдэгдэл түүхий эд, химийн урвалын бүтээгдэхүүн зэрэг их хэмжээний яндангийн хий үүсгэдэг.Плазмыг сийлбэрлэх үйл явцын тогтвортой байдал, найдвартай байдлыг хангахын тулд эдгээр яндангийн хийг вакуум танхимаас хурдан бөгөөд үр дүнтэй шахах шаардлагатай.
Турбомолекулын шахуургын өндөр хурд, өндөр вакуум нь тэдгээрийг хамгийн тохиромжтой насос болгодог.Плазмын нунтаглагчийн хувьд турбомолекулын насосыг вакуум ба даралтыг хялбар хянахын тулд ихэвчлэн тусдаа шахуургын нэгжид байрлуулдаг.Үүний зэрэгцээ турбомолекулын шахуургыг хамгаалахын тулд турбомолекулын насосны хэт их даралт, гэмтлээс зайлсхийхийн тулд турбомолекулын насосны өмнө механик шахуургын давхарга, даралт бууруулах хавхлагыг суурилуулах шаардлагатай.
4. Турбомолекулын шахуургын давуу болон хязгаарлалт:
Турбомолекулын шахуурга нь шахуургын хурд өндөр, вакуум өндөр, дуу чимээ бага, найдвартай байдал зэрэг олон давуу талтай.Турбомолекулын шахуургын шахуургын өндөр хурд нь вакуум түвшинг нэмэгдүүлэхээс гадна шахах хугацааг багасгаж, улмаар үйлдвэрлэлийн үр ашгийг нэмэгдүүлдэг.Турбомолекулын насосны дуу чимээ багатай, өндөр найдвартай байдал нь түүний давуу талуудын нэг бөгөөд энэ нь турбомолекулын насос нь удаан хугацааны туршид үр ашигтай ажиллах боломжтой бөгөөд засвар үйлчилгээ, солих ажлыг багасгадаг.
Гэсэн хэдий ч турбомолекулын шахуургууд нь зарим хийн шахуургын үр ашиг бага зэрэг хязгаарлалттай байдаг.Жишээлбэл, турбомолекулын шахуургууд нь устөрөгчийг олборлох үр ашиг багатай байдаг ба турбомолекул насосууд нь хийн даралт, температурт тодорхой шаардлага тавьдаг.Тиймээс практик хэрэглээнд турбомолекулын шахуургын хэвийн, үр ашигтай ажиллагааг хангахын тулд тодорхой нөхцөл байдлын дагуу түүний төрөл, ажлын параметрүүдийг сонгох шаардлагатай.
5. Дүгнэлт:
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн процесст плазмын сийлбэр хийх машин нь маш чухал тоног төхөөрөмжийн нэг юм.Плазмын сийлбэр хийх машины вакуум системд турбомолекулын насос нь үндсэн шахуургын хувьд өндөр вакуум, тогтвортой плазмын сийлбэр хийх үйл явцыг бий болгоход чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.Турбомолекулын шахуургууд нь өндөр шахах хурд, өндөр вакуум, дуу чимээ багатай, техникийн өндөр шаардлагыг хангахын тулд оновчтой байдаг.
Ерөнхийдөө сийвэн сийлбэрлэх машин дахь турбомолекулын насосны үүрэг орлуулашгүй юм.Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн салбарт турбомолекул насос нь плазмын сийлбэрийн машины гүйцэтгэл, тогтвортой байдлыг хангахад чухал үүрэг гүйцэтгэдэг шаардлагатай тоног төхөөрөмжийн нэг болсон.Хагас дамжуулагч технологийн тасралтгүй хөгжил, дэвшлийг дагаад турбомолекулын насосны эрэлт хэрэгцээ, ашиглалтын цар хүрээ улам өргөжих болно.Тиймээс турбомолекул насос үйлдвэрлэгчид хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн салбарын өндөр гүйцэтгэл, илүү тогтвортой тоног төхөөрөмжийн эрэлт хэрэгцээг хангахын тулд бүтээгдэхүүний гүйцэтгэл, чанарыг тасралтгүй сайжруулах шаардлагатай байна.
Зохиогчийн эрхийн мэдэгдэл:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) ХХК нь оюуны өмчийн эрхийг хүндэтгэж, хамгаалахыг дэмжиж, нийтлэлийн эх сурвалжийг тодорхой эх сурвалжтай зааж өгдөг.Хэрэв та энэ вэб сайтын агуулгад зохиогчийн эрх болон бусад асуудал байгааг олж мэдвэл бидэнтэй холбоо барина уу.Холбогдох мэдээлэл:marketing01@gpmcn.com
Шуудангийн цаг: 2023 оны 10-р сарын 20-ны хооронд