V današnji industriji proizvodnje polprevodnikov sta plazemsko jedkanje in turbomolekularna črpalka dve pomembni ključni tehnologiji.Plazemsko jedkalo je bistveno orodje pri izdelavi mikroelektronskih komponent, medtem ko je turbomolekularna črpalka zasnovana za visok vakuum in visoko hitrost črpanja.V tem članku razpravljamo o vlogi in pomenu turbomolekularnih črpalk pri plazemskem jedkanju.
Vsebina
1. Načelo delovanja stroja za plazemsko jedkanje
2. Princip delovanja turbomolekularne črpalke
3. Uporaba turbomolekularne črpalke v stroju za plazemsko jedkanje
4. Prednosti in omejitve turbomolekularnih črpalk
5. Zaključek
1. Načelo delovanja stroja za plazemsko jedkanje:
Plazemski jedkalnik je orodje za obdelavo materialov z uporabo plazme v vakuumski komori.Plazma je zbirka nabitih delcev, ki nastanejo z ionizacijo plina.Gostoto in smer gibanja plazme lahko nadzorujemo z visokofrekvenčnimi električnimi ali magnetnimi polji.Med plazemskim jedkanjem plazma zadene površino delovnega materiala in ga dvigne ali razjede ter ustvari želeno strukturo.
Vendar pa med plazemskim jedkanjem nastane velika količina izpušnih plinov.Ti izpušni plini vključujejo delovne snovi in nečistoče v plinu itd., ki jih je treba izprazniti skozi vakuumski sistem.Zato stroj za plazemsko jedkanje potrebuje učinkovit vakuumski sistem, ki zagotavlja stabilnost in natančnost postopka jedkanja.
2. Načelo delovanja turbomolekularne črpalke:
Turbomolekularne črpalke so ene najpogosteje uporabljenih črpalk z visoko hitrostjo črpanja v vakuumskih sistemih.Deluje tako, da vrti sklop visokohitrostnih rotirajočih tekačev, ki črpajo plin iz vakuumske komore in ga iztisnejo v ozračje.V turbomolekularni črpalki plin najprej vstopi v podporno črpalko, kjer se stisne v območje visokega tlaka, preden se pošlje v turbomolekularno črpalko.
V turbomolekularni črpalki se plin črpa skozi rotirajoče rotorje, medtem ko se v molekularni črpalki plin razgradi na manjše molekule.Turbomolekularne črpalke lahko zagotovijo visok vakuum, njihova hitrost črpanja pa lahko doseže 500~6000 L/s.Za stroje za plazemsko jedkanje, ki zahtevajo visok vakuum, so turbomolekularne črpalke nepogrešljiv del.
3. Uporaba turbomolekularne črpalke v stroju za plazemsko jedkanje:
Turbomolekularne črpalke se pogosto uporabljajo v strojih za plazemsko jedkanje.V vakuumskem sistemu stroja za plazemsko jedkanje se turbomolekularna črpalka običajno uporablja kot glavna črpalka za pomoč pri doseganju visokega vakuuma.Ko plazma zadene površino, proizvede veliko količino izpušnih plinov, vključno z ostanki surovin in produkti kemične reakcije.Te izpušne pline je treba hitro in učinkovito izčrpati iz vakuumske komore, da zagotovimo stabilnost in zanesljivost postopka plazemskega jedkanja.
Zaradi visoke hitrosti črpanja in visokega vakuuma so turbomolekularne črpalke idealne črpalke.V plazemskem jedkalniku je turbomolekularna črpalka običajno nameščena v ločeni črpalni enoti za enostavno krmiljenje vakuuma in tlaka.Hkrati je za zaščito turbomolekularne črpalke potrebno namestiti plast mehanske črpalke in ventil za zmanjšanje tlaka pred turbomolekularno črpalko, da se izognemo prekomernemu tlaku in poškodbam turbomolekularne črpalke.
4. Prednosti in omejitve turbomolekularnih črpalk:
Turbomolekularne črpalke imajo številne prednosti, kot so visoka hitrost črpanja, visok vakuum, nizek hrup in visoka zanesljivost.Visoka hitrost črpanja turbomolekularne črpalke lahko poveča stopnjo vakuuma, hkrati pa lahko skrajša čas črpanja in s tem poveča učinkovitost proizvodnje.Nizka raven hrupa in visoka zanesljivost turbomolekularne črpalke je tudi ena od njenih prednosti, kar pomeni, da lahko turbomolekularna črpalka vzdržuje učinkovito delovanje dlje časa, kar zmanjša število vzdrževanj in zamenjav.
Vendar imajo turbomolekularne črpalke tudi nekatere omejitve, kot je nizka učinkovitost črpanja za nekatere pline.Na primer, turbomolekularne črpalke imajo nizko učinkovitost ekstrakcije vodika, turbomolekularne črpalke pa imajo tudi določene zahteve glede tlaka in temperature plina.Zato je v praktičnih aplikacijah potrebno izbrati vrsto in delovne parametre turbomolekularne črpalke glede na specifično situacijo, da se zagotovi njeno normalno in učinkovito delovanje.
5. Zaključek:
V procesu izdelave polprevodnikov je stroj za plazemsko jedkanje ena izmed zelo pomembnih naprav.V vakuumskem sistemu stroja za plazemsko jedkanje ima turbomolekularna črpalka kot glavna črpalka ključno vlogo pri doseganju visokega vakuuma in stabilnega postopka plazemskega jedkanja.Turbomolekularne črpalke imajo visoko hitrost črpanja, visok vakuum, nizek hrup in optimizacijo za izpolnjevanje višjih tehničnih zahtev.
Na splošno je vloga turbomolekularne črpalke v stroju za plazemsko jedkanje nenadomestljiva.V industriji proizvodnje polprevodnikov je turbomolekularna črpalka postala ena od potrebnih naprav, ki igra pomembno vlogo pri zagotavljanju delovanja in stabilnosti stroja za plazemsko jedkanje.Z nenehnim razvojem in napredkom polprevodniške tehnologije se bosta povpraševanje in obseg uporabe turbomolekularnih črpalk še povečevala.Zato morajo proizvajalci turbomolekularnih črpalk nenehno izboljševati zmogljivost in kakovost izdelkov, da bi zadovoljili povpraševanje industrije za proizvodnjo polprevodnikov po višji zmogljivosti in stabilnejši opremi.
Obvestilo o avtorskih pravicah:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. zagovarja spoštovanje in zaščito pravic intelektualne lastnine in navaja vir člankov z jasnimi viri.Če ugotovite, da so v vsebini te spletne strani težave z avtorskimi pravicami ali druge težave, se obrnite na nas, da jih rešimo.Kontaktni podatki:marketing01@gpmcn.com
Čas objave: 20. oktober 2023