اڄ جي سيميڪنڊڪٽر جي پيداوار واري صنعت ۾، پلازما ايچر ۽ turbomolecular پمپ ٻه اهم اهم ٽيڪنالاجيون آهن.هڪ پلازما ايچر مائڪرو اليڪٽرانڪ اجزاء جي ٺهڻ ۾ هڪ لازمي اوزار آهي، جڏهن ته هڪ ٽربوموليڪيولر پمپ اعلي ويڪيوم ۽ تيز پمپنگ جي رفتار لاء ٺهيل آهي.هن آرٽيڪل ۾، اسان پلازما ايچرز ۾ turbomolecular پمپ جي ڪردار ۽ اهميت تي بحث ڪنداسين.
مواد
1. پلازما ايچنگ مشين جو ڪم ڪندڙ اصول
2. turbomolecular پمپ جو ڪم اصول
3. پلازما ايچنگ مشين ۾ turbomolecular پمپ جي درخواست
4. turbomolecular پمپ جا فائدا ۽ حدون
5. نتيجو
1. پلازما ايچنگ مشين جو ڪم ڪندڙ اصول:
پلازما ايچر هڪ اوزار آهي پروسيسنگ مواد لاءِ پلازما استعمال ڪندي ويڪيوم چيمبر ۾.پلازما چارج ٿيل ذرات جو مجموعو آهي جيڪو گئس آئنائيزيشن ذريعي پيدا ٿئي ٿو.پلازما جي حرڪت جي کثافت ۽ هدايت کي اعلي تعدد برقي يا مقناطيسي شعبن ذريعي ڪنٽرول ڪري سگهجي ٿو.پلازما ايچنگ دوران، هڪ پلازما ڪم ڪندڙ مواد جي مٿاڇري تي حملو ڪري ٿو ۽ ان کي لفٽ ڪري ٿو يا ان کي ختم ڪري ٿو، گهربل ساخت ٺاهي ٿو.
بهرحال، پلازما ايچنگ جي دوران نڪرڻ واري گئس جو وڏو مقدار پيدا ٿئي ٿو.انهن نڪرندڙ گيسن ۾ ڪم ڪندڙ مواد ۽ گيس ۾ موجود نجاست وغيره شامل آهن، جن کي ويڪيوم سسٽم ذريعي خارج ڪرڻ جي ضرورت آهي.تنهن ڪري، پلازما ايچنگ مشين کي ايچنگ جي عمل جي استحڪام ۽ درستگي کي يقيني بڻائڻ لاء هڪ موثر ويڪيوم سسٽم جي ضرورت آهي.
2. turbomolecular پمپ جو ڪم اصول:
Turbomolecular پمپ ويڪيوم سسٽم ۾ سڀ کان عام طور تي استعمال ٿيندڙ تيز پمپنگ اسپيڊ پمپن مان هڪ آهن.اهو ڪم ڪري ٿو تيز رفتار گھمڻ واري امپيلر جي هڪ سيٽ کي گھمائڻ لاءِ گئس کي پمپ ڪرڻ لاءِ ويڪيوم چيمبر مان ۽ گئس کي فضا ۾ خارج ڪري.turbomolecular پمپ ۾، گئس پهريون ڀيرو هڪ پٺتي پيل پمپ ۾ داخل ٿئي ٿي جتي ان کي turbomolecular پمپ ڏانهن موڪلڻ کان اڳ هڪ اعلي دٻاء واري علائقي ۾ دٻايو ويندو آهي.
ٽربوموليڪيولر پمپ ۾، گيس کي گھمندڙ امپيلر ذريعي پمپ ڪيو ويندو آهي، جڏهن ته ماليڪيولر پمپ ۾ گئس کي ننڍن ماليڪيولن ۾ ورهايو ويندو آهي.Turbomolecular پمپ اعلي ويڪيوم مهيا ڪري سگھن ٿا، ۽ انهن جي پمپنگ جي رفتار 500 ~ 6000 L / s تائين پهچي سگھي ٿي.پلازما ايچنگ مشينن لاءِ جن کي وڏي ويڪيوم جي ضرورت هوندي آهي ، ٽربوموليڪيولر پمپ هڪ لازمي حصو آهن.
3. پلازما ايچنگ مشين ۾ turbomolecular پمپ جي درخواست:
Turbomolecular پمپ وڏي پيماني تي پلازما etching مشينن ۾ استعمال ٿيندا آهن.پلازما ايچنگ مشين جي ويڪيوم سسٽم ۾، هڪ ٽربوموليڪيولر پمپ عام طور تي استعمال ڪيو ويندو آهي مکيه پمپ طور اعلي خال حاصل ڪرڻ ۾ مدد لاءِ.جڏهن پلازما مٿاڇري تي اچي ٿو، اهو وڏي مقدار ۾ نڪرڻ واري گئس پيدا ڪري ٿو، جنهن ۾ بقايا خام مال ۽ ڪيميائي رد عمل جون شيون شامل آهن.انهن خارجي گيس کي ويڪيوم چيمبر مان جلدي ۽ موثر طريقي سان پمپ ڪرڻ جي ضرورت آهي ته جيئن پلازما ايچنگ جي عمل جي استحڪام ۽ اعتبار کي يقيني بڻائي سگهجي.
تيز پمپنگ جي رفتار ۽ turbomolecular پمپ جي اعلي خلا انھن کي مثالي پمپ بڻائي.پلازما ايچر ۾، turbomolecular پمپ عام طور تي خالي ۽ دٻاء جي آسان ڪنٽرول لاء هڪ الڳ پمپ يونٽ ۾ رکيل آهي.ساڳئي وقت، turbomolecular پمپ کي بچائڻ لاء، اهو ضروري آهي ته ميڪيڪل پمپ جي هڪ پرت ۽ ٽربوموليڪيولر پمپ جي سامهون هڪ پريشر گهٽائڻ وارو والو نصب ڪيو وڃي ته جيئن وڌيڪ دٻاءُ کان بچڻ ۽ ٽربوموليڪيولر پمپ کي نقصان پهچي.
4. turbomolecular پمپ جا فائدا ۽ حدون:
Turbomolecular پمپ جا ڪيترائي فائدا آھن، جھڙوڪ تيز پمپنگ جي رفتار، ھاء ويڪيوم، گھٽ شور، ۽ اعلي اعتبار.turbomolecular پمپ جي تيز پمپنگ جي رفتار ويڪيوم درجي کي وڌائي سگھي ٿو، ۽ ساڳئي وقت پمپنگ جي وقت کي گھٽائي سگھي ٿو، ان ڪري پيداوار جي ڪارڪردگي کي وڌائي سگھي ٿو.گهٽ شور ۽ turbomolecular پمپ جي اعلي reliability به ان جي فائدن مان هڪ آهي، جنهن جو مطلب آهي ته turbomolecular پمپ وقت جي هڪ ڊگهي عرصي لاء موثر آپريشن برقرار رکي سگهي ٿو، سار سنڀال ۽ متبادل جي تعداد کي گهٽائڻ.
جڏهن ته، ٽربوموليڪيولر پمپن ۾ پڻ ڪجهه حدون آهن، جهڙوڪ ڪجهه گيس لاء گهٽ پمپنگ ڪارڪردگي.مثال طور، turbomolecular پمپن ۾ هائڊروجن لاءِ گھٽ استخراج ڪارڪردگي آهي، ۽ turbomolecular پمپن کي گئس جي دٻاءُ ۽ گرمي پد لاءِ به ڪي خاص ضرورتون هونديون آهن.تنهن ڪري، عملي ايپليڪيشنن ۾، اهو ضروري آهي ته turbomolecular پمپ جي قسم ۽ ڪم ڪندڙ پيٽرولن کي مخصوص صورتحال جي مطابق ان جي عام ۽ موثر آپريشن کي يقيني بڻائڻ لاء.
5. نتيجو:
سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي عمل ۾، پلازما ايچنگ مشين هڪ تمام اهم سامان آهي.پلازما ايچنگ مشين جي ويڪيوم سسٽم ۾، ٽربوموليڪولر پمپ، بنيادي پمپ جي طور تي، اعلي ويڪيوم ۽ مستحڪم پلازما ايچنگ جي عمل کي حاصل ڪرڻ ۾ اهم ڪردار ادا ڪري ٿو.Turbomolecular پمپن ۾ تيز پمپنگ جي رفتار، اعلي ويڪيوم، گھٽ شور ۽ اعلي ٽيڪنيڪل گهرجن کي پورو ڪرڻ لاء اصلاح آھي.
عام طور تي ڳالهائڻ، پلازما ايچنگ مشين ۾ turbomolecular پمپ جو ڪردار irreplaceable آهي.سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار واري صنعت ۾، turbomolecular پمپ ضروري سامان مان هڪ بڻجي چڪو آهي، جيڪو پلازما ايچنگ مشين جي ڪارڪردگي ۽ استحڪام کي يقيني بڻائڻ ۾ اهم ڪردار ادا ڪري ٿو.سيمي ڪنڊڪٽر ٽيڪنالاجي جي مسلسل ترقي ۽ ترقي سان، turbomolecular پمپ جي استعمال جي طلب ۽ دائري کي وڌايو ويندو.تنهن ڪري، turbomolecular پمپ ٺاهيندڙن کي مسلسل پيداوار جي ڪارڪردگي ۽ معيار کي بهتر ڪرڻ جي ضرورت آهي سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي صنعت جي اعلي ڪارڪردگي ۽ وڌيڪ مستحڪم سامان جي مطالبن کي پورو ڪرڻ لاء.
ڪاپي رائيٽ نوٽيس:
GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Ltd. دانشورانه ملڪيت جي حقن جي احترام ۽ تحفظ جي حمايت ڪري ٿو ۽ واضح ذريعن سان آرٽيڪل جو ذريعو اشارو ڪري ٿو.جيڪڏهن توهان ڳوليندا آهيو ته هن ويب سائيٽ جي مواد ۾ ڪاپي رائيٽ يا ٻيون مسئلا آهن، مهرباني ڪري اسان سان رابطو ڪريو ان سان معاملو ڪرڻ لاء.رابطي جي معلومات:marketing01@gpmcn.com
پوسٽ جو وقت: آڪٽوبر-20-2023