Na atual indústria de fabricação de semicondutores, o gravador de plasma e a bomba turbomolecular são duas tecnologias-chave importantes.Um gravador de plasma é uma ferramenta essencial na fabricação de componentes microeletrônicos, enquanto uma bomba turbomolecular é projetada para alto vácuo e alta velocidade de bombeamento.Neste artigo, discutimos o papel e a importância das bombas turbomoleculares em gravadores de plasma.
Contente
1. Princípio de funcionamento da máquina de gravação a plasma
2. Princípio de funcionamento da bomba turbomolecular
3. Aplicação de bomba turbomolecular em máquina de gravação a plasma
4. Vantagens e limitações das bombas turbomoleculares
5. Conclusão
1. Princípio de funcionamento da máquina de gravação a plasma:
Um gravador de plasma é uma ferramenta para processar materiais usando plasma em uma câmara de vácuo.Plasma é uma coleção de partículas carregadas produzidas por ionização gasosa.A densidade e a direção do movimento do plasma podem ser controladas por campos elétricos ou magnéticos de alta frequência.Durante a gravação a plasma, um plasma atinge a superfície do material de trabalho e o levanta ou corrói, criando a estrutura desejada.
No entanto, uma grande quantidade de gases de exaustão é gerada durante a gravação a plasma.Esses gases de exaustão incluem materiais de trabalho e impurezas no gás, etc., que precisam ser descarregados através do sistema de vácuo.Portanto, a máquina de gravação a plasma precisa de um sistema de vácuo eficiente para garantir a estabilidade e precisão do processo de gravação.
2. Princípio de funcionamento da bomba turbomolecular:
As bombas turbomoleculares são uma das bombas de alta velocidade de bombeamento mais comumente usadas em sistemas de vácuo.Ele funciona girando um conjunto de impulsores rotativos de alta velocidade para bombear o gás para fora da câmara de vácuo e expeli-lo para a atmosfera.Em uma bomba turbomolecular, o gás entra primeiro em uma bomba auxiliar, onde é comprimido em uma região de alta pressão antes de ser enviado para a bomba turbomolecular.
Numa bomba turbomolecular, o gás é bombeado através de um impulsor rotativo, enquanto numa bomba molecular o gás é dividido em moléculas menores.As bombas turbomoleculares podem fornecer alto vácuo e sua velocidade de bombeamento pode atingir 500 ~ 6.000 L/s.Para máquinas de gravação a plasma que requerem alto vácuo, as bombas turbomoleculares são uma parte indispensável.
3. Aplicação de bomba turbomolecular em máquina de gravação de plasma:
As bombas turbomoleculares são amplamente utilizadas em máquinas de gravação a plasma.No sistema de vácuo de uma máquina de gravação a plasma, uma bomba turbomolecular é geralmente usada como bomba principal para ajudar a atingir alto vácuo.Quando o plasma atinge a superfície, produz uma grande quantidade de gases de exaustão, incluindo matérias-primas residuais e produtos de reações químicas.Esses gases de exaustão precisam ser bombeados para fora da câmara de vácuo de forma rápida e eficiente para garantir a estabilidade e confiabilidade do processo de gravação a plasma.
A alta velocidade de bombeamento e o alto vácuo das bombas turbomoleculares as tornam bombas ideais.Em um gravador de plasma, a bomba turbomolecular é geralmente colocada em uma unidade de bomba separada para facilitar o controle do vácuo e da pressão.Ao mesmo tempo, para proteger a bomba turbomolecular, é necessário instalar uma camada de bomba mecânica e uma válvula redutora de pressão na frente da bomba turbomolecular para evitar pressão excessiva e danos à bomba turbomolecular.
4. Vantagens e limitações das bombas turbomoleculares:
As bombas turbomoleculares têm muitas vantagens, como alta velocidade de bombeamento, alto vácuo, baixo ruído e alta confiabilidade.A alta velocidade de bombeamento da bomba turbomolecular pode aumentar o grau de vácuo e, ao mesmo tempo, reduzir o tempo de bombeamento, aumentando assim a eficiência da produção.O baixo ruído e a alta confiabilidade da bomba turbomolecular também é uma de suas vantagens, o que significa que a bomba turbomolecular pode manter uma operação eficiente por um longo período de tempo, reduzindo o número de manutenções e substituições.
No entanto, as bombas turbomoleculares também apresentam algumas limitações, como a baixa eficiência de bombeamento para determinados gases.Por exemplo, as bombas turbomoleculares têm baixa eficiência de extração de hidrogênio, e as bombas turbomoleculares também têm certos requisitos para pressão e temperatura do gás.Portanto, em aplicações práticas, é necessário selecionar o tipo e os parâmetros de funcionamento da bomba turbomolecular de acordo com a situação específica para garantir seu funcionamento normal e eficiente.
5. Conclusão:
No processo de fabricação de semicondutores, a máquina de gravação a plasma é um dos equipamentos muito importantes.No sistema de vácuo da máquina de gravação a plasma, a bomba turbomolecular, como bomba principal, desempenha um papel vital na obtenção de alto vácuo e processo de gravação a plasma estável.As bombas turbomoleculares possuem alta velocidade de bombeamento, alto vácuo, baixo ruído e otimização para atender a requisitos técnicos mais elevados.
De modo geral, o papel da bomba turbomolecular na máquina de gravação a plasma é insubstituível.Na indústria de fabricação de semicondutores, a bomba turbomolecular tornou-se um dos equipamentos necessários, que desempenha um papel importante na garantia do desempenho e estabilidade da máquina de gravação a plasma.Com o contínuo desenvolvimento e progresso da tecnologia de semicondutores, a demanda e o escopo de uso de bombas turbomoleculares continuarão a se expandir.Portanto, os fabricantes de bombas turbomoleculares precisam melhorar continuamente o desempenho e a qualidade do produto para atender à demanda da indústria de fabricação de semicondutores por maior desempenho e equipamentos mais estáveis.
Aviso de direitos autorais:
GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Ltd. defende o respeito e a proteção dos direitos de propriedade intelectual e indica a origem dos artigos com fontes claras.Se você achar que há direitos autorais ou outros problemas no conteúdo deste site, entre em contato conosco para resolver o problema.Informações de contato:marketing01@gpmcn.com
Horário da postagem: 20 de outubro de 2023