V dnešnom priemysle výroby polovodičov sú plazmové leptanie a turbomolekulárne čerpadlo dve dôležité kľúčové technológie.Plazmové leptadlo je základným nástrojom pri výrobe mikroelektronických komponentov, zatiaľ čo turbomolekulárne čerpadlo je navrhnuté pre vysoké vákuum a vysokú rýchlosť čerpania.V tomto článku diskutujeme o úlohe a význame turbomolekulárnych púmp v plazmových leptadlách.
Obsah
1. Princíp činnosti plazmového leptacieho stroja
2. Princíp činnosti turbomolekulárneho čerpadla
3. Aplikácia turbomolekulárnej pumpy v plazmovom leptacom stroji
4. Výhody a obmedzenia turbomolekulárnych čerpadiel
5. Záver
1. Pracovný princíp plazmového leptacieho stroja:
Plazmový leptač je nástroj na spracovanie materiálov pomocou plazmy vo vákuovej komore.Plazma je súbor nabitých častíc produkovaných ionizáciou plynu.Hustotu a smer pohybu plazmy je možné riadiť vysokofrekvenčnými elektrickými alebo magnetickými poľami.Počas plazmového leptania plazma dopadá na povrch pracovného materiálu a nadvihuje ho alebo ho eroduje, čím sa vytvorí požadovaná štruktúra.
Pri plazmovom leptaní však vzniká veľké množstvo výfukových plynov.Tieto výfukové plyny zahŕňajú pracovné materiály a nečistoty v plyne atď., ktoré je potrebné vypustiť cez vákuový systém.Preto potrebuje plazmový leptací stroj účinný vákuový systém, aby sa zabezpečila stabilita a presnosť procesu leptania.
2. Princíp činnosti turbomolekulárneho čerpadla:
Turbomolekulárne čerpadlá sú jednou z najbežnejšie používaných vysokorýchlostných čerpadiel vo vákuových systémoch.Funguje to tak, že sa otáča súpravou vysokorýchlostných rotujúcich obežných kolies, ktoré odčerpávajú plyn z vákuovej komory a vytláčajú plyn do atmosféry.V turbomolekulárnej pumpe plyn najskôr vstupuje do podpornej pumpy, kde je stlačený do vysokotlakovej oblasti pred odoslaním do turbomolekulárnej pumpy.
V turbomolekulárnom čerpadle sa plyn čerpá cez rotujúce obežné koleso, zatiaľ čo v molekulárnom čerpadle sa plyn rozkladá na menšie molekuly.Turbomolekulárne čerpadlá môžu poskytovať vysoké vákuum a rýchlosť ich čerpania môže dosiahnuť 500 ~ 6000 l/s.Pre plazmové leptacie stroje, ktoré vyžadujú vysoké vákuum, sú turbomolekulárne vývevy nenahraditeľnou súčasťou.
3. Aplikácia turbomolekulárnej pumpy v plazmovom leptacom stroji:
Turbomolekulárne čerpadlá sú široko používané v strojoch na plazmové leptanie.Vo vákuovom systéme plazmového leptacieho stroja sa ako hlavné čerpadlo zvyčajne používa turbomolekulárne čerpadlo, ktoré pomáha dosiahnuť vysoké vákuum.Keď plazma dopadne na povrch, produkuje veľké množstvo výfukových plynov vrátane zvyškových surovín a produktov chemických reakcií.Tieto výfukové plyny je potrebné rýchlo a efektívne odčerpať z vákuovej komory, aby sa zabezpečila stabilita a spoľahlivosť procesu plazmového leptania.
Vysoká rýchlosť čerpania a vysoké vákuum turbomolekulárnych čerpadiel z nich robí ideálne čerpadlá.V plazmovom leptacom zariadení je turbomolekulárne čerpadlo zvyčajne umiestnené v samostatnej čerpacej jednotke pre ľahké ovládanie vákua a tlaku.Zároveň je z dôvodu ochrany turbomolekulárnej pumpy potrebné pred turbomolekulárnu pumpu nainštalovať vrstvu mechanického čerpadla a redukčný ventil, aby nedochádzalo k nadmernému tlaku a poškodeniu turbomolekulárneho čerpadla.
4. Výhody a obmedzenia turbomolekulárnych čerpadiel:
Turbomolekulárne čerpadlá majú mnoho výhod, ako je vysoká rýchlosť čerpania, vysoké vákuum, nízka hlučnosť a vysoká spoľahlivosť.Vysoká rýchlosť čerpania turbomolekulárneho čerpadla môže zvýšiť stupeň vákua a zároveň môže skrátiť čas čerpania, čím sa zvýši efektívnosť výroby.Nízka hlučnosť a vysoká spoľahlivosť turbomolekulárneho čerpadla je tiež jednou z jeho výhod, čo znamená, že turbomolekulárne čerpadlo dokáže udržať efektívnu prevádzku po dlhšiu dobu, čím sa zníži počet údržby a výmeny.
Turbomolekulárne čerpadlá však majú aj určité obmedzenia, napríklad nízku účinnosť čerpania určitých plynov.Napríklad turbomolekulárne čerpadlá majú nízku účinnosť extrakcie vodíka a určité požiadavky na tlak a teplotu plynu majú aj turbomolekulárne čerpadlá.Preto je v praktických aplikáciách potrebné zvoliť typ a pracovné parametre turbomolekulárneho čerpadla podľa konkrétnej situácie, aby bola zabezpečená jeho normálna a efektívna prevádzka.
5. Záver:
V procese výroby polovodičov je stroj na plazmové leptanie jedným z veľmi dôležitých zariadení.Vo vákuovom systéme plazmového leptacieho stroja hrá turbomolekulárne čerpadlo ako hlavné čerpadlo zásadnú úlohu pri dosahovaní vysokého vákua a stabilného procesu plazmového leptania.Turbomolekulárne čerpadlá majú vysokú rýchlosť čerpania, vysoké vákuum, nízku hlučnosť a optimalizáciu pre splnenie vyšších technických požiadaviek.
Vo všeobecnosti je úloha turbomolekulárnej pumpy v plazmovom leptacom stroji nezastupiteľná.V priemysle výroby polovodičov sa turbomolekulárne čerpadlo stalo jedným z nevyhnutných zariadení, ktoré zohráva dôležitú úlohu pri zabezpečovaní výkonu a stability plazmového leptacieho stroja.S neustálym vývojom a pokrokom polovodičovej technológie sa dopyt a rozsah použitia turbomolekulárnych čerpadiel bude naďalej rozširovať.Výrobcovia turbomolekulárnych čerpadiel preto potrebujú neustále zlepšovať výkon a kvalitu produktov, aby uspokojili dopyt priemyslu výroby polovodičov na vyšší výkon a stabilnejšie vybavenie.
Upozornenie o autorských právach:
GPM Intelligent Technology (Guangdong) Co., Ltd. obhajuje rešpektovanie a ochranu práv duševného vlastníctva a uvádza zdroj článkov s jasnými zdrojmi.Ak zistíte, že v obsahu tejto webovej stránky sú autorské práva alebo iné problémy, kontaktujte nás, aby sme to vyriešili.Kontaktné informácie:marketing01@gpmcn.com
Čas odoslania: 20. októbra 2023