Warshadaha wax soo saarka semiconductor-ka ee maanta, balasmaha etcher iyo bamka turbomolecular waa laba tignoolajiyada muhiimka ah.Plasma etcher waa qalab lagama maarmaan u ah samaynta qaybaha microelectronic, halka bamka turbomolecular loogu talagalay faakuum sare iyo xawaaraha bamgareynta sare.Maqaalkan, waxaan kaga hadlaynaa doorka iyo muhiimada matoorada turbomolecular ee etchers plasma.
Nuxurka
1. Mabda'a shaqada ee mashiinka etching plasma
2. Mabda'a shaqada ee bamka turbomolecular
3. Codsiga bamka turbomolecular ee mashiinka etching plasma
4. Faa'iidooyinka iyo xaddidaadda matoorada turbomolecular
5. Gabagabo
1. Mabda'a shaqada ee mashiinka etching plasma:
Plasma etcher waa qalab lagu farsameeyo walxaha iyadoo la isticmaalayo balaasmaha qolka faakuumka.Plasma waa ururinta walxaha la dallacay ee ay soo saarto gaaska ionization.Cufnaanta iyo jihada dhaqdhaqaaqa balasmaha waxaa lagu xakameyn karaa koronto-soo noqnoqda sare ama meelaha magnetic.Inta lagu jiro etching balaasmaha, balaasmadu waxay ku dhufataa dusha sare ee alaabta shaqada oo kor u qaada ama ka takhalusta, abuurista qaabka la rabo.
Si kastaba ha ahaatee, xaddi badan oo gaasta qiiqa ah ayaa la abuuraa inta lagu jiro etching plasma.Gaasaska qiiqa waxaa ka mid ah walxaha shaqada iyo wasakhda ku jirta gaaska, iwm, kuwaas oo u baahan in lagu sii daayo nidaamka faakuumka.Sidaa darteed, mashiinka etching plasma wuxuu u baahan yahay nidaam faaruq ah oo wax ku ool ah si loo hubiyo xasilloonida iyo saxnaanta habka xoqidda.
2. Mabda'a shaqada ee bamka turbomolecular:
Matoorada Turbomolecular waa mid ka mid ah matoorada xawaaraha sare ee inta badan loo isticmaalo nidaamyada faakuumka.Waxa ay ku shaqaysaa iyada oo wareejinaysa qalab-xawaaraha sareeyo oo rogrogaya si ay gaaska uga soo saarto qolka faakuumka oo ay uga saarto gaaska jawiga.Matoorka turbomolecular, gaasku wuxuu marka hore galaa bamka gadaal ka riixaya halkaas oo lagu cadaadiyo gobolka cadaadiska sare ka hor inta aan loo dirin bamka turbomolecular.
Matoorka turbomolecular, gaaska waxaa lagu shubaa mashiin wareeg ah, halka bamka molecular gaasku u jajaban yahay unugyo yaryar.Matoorada Turbomolecular waxay bixin karaan faakuum sare, xawaarahooda bamgareynta waxay gaari karaan 500 ~ 6000 L/s.Mashiinnada etching plasma ee u baahan faakuum sare, bambooyin turbomolecular waa qayb lama huraan ah.
3. Codsiga bamka turbomolecular ee mashiinka etching plasma:
Matoorada Turbomolecular ayaa si weyn loogu isticmaalaa mashiinnada etching plasma.Nidaamka faakuumka ee mashiinka etching plasma, bamka turbomolecular waxaa badanaa loo isticmaalaa bamka ugu weyn si uu u caawiyo helitaanka faakuum sare.Marka balaasmadu ay ku dhufato dusha sare, waxay soo saartaa xaddi badan oo gaasta qiiqa ah, oo ay ku jiraan alaabta ceyriinka ah ee haraaga ah iyo alaabta falcelinta kiimikada.Gaasaska qiiqa waxay u baahan yihiin in si degdeg ah oo hufan looga soo saaro qolka faakuumka si loo hubiyo xasilloonida iyo isku halaynta habka etching plasma.
Xawaaraha bamgareynta sare iyo faakuumka sare ee matoorada turbomolecular ayaa ka dhigaya bambooyin ku habboon.Gudaha balasmaha etcher, bamka turbomolecular waxaa badanaa lagu dhejiyaa unug bam ah oo gaar ah si loo xakameeyo vacuum iyo cadaadiska.Isla mar ahaantaana, si loo ilaaliyo bamka turbomolecular, waxaa lagama maarmaan ah in lagu rakibo lakabka bamka farsamada iyo cadaadiska yareynaya bamka hore ee bamka turbomolecular si looga fogaado cadaadiska xad-dhaafka ah iyo dhaawaca bamka turbomolecular.
4. Faa'iidooyinka iyo xaddidaadda matoorada turbomolecular:
Matoorada Turbomolecular waxay leeyihiin faa'iidooyin badan, sida xawaaraha bamgareynta sare, faakuum sare, buuq yar, iyo kalsooni sare.Xawaaraha sare ee bamka turbomolecular wuxuu kordhin karaa heerka faakuumka, isla markaana wuxuu yarayn karaa wakhtiga bamgareynta, taas oo kordhinaysa waxtarka wax soo saarka.Dhawaaqa hooseeya iyo kalsoonida sare ee bamka turbomolecular sidoo kale waa mid ka mid ah faa'iidooyinkeeda, taas oo macnaheedu yahay in bamka turbomolecular uu sii wadi karo hawl-qabad hufan muddo dheer, yaraynta tirada dayactirka iyo beddelka.
Si kastaba ha ahaatee, matoorada turbomolecular sidoo kale waxay leeyihiin xaddidaadyo, sida waxtarka bamgareynta oo hooseeya ee gaasaska qaarkood.Tusaale ahaan, matoorada turbomolecular waxay leeyihiin waxtarka soo saarista hydrogen oo hooseeya, iyo bambooyin turbomolecular sidoo kale waxay leeyihiin shuruudo gaar ah cadaadiska gaaska iyo heerkulka.Sidaa darteed, codsiyada wax ku oolka ah, waxaa lagama maarmaan ah in la doorto nooca iyo xuduudaha shaqada ee bamka turbomolecular iyadoo loo eegayo xaaladda gaarka ah si loo hubiyo in hawlaheeda caadiga ah iyo waxtarka leh.
5. Gabagabo:
Habka wax soo saarka semiconductor, mashiinka etching plasma waa mid ka mid ah qalabka aadka ugu muhiimsan.Nidaamka faakuumka ee mashiinka etching plasma, bamka turbomolecular, oo ah bamka ugu weyn, wuxuu ka ciyaaraa door muhiim ah si loo gaaro vacuum sare iyo geedi socodka etching balaasmaha deggan.Matoorada Turbomolecular waxay leeyihiin xawaare bamgareyn sarreeya, faakuum sare, buuq yar iyo hagaajin si ay u buuxiyaan shuruudaha farsamada sare.
Guud ahaan, doorka bamka turbomolecular ee mashiinka etching plasma waa mid aan la bedeli karin.Warshadaha wax soo saarka semiconductor, bamka turbomolecular wuxuu noqday mid ka mid ah qalabka lagama maarmaanka ah, kaas oo door muhiim ah ka ciyaara hubinta waxqabadka iyo xasiloonida mashiinka etching plasma.Iyada oo horumarka joogtada ah iyo horumarka tignoolajiyada semiconductor, baahida iyo baaxadda isticmaalka matoorka turbomolecular ayaa sii wadi doona ballaarinta.Sidaa darteed, soosaarayaasha bamka turbomolecular waxay u baahan yihiin inay si joogto ah u wanaajiyaan waxqabadka wax soo saarka iyo tayada si ay u daboolaan baahida warshadaha wax soo saarka semiconductor ee waxqabadka sare iyo qalabka xasilloon.
Ogeysiiska xuquuqda daabacaada:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. waxay u doodaa ixtiraamka iyo ilaalinta xuquuqda hantida garaadka waxayna muujisaa isha maqaalada ilo cad.Haddii aad ogaato inay jiraan xuquuq-daabacaad ama dhibaatooyin kale oo ku jira nuxurka boggan, fadlan nala soo xiriir si aan wax uga qabanno.Macluumaadka xiriirka:marketing01@gpmcn.com
Waqtiga boostada: Oct-20-2023