د نن ورځې د سیمی کنډکټر جوړولو صنعت کې، پلازما ایچر او ټربومولیکول پمپ دوه مهم کلیدي ټیکنالوژي دي.د پلازما ایچر د مایکرو الکترونیکي اجزاوو په جوړولو کې یو اړین وسیله ده، پداسې حال کې چې د توربومولکولر پمپ د لوړ خلا او لوړ پمپ کولو سرعت لپاره ډیزاین شوی.پدې مقاله کې ، موږ په پلازما ایچرونو کې د ټربومولیکولر پمپونو رول او اهمیت په اړه بحث کوو.
منځپانګه
1. د پلازما ایچنګ ماشین کاري اصول
2. د turbomolecular پمپ کاري اصول
3. په پلازما اینچنګ ماشین کې د توربومولکولر پمپ کارول
4. د توربومولکولر پمپونو ګټې او محدودیتونه
5. پایله
1. د پلازما اینچنګ ماشین کاري اصول:
پلازما ایچر د ویکیوم چیمبر کې د پلازما په کارولو سره د موادو پروسس کولو لپاره وسیله ده.پلازما د چارج شوي ذراتو ټولګه ده چې د ګاز ionization لخوا تولید شوي.د پلازما د حرکت کثافت او سمت د لوړې فریکونسۍ بریښنا یا مقناطیسي ساحو لخوا کنټرول کیدی شي.د پلازما د نقاشۍ په جریان کې، پلازما د کاري موادو په سطحه برید کوي او له مینځه وړي یا یې له منځه وړي، مطلوب جوړښت رامینځته کوي.
په هرصورت، د پلازما ایچ کولو په وخت کې د اخراج ګاز لوی مقدار تولید کیږي.په دې خارجي غازونو کې کاري مواد او په ګازو کې نجاستونه او داسې نور شامل دي چې د ویکیوم سیسټم له لارې خارج کیدو ته اړتیا لري.له همدې امله ، د پلازما ایچنګ ماشین د ویکیوم پروسې د ثبات او دقت ډاډ ترلاسه کولو لپاره یو مؤثر ویکیوم سیسټم ته اړتیا لري.
2. د توربومولکولر پمپ کاري اصول:
ټربومولیکولر پمپونه د ویکیوم سیسټمونو کې یو له خورا عام کارول شوي لوړ پمپ کولو سرعت پمپونه دي.دا د لوړ سرعت څرخيدونکي امپیلرونو سیټ په ګرځولو سره کار کوي ترڅو ګاز د خلا چیمبر څخه پمپ کړي او ګاز فضا ته وباسي.په ټربومولیکولر پمپ کې، ګاز لومړی د ملاتړ پمپ ته ننوځي چیرې چې دا د لوړ فشار سیمې ته فشار ورکول کیږي مخکې لدې چې توربومولیکول پمپ ته واستول شي.
په توربومولیکول پمپ کې، ګاز د څرخيدونکي امپیلر له لارې پمپ کیږي، پداسې حال کې چې په مالیکولر پمپ کې ګاز په کوچنیو مالیکولونو ویشل کیږي.د توربومولکولر پمپونه کولی شي لوړ خلا چمتو کړي، او د دوی د پمپ کولو سرعت کولی شي 500 ~ 6000 L/s ته ورسیږي.د پلازما اینچنګ ماشینونو لپاره چې لوړ خلا ته اړتیا لري ، ټربومولیکول پمپونه یوه لازمي برخه ده.
3. په پلازما ایچنګ ماشین کې د توربومولکولر پمپ کارول:
ټربومولیکولر پمپونه په پراخه کچه د پلازما ایچنګ ماشینونو کې کارول کیږي.د پلازما ایچنګ ماشین د ویکیوم سیسټم کې، یو توربومولکولر پمپ معمولا د اصلي پمپ په توګه کارول کیږي ترڅو د لوړ خلا ترلاسه کولو کې مرسته وکړي.کله چې پلازما سطحې ته ننوځي، دا په لویه کچه د اخراج ګاز تولیدوي، پشمول د پاتې خامو موادو او کیمیاوي تعاملاتو محصولات.دا اخراج ګازونه باید د ویکیوم چیمبر څخه په چټکه او مؤثره توګه پمپ شي ترڅو د پلازما ایچ کولو پروسې ثبات او اعتبار یقیني کړي.
د پمپ کولو لوړ سرعت او د ټربومولیکول پمپونو لوړ خلا دوی مثالی پمپونه جوړوي.په پلازما ایچر کې، توربومولکولر پمپ معمولا په جلا پمپ واحد کې ځای په ځای کیږي ترڅو د ویکیوم او فشار اسانه کنټرول شي.په ورته وخت کې ، د ټربومولیکولر پمپ ساتنې لپاره ، دا اړینه ده چې د میخانیکي پمپ یو پرت او د ټربومولیکولر پمپ مخې ته د فشار کمولو والو نصب کړئ ترڅو د ټربومولیکولر پمپ ته د ډیر فشار او زیان څخه مخنیوی وشي.
4. د توربومولکولر پمپونو ګټې او محدودیتونه:
د توربومولکولر پمپونه ډیری ګټې لري، لکه د پمپ کولو لوړ سرعت، لوړ خلا، ټیټ شور، او لوړ اعتبار.د ټربومولیکولر پمپ لوړ پمپ کولو سرعت کولی شي د خلا درجه لوړه کړي ، او په ورته وخت کې کولی شي د پمپ کولو وخت کم کړي ، پدې توګه د تولید موثریت زیاتوي.د ټربومولیکولر پمپ ټیټ شور او لوړ اعتبار هم د هغې یو له ګټو څخه دی ، پدې معنی چې د ټربومولیکول پمپ کولی شي د اوږدې مودې لپاره مؤثره عملیات وساتي ، د ساتنې او بدیل شمیر کموي.
په هرصورت، د توربومولکولر پمپونه هم ځینې محدودیتونه لري، لکه د ځینې ګازونو لپاره د ټیټ پمپ کولو موثریت.د مثال په توګه، د turbomolecular پمپونه د هایدروجن لپاره د استخراج کم موثریت لري، او د turbomolecular پمپونه هم د ګاز فشار او تودوخې لپاره ځینې اړتیاوې لري.له همدې امله ، په عملي غوښتنلیکونو کې ، دا اړینه ده چې د ځانګړي وضعیت سره سم د ټربومولیکول پمپ ډول او کاري پیرامیټونه غوره کړئ ترڅو د دې نورمال او مؤثره عملیات یقیني کړي.
5. پایله:
د سیمیکمډکټر تولید پروسې کې ، د پلازما ایچنګ ماشین یو له خورا مهم تجهیزاتو څخه دی.د پلازما اینچنګ ماشین د ویکیوم سیسټم کې، توربومولکولر پمپ، د اصلي پمپ په توګه، د لوړ خلا او مستحکم پلازما اینچینګ پروسې په ترلاسه کولو کې مهم رول لوبوي.ټربومولیکولر پمپونه د لوړ پمپ کولو سرعت ، لوړ خلا ، ټیټ شور او اصلاح کول د لوړې تخنیکي اړتیاو پوره کولو لپاره لري.
په عمومي ډول ووایو، د پلازما اینچنګ ماشین کې د توربومولکولر پمپ رول نه بدلیدونکی دی.د سیمیکمډکټر تولید صنعت کې ، د ټربومولیکولر پمپ یو له اړین تجهیزاتو څخه ګرځیدلی ، کوم چې د پلازما ایچنګ ماشین فعالیت او ثبات ډاډمن کولو کې مهم رول لوبوي.د سیمیکمډکټر ټیکنالوژۍ دوامداره پرمختګ او پرمختګ سره ، د ټربومولیکولر پمپونو غوښتنې او ساحه به پراخه شي.له همدې امله ، د ټربومولیکول پمپ جوړونکي اړتیا لري په دوامداره توګه د محصول فعالیت او کیفیت ته وده ورکړي ترڅو د لوړ فعالیت او ډیر مستحکم تجهیزاتو لپاره د سیمیکمډکټر تولید صنعت غوښتنې پوره کړي.
د چاپ حق خبرتیا:
GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Ltd. د درناوي او د فکري ملکیت د حقونو ساتنه کوي او د روښانه سرچینو سره د مقالو سرچینې ته اشاره کوي.که تاسو ومومئ چې د دې ویب پاڼې مینځپانګې کې د کاپي حق یا نورې ستونزې شتون لري، مهرباني وکړئ موږ سره اړیکه ونیسئ ترڅو ورسره معامله وکړو.د اړیکې معلومات:marketing01@gpmcn.com
د پوسټ وخت: اکتوبر-20-2023