I le gaosiga o semiconductor i aso nei, o le plasma etcher ma le pamu turbomolecular o ni tekinolosi taua e lua.O le plasma etcher o se meafaigaluega taua i le fausiaina o vaega microelectronic, ae o le pamu turbomolecular ua mamanuina mo le maualuga maualuga ma le maualuga o le pamu vave.I lenei tusiga, matou te talanoaina le matafaioi ma le taua o pamu turbomolecular i plasma etchers.
Anotusi
1. Ta'iala galue ole masini etching plasma
2. Faiga faavae o le pamu turbomolecular
3. Faʻaaogaina o pamu turbomolecular i masini etching plasma
4. Tulaga lelei ma tapulaʻa o pamu turbomolecular
5. Fa'ai'uga
1. Ta'iala galue ole masini etching plasma:
O le plasma echer o se meafaigaluega mo le gaosiga o mea e ala i le faʻaogaina o le plasma i totonu o se potu vacuum.Plasma o se fa'aputuga o mea'ai fa'atosina e maua mai i le fa'a'ona o le kesi.O le maualuga ma le faʻatonuga o le gaioiga o le plasma e mafai ona faʻatonutonuina e ala ile eletise eletise poʻo le mageta.I le taimi o le faʻapipiʻiina o le plasma, e taia e le plasma luga o le mea faigaluega ma sii ese pe faʻaumatia, ma fausia ai le fausaga manaʻomia.
Ae ui i lea, o le tele o le kasa fa'aoso e fa'atupuina i le taimi o le etching plasma.O nei kasa ta'avale e aofia ai mea faigaluega ma mea leaga i totonu o le kesi, ma isi mea, e mana'omia ona fa'aulu i le masini masini.O le mea lea, e manaʻomia e le masini etching plasma se faiga faʻaogaina lelei e faʻamautinoa ai le mautu ma le saʻo o le faiga o le etching.
2. Faiga faavae o le pamu turbomolecular:
O pamu Turbomolecular o se tasi lea e masani ona faʻaaogaina pamu maualuga maualuga pamu i totonu o masini masini.E galue e ala i le viliina o se seti o impeller e taamilo i luga o le saosaoa e pamu ai le kesi i fafo o le potu vacuum ma tuliesea le kesi i totonu o le siosiomaga.I totonu o se pamu turbomolecular, e muamua ona ulu atu le kesi i totonu o se pamu lagolago lea e oomi ai i totonu o se vaega maualuga-omi a'o le'i auina atu i le pamu turbomolecular.
I totonu o se pamu turbomolecular, o le kesi e pamuina e ala i se impeller feliuliua'i, ae i totonu o se pamu mole mole o le kesi e malepe i lalo i molelaiti laiti.O pamu turbomolecular e mafai ona maua ai le gaogao maualuga, ma o latou saoasaoa pamu e mafai ona oʻo atu i le 500 ~ 6000 L / s.Mo masini etching plasma e manaʻomia le maualuga maualuga, o pamu turbomolecular o se vaega taua.
3. Fa'aogaina ole pamu turbomolecular ile masini etching plasma:
O pamu turbomolecular e masani ona faʻaaogaina i masini etching plasma.I totonu o le masini masini etching plasma, o se pamu turbomolecular e masani ona faʻaaogaina e avea ma pamu autu e fesoasoani e ausia le maualuga maualuga.Pe a oso le plasma i luga, e maua mai ai se aofaiga tele o kesi gasese, e aofia ai mea mata o totoe ma mea tau vailaau.O nei kasa fa'amama e mana'omia ona pamu vave mai le potu vacuum ma lelei ina ia mautinoa le mautu ma le fa'atuatuaina o le fa'agasologa o le fa'aogaina o le plasma.
O le maualuga o le pamu ma le maualuga o le gaogao o pamu turbomolecular e avea ai i latou ma pamu lelei.I totonu o le plasma echer, o le pamu turbomolecular e masani lava ona tuʻuina i totonu o se pamu eseʻese mo le faʻafaigofieina o le vacuum ma le mamafa.I le taimi lava e tasi, ina ia puipuia le pamu turbomolecular, e manaʻomia le faʻapipiʻiina o se vaega o le pamu masini ma se valve faʻaitiitia o le mamafa i luma o le pamu turbomolecular e aloese ai mai le mamafa tele ma le faʻaleagaina o le pamu turbomolecular.
4. Tulaga lelei ma tapula'a o pamu turbomolecular:
O pamu turbomolecular e tele mea lelei, e pei o le maualuga o le pamu maualuga, maualuga le gaogao, maualalo le pisa, ma le maualuga o le faʻatuatuaina.O le maualuga o le pamu o le pamu turbomolecular e mafai ona faʻateleina ai le vacuum degree, ma i le taimi lava e tasi e mafai ona faʻaitiitia le taimi pamu, ma faʻateleina ai le gaosiga lelei.O le maualalo o le pisa ma le maualuga o le faʻatuatuaina o le pamu turbomolecular o se tasi lea o ona lelei, o lona uiga e mafai e le pamu turbomolecular ona faʻamautu lelei le gaioiga mo se taimi umi atu, faʻaitiitia le numera o le tausiga ma le sui.
Ae ui i lea, o pamu turbomolecular e iai foi ni tapulaʻa, e pei o le maualalo o le pamu mo nisi kasa.Mo se faʻataʻitaʻiga, o pamu turbomolecular e maualalo le faʻaogaina o le hydrogen, ma o pamu turbomolecular e iai foʻi mea e manaʻomia mo le mamafa o le kesi ma le vevela.O le mea lea, i faʻatinoga faʻapitoa, e tatau ona filifili le ituaiga ma le galue o le pamu turbomolecular e tusa ai ma le tulaga faʻapitoa e faʻamautinoa ai lona faʻaogaina masani ma lelei.
5. Fa'ai'uga:
I le faagasologa o le gaosiga o le semiconductor, o le masini etching plasma o se tasi lea o meafaigaluega sili ona taua.I totonu o le masini masini etching plasma, o le pamu turbomolecular, e pei o le pamu autu, e taua tele i le ausiaina o le maualuga o le gaogao ma le mautu o le plasma etching process.O pamu turbomolecular e maualuga le saoasaoa o le pamu, maualuga le gaogao, maualalo le pisapisao ma le faʻamalosia e faʻafetaui manaoga faʻapitoa maualuga.
I se tulaga lautele, o le matafaioi a le pamu turbomolecular i le masini etching plasma e le mafai ona suia.I totonu o le gaosiga o le gaosiga o semiconductor, o le pamu turbomolecular ua avea ma se tasi o meafaigaluega talafeagai, lea e taua tele i le faʻamautinoaina o le faʻatinoga ma le mautu o le masini etching plasma.Faatasi ai ma le faʻaauauina o le atinaʻe ma le alualu i luma o tekinolosi semiconductor, o le manaʻoga ma le lautele o le faʻaogaina o pamu turbomolecular o le a faʻaauau pea ona faʻalauteleina.O le mea lea, e manaʻomia e le au gaosi pamu turbomolecular le faʻaauau pea ona faʻaleleia le faʻatinoga o oloa ma le lelei e faʻafetaui ai le manaʻoga o le gaosiga o semiconductor mo le maualuga o le faʻatinoga ma le mautu o meafaigaluega.
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Taimi meli: Oke-20-2023