У данашњој индустрији производње полупроводника, плазма нагризање и турбомолекуларна пумпа су две важне кључне технологије.Плазма нагризач је суштински алат у производњи микроелектронских компоненти, док је турбомолекуларна пумпа дизајнирана за висок вакуум и велику брзину пумпања.У овом чланку расправљамо о улози и значају турбомолекуларних пумпи у плазма нагризањима.
Садржај
1. Принцип рада плазма машине за гравирање
2. Принцип рада турбомолекуларне пумпе
3. Примена турбомолекуларне пумпе у машини за плазма нагризање
4. Предности и ограничења турбомолекуларних пумпи
5. Закључак
1. Принцип рада плазма машине за гравирање:
Плазма нагризач је алат за обраду материјала коришћењем плазме у вакуумској комори.Плазма је скуп наелектрисаних честица произведених јонизацијом гаса.Густина и правац кретања плазме могу се контролисати помоћу високофреквентних електричних или магнетних поља.Током плазма гравирања, плазма удара о површину радног материјала и подиже је или еродира, стварајући жељену структуру.
Међутим, велика количина издувних гасова се ствара током плазма нагризања.Ови издувни гасови укључују радне материјале и нечистоће у гасу итд., које је потребно избацити кроз вакуумски систем.Због тога је машини за плазма гравирање потребан ефикасан вакуумски систем како би се осигурала стабилност и тачност процеса гравирања.
2. Принцип рада турбомолекуларне пумпе:
Турбомолекуларне пумпе су једне од најчешће коришћених пумпи велике брзине пумпања у вакуум системима.Ради тако што окреће скуп ротирајућих импелера велике брзине за пумпање гаса из вакуумске коморе и избацивање гаса у атмосферу.У турбомолекуларној пумпи, гас прво улази у помоћну пумпу где се компресује у област високог притиска пре него што се пошаље у турбомолекуларну пумпу.
У турбомолекуларној пумпи гас се пумпа кроз ротирајуће радно коло, док се у молекуларној пумпи гас разлаже на мање молекуле.Турбомолекуларне пумпе могу да обезбеде висок вакуум, а њихова брзина пумпања може да достигне 500~6000 Л/с.За машине за плазма нагризање које захтевају висок вакуум, турбомолекуларне пумпе су незаобилазан део.
3. Примена турбомолекуларне пумпе у машини за плазма гравирање:
Турбомолекуларне пумпе се широко користе у машинама за плазма нагризање.У вакуумском систему плазма машине за гравирање, турбомолекуларна пумпа се обично користи као главна пумпа за постизање високог вакуума.Када плазма удари на површину, производи велику количину издувних гасова, укључујући заостале сировине и производе хемијске реакције.Ови издувни гасови морају да се испумпају из вакуум коморе брзо и ефикасно да би се обезбедила стабилност и поузданост процеса нагризања плазмом.
Велика брзина пумпања и висок вакуум турбомолекуларних пумпи чине их идеалним пумпама.У плазма графичару, турбомолекуларна пумпа се обично поставља у посебну пумпну јединицу ради лакше контроле вакуума и притиска.Истовремено, у циљу заштите турбомолекуларне пумпе, потребно је уградити слој механичке пумпе и вентил за редукцију притиска испред турбомолекуларне пумпе како би се избегао превелики притисак и оштећење турбомолекуларне пумпе.
4. Предности и ограничења турбомолекуларних пумпи:
Турбомолекуларне пумпе имају многе предности, као што су велика брзина пумпања, висок вакуум, ниска бука и висока поузданост.Велика брзина пумпања турбомолекуларне пумпе може повећати степен вакуума, а истовремено може смањити време пумпања, чиме се повећава ефикасност производње.Ниска бука и висока поузданост турбомолекуларне пумпе је такође једна од њених предности, што значи да турбомолекуларна пумпа може да одржава ефикасан рад у дужем временском периоду, смањујући број одржавања и замене.
Међутим, турбомолекуларне пумпе такође имају нека ограничења, као што је ниска ефикасност пумпања одређених гасова.На пример, турбомолекуларне пумпе имају ниску ефикасност екстракције водоника, а турбомолекуларне пумпе такође имају одређене захтеве за притисак и температуру гаса.Због тога је у практичним применама неопходно одабрати тип и радне параметре турбомолекуларне пумпе према специфичној ситуацији како би се обезбедио њен нормалан и ефикасан рад.
5. Закључак:
У процесу производње полупроводника, машина за плазма нагризање је једна од веома важних опреме.У вакуумском систему плазма машине за нагризање, турбомолекуларна пумпа, као главна пумпа, игра виталну улогу у постизању високог вакуума и стабилног процеса јеткања плазмом.Турбомолекуларне пумпе имају велику брзину пумпања, висок вакуум, ниску буку и оптимизацију да задовоље веће техничке захтеве.
Уопштено говорећи, улога турбомолекуларне пумпе у машини за јеткање плазмом је незаменљива.У индустрији производње полупроводника, турбомолекуларна пумпа је постала једна од неопходне опреме, која игра важну улогу у обезбеђивању перформанси и стабилности машине за плазма нагризање.Са континуираним развојем и напретком технологије полупроводника, потражња и обим употребе турбомолекуларних пумпи ће наставити да се шири.Због тога произвођачи турбомолекуларних пумпи морају стално да побољшавају перформансе и квалитет производа како би задовољили потребе индустрије производње полупроводника за бољим перформансама и стабилнијом опремом.
Ауторска права:
ГПМ Интеллигент Тецхнологи (Гуангдонг) Цо., Лтд. заговара поштовање и заштиту права интелектуалне својине и указује на извор чланака са јасним изворима.Ако откријете да постоје проблеми са ауторским правима или други проблеми у садржају ове веб странице, контактирајте нас да бисмо то решили.Контакт информације:marketing01@gpmcn.com
Време поста: 20.10.2023