In de hedendaagse halfgeleiderindustrie zijn plasma-etser en turbomoleculaire pomp twee belangrijke sleuteltechnologieën.Een plasma-etser is een essentieel hulpmiddel bij de vervaardiging van micro-elektronische componenten, terwijl een turbomoleculaire pomp is ontworpen voor hoog vacuüm en hoge pompsnelheid.In dit artikel bespreken we de rol en het belang van turbomoleculaire pompen in plasma-etsers.
Inhoud
1. Werkingsprincipe van plasma-etsmachine
2. Werkingsprincipe van de turbomoleculaire pomp
3. Toepassing van een turbomoleculaire pomp in een plasma-etsmachine
4. Voordelen en beperkingen van turbomoleculaire pompen
5. Conclusie
1. Werkingsprincipe van plasma-etsmachine:
Een plasma-etser is een hulpmiddel voor het verwerken van materialen door plasma in een vacuümkamer te gebruiken.Plasma is een verzameling geladen deeltjes die wordt geproduceerd door gasionisatie.De dichtheid en bewegingsrichting van plasma kunnen worden geregeld door hoogfrequente elektrische of magnetische velden.Tijdens het plasma-etsen raakt een plasma het oppervlak van het werkmateriaal en tilt het op of erodeert het, waardoor de gewenste structuur ontstaat.
Tijdens het plasma-etsen wordt echter een grote hoeveelheid uitlaatgas gegenereerd.Deze uitlaatgassen omvatten werkstoffen en onzuiverheden in het gas etc., die via het vacuümsysteem moeten worden afgevoerd.Daarom heeft de plasma-etsmachine een efficiënt vacuümsysteem nodig om de stabiliteit en nauwkeurigheid van het etsproces te garanderen.
2. Werkingsprincipe van turbomoleculaire pomp:
Turbomoleculaire pompen zijn een van de meest gebruikte pompen met hoge pompsnelheid in vacuümsystemen.Het werkt door een reeks met hoge snelheid roterende waaiers te laten draaien om het gas uit de vacuümkamer te pompen en het gas in de atmosfeer te verdrijven.In een turbomoleculaire pomp komt het gas eerst in een hulppomp waar het wordt samengeperst in een hogedrukgebied voordat het naar de turbomoleculaire pomp wordt gestuurd.
Bij een turbomoleculaire pomp wordt het gas door een roterende waaier gepompt, terwijl bij een moleculaire pomp het gas wordt afgebroken tot kleinere moleculen.Turbomoleculaire pompen kunnen een hoog vacuüm leveren en hun pompsnelheid kan 500 ~ 6000 l/s bereiken.Voor plasma-etsmachines die een hoog vacuüm vereisen, zijn turbomoleculaire pompen een onmisbaar onderdeel.
3. Toepassing van turbomoleculaire pomp in plasma-etsmachine:
Turbomoleculaire pompen worden veel gebruikt in plasma-etsmachines.In het vacuümsysteem van een plasma-etsmachine wordt meestal een turbomoleculaire pomp als hoofdpomp gebruikt om een hoog vacuüm te helpen bereiken.Wanneer het plasma het oppervlak raakt, produceert het een grote hoeveelheid uitlaatgas, inclusief resterende grondstoffen en chemische reactieproducten.Deze uitlaatgassen moeten snel en efficiënt uit de vacuümkamer worden gepompt om de stabiliteit en betrouwbaarheid van het plasma-etsproces te garanderen.
De hoge pompsnelheid en het hoge vacuüm van turbomoleculaire pompen maken ze tot ideale pompen.In een plasma-etser wordt de turbomoleculaire pomp meestal in een aparte pompeenheid geplaatst voor eenvoudige regeling van vacuüm en druk.Om de turbomoleculaire pomp te beschermen, is het tegelijkertijd noodzakelijk om een laag mechanische pomp en een drukreduceerventiel voor de turbomoleculaire pomp te installeren om overmatige druk en schade aan de turbomoleculaire pomp te voorkomen.
4. Voordelen en beperkingen van turbomoleculaire pompen:
Turbomoleculaire pompen hebben veel voordelen, zoals hoge pompsnelheid, hoog vacuüm, laag geluidsniveau en hoge betrouwbaarheid.De hoge pompsnelheid van de turbomoleculaire pomp kan de vacuümgraad verhogen en tegelijkertijd de pomptijd verkorten, waardoor de productie-efficiëntie toeneemt.Het lage geluidsniveau en de hoge betrouwbaarheid van de turbomoleculaire pomp is ook een van de voordelen ervan, wat betekent dat de turbomoleculaire pomp gedurende een langere periode efficiënt kan blijven werken, waardoor het aantal onderhoud en vervangingen wordt verminderd.
Turbomoleculaire pompen hebben echter ook enkele beperkingen, zoals een laag pomprendement voor bepaalde gassen.Turbomoleculaire pompen hebben bijvoorbeeld een lage extractie-efficiëntie voor waterstof, en turbomoleculaire pompen stellen ook bepaalde eisen aan gasdruk en temperatuur.Daarom is het in praktische toepassingen noodzakelijk om het type en de werkparameters van de turbomoleculaire pomp te selecteren op basis van de specifieke situatie om de normale en efficiënte werking ervan te garanderen.
5. Conclusie:
In het productieproces van halfgeleiders is de plasma-etsmachine een van de zeer belangrijke apparatuur.In het vacuümsysteem van de plasma-etsmachine speelt de turbomoleculaire pomp, als hoofdpomp, een cruciale rol bij het bereiken van een hoog vacuüm en een stabiel plasma-etsproces.Turbomoleculaire pompen hebben een hoge pompsnelheid, hoog vacuüm, laag geluidsniveau en optimalisatie om aan hogere technische eisen te voldoen.
Over het algemeen is de rol van de turbomoleculaire pomp in de plasma-etsmachine onvervangbaar.In de halfgeleiderindustrie is de turbomoleculaire pomp een van de noodzakelijke apparatuur geworden, die een belangrijke rol speelt bij het waarborgen van de prestaties en stabiliteit van de plasma-etsmachine.Met de voortdurende ontwikkeling en vooruitgang van halfgeleidertechnologie zullen de vraag en het toepassingsgebied van turbomoleculaire pompen blijven groeien.Daarom moeten fabrikanten van turbomoleculaire pompen voortdurend de productprestaties en -kwaliteit verbeteren om te voldoen aan de vraag van de halfgeleiderindustrie naar betere prestaties en stabielere apparatuur.
Copyright melding:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. pleit voor respect en bescherming van intellectuele eigendomsrechten en geeft de bron van artikelen aan met duidelijke bronnen.Als u constateert dat er auteursrechtelijke of andere problemen zijn met de inhoud van deze website, neem dan contact met ons op om dit op te lossen.Contactgegevens:marketing01@gpmcn.com
Posttijd: 20 oktober 2023