වර්තමාන අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන කර්මාන්තයේ ප්ලාස්මා එචර් සහ ටර්බෝ අණුක පොම්පය වැදගත් ප්‍රධාන තාක්ෂණයන් දෙකකි.ප්ලාස්මා එචර් යනු ක්ෂුද්‍ර ඉලෙක්ට්‍රොනික සංරචක සෑදීමේදී අත්‍යවශ්‍ය මෙවලමක් වන අතර, ටර්බෝ අණුක පොම්පයක් නිර්මාණය කර ඇත්තේ ඉහළ රික්තයක් සහ ඉහළ පොම්ප කිරීමේ වේගයක් සඳහා ය.මෙම ලිපියෙන් අපි ප්ලාස්මා එචර්වල ටර්බෝ අණුක පොම්පවල කාර්යභාරය සහ වැදගත්කම සාකච්ඡා කරමු.
අන්තර්ගතය
1. ප්ලාස්මා කැටයම් යන්ත්‍රයේ ක්රියාකාරී මූලධර්මය
2. turbomolecular පොම්පයේ ක්රියාකාරී මූලධර්මය
3. ප්ලාස්මා කැටයම් යන්ත්‍රයේ turbomolecular පොම්පය යෙදීම
4. turbomolecular පොම්ප වල වාසි සහ සීමාවන්
5. නිගමනය
1. ප්ලාස්මා කැටයම් යන්ත්‍රයේ ක්රියාකාරී මූලධර්මය:
ප්ලාස්මා එචර් යනු රික්ත කුටීරයක ප්ලාස්මා භාවිතයෙන් ද්‍රව්‍ය සැකසීම සඳහා වූ මෙවලමකි.ප්ලාස්මා යනු වායු අයනීකරණය මගින් නිපදවන ආරෝපිත අංශු එකතුවකි.අධි-සංඛ්‍යාත විද්‍යුත් හෝ චුම්භක ක්ෂේත්‍ර මගින් ප්ලාස්මාවේ ඝනත්වය සහ චලනයේ දිශාව පාලනය කළ හැක.ප්ලාස්මා කැටයම් කිරීමේදී, ප්ලාස්මා වැඩ කරන ද්රව්යයේ මතුපිටට පහර දී එය ඉවත් කිරීම හෝ ඛාදනය කිරීම, අපේක්ෂිත ව්යුහය නිර්මාණය කරයි.
කෙසේ වෙතත්, ප්ලාස්මා කැටයම් කිරීමේදී පිටාර වායුව විශාල ප්රමාණයක් ජනනය වේ.මෙම පිටාර වායුවලට වැඩ කරන ද්‍රව්‍ය සහ වායුවේ ඇති අපද්‍රව්‍ය ආදිය ඇතුළත් වන අතර ඒවා රික්ත පද්ධතිය හරහා බැහැර කළ යුතුය.එබැවින්, ප්ලාස්මා කැටයම් යන්ත්‍රයට කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේ ස්ථායිතාව සහ නිරවද්‍යතාවය සහතික කිරීම සඳහා කාර්යක්ෂම රික්ත පද්ධතියක් අවශ්ය වේ.
2. ටර්බෝ අණුක පොම්පයේ ක්රියාකාරී මූලධර්මය:
Turbomolecular පොම්ප යනු රික්ත පද්ධතිවල බහුලව භාවිතා වන අධි පොම්ප කිරීමේ වේගයේ පොම්ප වලින් එකකි.එය ක්‍රියා කරන්නේ රික්තක කුටීරයෙන් වායුව පොම්ප කිරීමට සහ වායුව වායුගෝලයට පිට කිරීමට අධිවේගී භ්‍රමණය වන ප්‍රේරක කට්ටලයක් කරකැවීමෙනි.turbomolecular පොම්පයක් තුළ, වායුව මුලින්ම ආධාරක පොම්පයකට ඇතුල් වන අතර එහිදී එය turbomolecular පොම්පයට යැවීමට පෙර අධි පීඩන කලාපයකට සම්පීඩිත වේ.
ටර්බෝ අණුක පොම්පයක දී, වායුව භ්‍රමණය වන ප්‍රේරකයක් හරහා පොම්ප කරන අතර, අණුක පොම්පයක දී වායුව කුඩා අණු වලට කැඩී යයි.Turbomolecular පොම්ප මගින් ඉහළ රික්තයක් සැපයිය හැකි අතර, ඒවායේ පොම්ප කිරීමේ වේගය 500~6000 L/s දක්වා ළඟා විය හැක.ඉහළ රික්තයක් අවශ්ය වන ප්ලාස්මා කැටයම් යන්ත්ර සඳහා, ටර්බෝ අණුක පොම්ප අත්‍යවශ්‍ය කොටසකි.
3. ප්ලාස්මා කැටයම් යන්ත්‍රයේ ටර්බෝ අණුක පොම්පය යෙදීම:
Turbomolecular පොම්ප ප්ලාස්මා කැටයම් යන්ත්‍රවල බහුලව භාවිතා වේ.ප්ලාස්මා කැටයම් යන්ත්‍රයක රික්තක පද්ධතියේ, ඉහළ රික්තයක් ලබා ගැනීමට උපකාර වන ප්‍රධාන පොම්පය ලෙස සාමාන්‍යයෙන් turbomolecular පොම්පයක් භාවිතා කරයි.ප්ලාස්මා මතුපිටට පහර දෙන විට, එය අවශේෂ අමුද්‍රව්‍ය සහ රසායනික ප්‍රතික්‍රියා නිෂ්පාදන ඇතුළුව පිටාර වායු විශාල ප්රමාණයක් නිපදවයි.ප්ලාස්මා කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේ ස්ථායිතාව සහ විශ්වසනීයත්වය සහතික කිරීම සඳහා මෙම පිටාර වායූන් රික්තක කුටියෙන් ඉක්මනින් හා කාර්යක්ෂමව පොම්ප කළ යුතුය.
ටර්බෝ අණුක පොම්පවල ඉහළ පොම්ප කිරීමේ වේගය සහ ඉහළ රික්තය ඒවා පරිපූර්ණ පොම්ප බවට පත් කරයි.ප්ලාස්මා එෂර් එකක, ටර්බෝ අණුක පොම්පය සාමාන්‍යයෙන් රික්තය සහ පීඩනය පහසුවෙන් පාලනය කිරීම සඳහා වෙනම පොම්ප ඒකකයක තබා ඇත.ඒ අතරම, turbomolecular පොම්පය ආරක්ෂා කිරීම සඳහා, turbomolecular පොම්පයට අධික පීඩනය හා හානි වළක්වා ගැනීම සඳහා turbomolecular පොම්පය ඉදිරිපිට යාන්ත්රික පොම්ප ස්ථරයක් සහ පීඩනය අඩු කිරීමේ කපාටයක් ස්ථාපනය කිරීම අවශ්ය වේ.
4. turbomolecular පොම්ප වල වාසි සහ සීමාවන්:
Turbomolecular පොම්පවලට ඉහළ පොම්ප කිරීමේ වේගය, අධික රික්තකය, අඩු ශබ්දය සහ ඉහළ විශ්වසනීයත්වය වැනි බොහෝ වාසි ඇත.turbomolecular පොම්පයේ ඉහළ පොම්ප කිරීමේ වේගය රික්තක උපාධිය වැඩි කළ හැකි අතර, ඒ සමඟම පොම්ප කිරීමේ කාලය අඩු කළ හැකි අතර එමඟින් නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව වැඩි වේ.turbomolecular පොම්පයේ අඩු ශබ්දය සහ ඉහළ විශ්වසනීයත්වය ද එහි එක් වාසියක් වන අතර එයින් අදහස් වන්නේ turbomolecular පොම්පය දිගු කාලයක් සඳහා කාර්යක්ෂම ක්රියාකාරිත්වය පවත්වා ගත හැකි අතර, නඩත්තු කිරීම සහ ප්රතිස්ථාපනය කිරීමේ සංඛ්යාව අඩු කිරීමයි.
කෙසේ වෙතත්, turbomolecular පොම්ප ද ඇතැම් වායූන් සඳහා අඩු පොම්ප කාර්යක්ෂමතාව වැනි සමහර සීමාවන් ඇත.උදාහරණයක් ලෙස, turbomolecular පොම්ප හයිඩ්‍රජන් සඳහා අඩු නිස්සාරණ කාර්යක්ෂමතාවයක් ඇති අතර, turbomolecular පොම්පවල වායු පීඩනය සහ උෂ්ණත්වය සඳහා යම් යම් අවශ්‍යතා ද ඇත.එබැවින්, ප්‍රායෝගික යෙදීම් වලදී, එහි සාමාන්‍ය හා කාර්යක්ෂම ක්රියාකාරිත්වය සහතික කිරීම සඳහා නිශ්චිත තත්වයට අනුව ටර්බෝ අණුක පොම්පයේ වර්ගය සහ ක්රියාකාරී පරාමිතීන් තෝරා ගැනීම අවශ්ය වේ.
5. නිගමනය:
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේදී, ප්ලාස්මා කැටයම් යන්ත්රය ඉතා වැදගත් උපකරණයකි.ප්ලාස්මා කැටයම් යන්ත්‍රයේ රික්ත පද්ධතියේ, ප්‍රධාන පොම්පය ලෙස ටර්බෝ අණුක පොම්පය, ඉහළ රික්තක සහ ස්ථායී ප්ලාස්මා කැටයම් ක්‍රියාවලියක් සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි.Turbomolecular පොම්ප ඉහළ තාක්ෂණික අවශ්‍යතා සපුරාලීම සඳහා ඉහළ පොම්ප කිරීමේ වේගයක්, ඉහළ රික්තයක්, අඩු ශබ්දයක් සහ ප්‍රශස්තකරණයක් ඇත.
පොදුවේ ගත් කල, ප්ලාස්මා කැටයම් යන්ත්‍රයේ ටර්බෝ අණුක පොම්පයේ කාර්යභාරය ප්රතිස්ථාපනය කළ නොහැකි ය.අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන කර්මාන්තයේ දී, ටර්බෝ අණුක පොම්පය අවශ්ය උපකරණවලින් එකක් බවට පත් වී ඇති අතර එය ප්ලාස්මා කැටයම් යන්ත්‍රයේ ක්රියාකාරිත්වය සහ ස්ථායීතාවය සහතික කිරීම සඳහා වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි.අර්ධ සන්නායක තාක්‍ෂණයේ අඛණ්ඩ සංවර්ධනය හා ප්‍රගතියත් සමඟ, ටර්බෝ අණුක පොම්ප භාවිතයේ ඉල්ලුම සහ විෂය පථය අඛණ්ඩව ව්‍යාප්ත වනු ඇත.එබැවින්, ඉහළ කාර්ය සාධනය සහ වඩා ස්ථායී උපකරණ සඳහා අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන කර්මාන්තයේ ඉල්ලුම සපුරාලීම සඳහා turbomolecular පොම්ප නිෂ්පාදකයින් නිෂ්පාදන කාර්ය සාධනය සහ ගුණාත්මකභාවය අඛණ්ඩව වැඩිදියුණු කළ යුතුය.
ප්‍රකාශන හිමිකම් දැන්වීම:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. බුද්ධිමය දේපළ අයිතිවාසිකම්වලට ගරු කිරීම සහ ආරක්ෂා කිරීම වෙනුවෙන් පෙනී සිටින අතර පැහැදිලි මූලාශ්‍ර සහිත ලිපිවල මූලාශ්‍රය දක්වයි.මෙම වෙබ් අඩවියේ අන්තර්ගතයේ ප්‍රකාශන හිමිකම් හෝ වෙනත් ගැටළු ඇති බව ඔබ සොයා ගන්නේ නම්, එය සමඟ කටයුතු කිරීමට කරුණාකර අප හා සම්බන්ධ වන්න.සබඳතා තොරතුරු:marketing01@gpmcn.com
පසු කාලය: ඔක්තෝබර්-20-2023