Dalam industri pembuatan semikonduktor hari ini, pengetsa plasma dan pam turbomolekul adalah dua teknologi utama yang penting.Etsa plasma ialah alat penting dalam pembuatan komponen mikroelektronik, manakala pam turbomolekul direka untuk vakum tinggi dan kelajuan mengepam tinggi.Dalam artikel ini, kita membincangkan peranan dan kepentingan pam turbomolekul dalam etcher plasma.
Kandungan
1. Prinsip kerja mesin etsa plasma
2. Prinsip kerja pam turbomolekul
3. Penggunaan pam turbomolekul dalam mesin etsa plasma
4. Kelebihan dan had pam turbomolekul
5. Kesimpulan
1. Prinsip kerja mesin etsa plasma:
Etsa plasma ialah alat untuk memproses bahan dengan menggunakan plasma dalam ruang hampagas.Plasma ialah koleksi zarah bercas yang dihasilkan oleh pengionan gas.Ketumpatan dan arah pergerakan plasma boleh dikawal oleh medan elektrik atau magnet frekuensi tinggi.Semasa pengelasan plasma, plasma menyerang permukaan bahan kerja dan mengangkatnya atau menghakisnya, mewujudkan struktur yang dikehendaki.
Walau bagaimanapun, sejumlah besar gas ekzos dijana semasa etsa plasma.Gas ekzos ini termasuk bahan kerja dan kekotoran dalam gas, dsb., yang perlu dibuang melalui sistem vakum.Oleh itu, mesin etsa plasma memerlukan sistem vakum yang cekap untuk memastikan kestabilan dan ketepatan proses etsa.
2. Prinsip kerja pam turbomolekul:
Pam turbomolekul adalah salah satu pam berkelajuan tinggi mengepam yang paling biasa digunakan dalam sistem vakum.Ia berfungsi dengan memutar set pendesak berputar berkelajuan tinggi untuk mengepam gas keluar dari ruang vakum dan mengeluarkan gas ke atmosfera.Dalam pam turbomolekul, gas mula-mula memasuki pam sokongan di mana ia dimampatkan ke kawasan tekanan tinggi sebelum dihantar ke pam turbomolekul.
Dalam pam turbomolekul, gas dipam melalui pendesak berputar, manakala dalam pam molekul gas dipecahkan kepada molekul yang lebih kecil.Pam turbomolekul boleh memberikan vakum yang tinggi, dan kelajuan mengepamnya boleh mencapai 500~6000 L/s.Untuk mesin etsa plasma yang memerlukan vakum tinggi, pam turbomolekul adalah bahagian yang amat diperlukan.
3. Penggunaan pam turbomolekul dalam mesin etsa plasma:
Pam turbomolekul digunakan secara meluas dalam mesin etsa plasma.Dalam sistem vakum mesin etsa plasma, pam turbomolekul biasanya digunakan sebagai pam utama untuk membantu mencapai vakum yang tinggi.Apabila plasma mencecah permukaan, ia menghasilkan sejumlah besar gas ekzos, termasuk sisa bahan mentah dan produk tindak balas kimia.Gas ekzos ini perlu dipam keluar dari ruang vakum dengan cepat dan cekap untuk memastikan kestabilan dan kebolehpercayaan proses etsa plasma.
Kelajuan pengepaman yang tinggi dan vakum pam turbomolekul yang tinggi menjadikannya pam yang ideal.Dalam echer plasma, pam turbomolekul biasanya diletakkan dalam unit pam yang berasingan untuk kawalan vakum dan tekanan yang mudah.Pada masa yang sama, untuk melindungi pam turbomolekul, perlu memasang lapisan pam mekanikal dan injap pengurangan tekanan di hadapan pam turbomolekul untuk mengelakkan tekanan berlebihan dan kerosakan pada pam turbomolekul.
4. Kelebihan dan had pam turbomolekul:
Pam turbomolekul mempunyai banyak kelebihan, seperti kelajuan mengepam tinggi, vakum tinggi, bunyi rendah dan kebolehpercayaan yang tinggi.Kelajuan pengepaman pam turbomolekul yang tinggi boleh meningkatkan tahap vakum, dan pada masa yang sama dapat mengurangkan masa mengepam, dengan itu meningkatkan kecekapan pengeluaran.Bunyi yang rendah dan kebolehpercayaan pam turbomolekul yang tinggi juga merupakan salah satu kelebihannya, yang bermaksud bahawa pam turbomolekul boleh mengekalkan operasi yang cekap untuk jangka masa yang lebih lama, mengurangkan bilangan penyelenggaraan dan penggantian.
Walau bagaimanapun, pam turbomolekul juga mempunyai beberapa batasan, seperti kecekapan pengepaman yang rendah untuk gas tertentu.Sebagai contoh, pam turbomolekul mempunyai kecekapan pengekstrakan yang rendah untuk hidrogen, dan pam turbomolekul juga mempunyai keperluan tertentu untuk tekanan dan suhu gas.Oleh itu, dalam aplikasi praktikal, adalah perlu untuk memilih jenis dan parameter kerja pam turbomolekul mengikut situasi tertentu untuk memastikan operasi normal dan cekap.
5. Kesimpulan:
Dalam proses pembuatan semikonduktor, mesin etsa plasma adalah salah satu peralatan yang sangat penting.Dalam sistem vakum mesin etsa plasma, pam turbomolekul, sebagai pam utama, memainkan peranan penting dalam mencapai vakum tinggi dan proses etsa plasma yang stabil.Pam turbo mempunyai kelajuan pengepaman yang tinggi, vakum yang tinggi, bunyi yang rendah dan pengoptimuman untuk memenuhi keperluan teknikal yang lebih tinggi.
Secara umumnya, peranan pam turbomolekul dalam mesin etsa plasma tidak boleh ditukar ganti.Dalam industri pembuatan semikonduktor, pam turbomolekul telah menjadi salah satu peralatan yang diperlukan, yang memainkan peranan penting dalam memastikan prestasi dan kestabilan mesin etsa plasma.Dengan pembangunan berterusan dan kemajuan teknologi semikonduktor, permintaan dan skop penggunaan pam turbomolekul akan terus berkembang.Oleh itu, pengeluar pam turbomolekul perlu terus meningkatkan prestasi dan kualiti produk untuk memenuhi permintaan industri pembuatan semikonduktor untuk prestasi yang lebih tinggi dan peralatan yang lebih stabil.
Notis hak cipta:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. menyokong penghormatan dan perlindungan hak harta intelek dan menunjukkan sumber artikel dengan sumber yang jelas.Jika anda mendapati bahawa terdapat hak cipta atau masalah lain dalam kandungan laman web ini, sila hubungi kami untuk menanganinya.Maklumat perhubungan:marketing01@gpmcn.com
Masa siaran: 20-Okt-2023