I dagens halvledartillverkningsindustri är plasmaetsare och turbomolekylär pump två viktiga nyckelteknologier.En plasmaetsare är ett viktigt verktyg vid tillverkning av mikroelektroniska komponenter, medan en turbomolekylär pump är designad för högt vakuum och hög pumphastighet.I den här artikeln diskuterar vi rollen och betydelsen av turbomolekylära pumpar i plasmaetsare.
Innehåll
1. Arbetsprincip för plasmaetsningsmaskin
2. Arbetsprincip för turbomolekylär pump
3. Applicering av turbomolekylär pump i plasmaetsningsmaskin
4. Fördelar och begränsningar med turbomolekylära pumpar
5. Sammanfattning
1. Arbetsprincip för plasmaetsningsmaskin:
En plasmaetsare är ett verktyg för att bearbeta material genom att använda plasma i en vakuumkammare.Plasma är en samling laddade partiklar som produceras genom gasjonisering.Tätheten och rörelseriktningen för plasma kan styras av högfrekventa elektriska eller magnetiska fält.Under plasmaetsning träffar en plasma ytan av arbetsmaterialet och lyfter bort det eller eroderar det, vilket skapar den önskade strukturen.
Emellertid genereras en stor mängd avgaser vid plasmaetsning.Dessa avgaser inkluderar arbetsmaterial och föroreningar i gasen etc. som måste släppas ut genom vakuumsystemet.Därför behöver plasmaetsningsmaskinen ett effektivt vakuumsystem för att säkerställa stabiliteten och noggrannheten i etsningsprocessen.
2. Arbetsprincip för turbomolekylär pump:
Turbomolekylära pumpar är en av de mest använda pumparna med hög pumphastighet i vakuumsystem.Det fungerar genom att snurra en uppsättning höghastighetsroterande pumphjul för att pumpa ut gasen ur vakuumkammaren och driva ut gasen i atmosfären.I en turbomolekylär pump kommer gas först in i en stödpump där den komprimeras till ett högtrycksområde innan den skickas till den turbomolekylära pumpen.
I en turbomolekylär pump pumpas gasen genom ett roterande impeller, medan i en molekylär pump gasen bryts ner till mindre molekyler.Turbomolekylära pumpar kan ge högt vakuum, och deras pumphastighet kan nå 500 ~ 6000 L/s.För plasmaetsningsmaskiner som kräver högvakuum är turbomolekylära pumpar en oumbärlig del.
3. Applicering av turbomolekylär pump i plasmaetsningsmaskin:
Turbomolekylära pumpar används ofta i plasmaetsningsmaskiner.I vakuumsystemet i en plasmaetsningsmaskin används vanligtvis en turbomolekylär pump som huvudpump för att hjälpa till att uppnå högt vakuum.När plasman träffar ytan producerar den en stor mängd avgaser, inklusive restråvaror och kemiska reaktionsprodukter.Dessa avgaser måste pumpas ut ur vakuumkammaren snabbt och effektivt för att säkerställa stabiliteten och tillförlitligheten hos plasmaetsningsprocessen.
Den höga pumphastigheten och det höga vakuumet hos turbomolekylära pumpar gör dem till idealiska pumpar.I en plasmaetsare placeras turbomolekylärpumpen vanligtvis i en separat pumpenhet för enkel kontroll av vakuum och tryck.Samtidigt, för att skydda turbomolekylärpumpen, är det nödvändigt att installera ett lager av mekanisk pump och en tryckreduceringsventil framför turbomolekylärpumpen för att undvika överdrivet tryck och skada på turbomolekylärpumpen.
4. Fördelar och begränsningar med turbomolekylära pumpar:
Turbomolekylära pumpar har många fördelar, såsom hög pumphastighet, högt vakuum, lågt ljud och hög tillförlitlighet.Turbomolekylärpumpens höga pumphastighet kan öka vakuumgraden och kan samtidigt minska pumptiden och därigenom öka produktionseffektiviteten.Turbomolekylärpumpens låga ljud och höga tillförlitlighet är också en av dess fördelar, vilket gör att turbomolekylärpumpen kan upprätthålla effektiv drift under en längre tid, vilket minskar antalet underhåll och utbyte.
Turbomolekylära pumpar har dock också vissa begränsningar, såsom låg pumpeffektivitet för vissa gaser.Till exempel har turbomolekylära pumpar låg extraktionseffektivitet för väte, och turbomolekylära pumpar har också vissa krav på gastryck och temperatur.Därför är det i praktiska tillämpningar nödvändigt att välja typ och arbetsparametrar för turbomolekylär pump enligt den specifika situationen för att säkerställa dess normala och effektiva drift.
5. Sammanfattning:
I halvledartillverkningsprocessen är plasmaetsningsmaskinen en av de mycket viktiga utrustningarna.I plasmaetsningsmaskinens vakuumsystem spelar turbomolekylärpumpen, som huvudpump, en viktig roll för att uppnå högvakuum och stabil plasmaetsningsprocess.Turbomolekylära pumpar har hög pumphastighet, högt vakuum, lågt ljud och optimering för att möta högre tekniska krav.
Generellt sett är den turbomolekylära pumpens roll i plasmaetsningsmaskinen oersättlig.Inom halvledartillverkningsindustrin har den turbomolekylära pumpen blivit en av de nödvändiga utrustningarna, som spelar en viktig roll för att säkerställa plasmaetsningsmaskinens prestanda och stabilitet.Med den kontinuerliga utvecklingen och framstegen inom halvledarteknologi kommer efterfrågan och användningsområdet för turbomolekylära pumpar att fortsätta att expandera.Därför måste tillverkare av turbomolekylära pumpar kontinuerligt förbättra produktens prestanda och kvalitet för att möta halvledartillverkningsindustrins krav på högre prestanda och mer stabil utrustning.
Upphovsrättsmeddelande:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. förespråkar respekt och skydd av immateriella rättigheter och anger källan till artiklar med tydliga källor.Om du upptäcker att det finns upphovsrättsliga eller andra problem i innehållet på denna webbplats, vänligen kontakta oss för att hantera det.Kontaktinformation:marketing01@gpmcn.com
Posttid: 2023-okt-20