Katika tasnia ya kisasa ya utengenezaji wa semiconductor, plasma etcher na pampu ya turbomolecular ni teknolojia mbili muhimu.Etcher ya plasma ni chombo muhimu katika utengenezaji wa vipengele vya microelectronic, wakati pampu ya turbomolecular imeundwa kwa utupu wa juu na kasi ya juu ya kusukuma.Katika makala hii, tunajadili jukumu na umuhimu wa pampu za turbomolecular katika etchers za plasma.
Maudhui
1. Kanuni ya kazi ya mashine ya etching ya plasma
2. Kanuni ya kazi ya pampu ya turbomolecular
3. Matumizi ya pampu ya turbomolecular katika mashine ya etching ya plasma
4. Faida na mapungufu ya pampu za turbomolecular
5. Hitimisho
1. Kanuni ya kazi ya mashine ya kuweka plasma:
Etcher ya plasma ni chombo cha usindikaji wa vifaa kwa kutumia plasma kwenye chumba cha utupu.Plasma ni mkusanyiko wa chembe za kushtakiwa zinazozalishwa na ionization ya gesi.Msongamano na mwelekeo wa mwendo wa plasma unaweza kudhibitiwa na mashamba ya juu-frequency ya umeme au magnetic.Wakati wa etching ya plasma, plasma hupiga uso wa nyenzo za kazi na kuinua au kuiharibu, na kuunda muundo unaohitajika.
Hata hivyo, kiasi kikubwa cha gesi ya kutolea nje hutolewa wakati wa etching ya plasma.Gesi hizi za kutolea nje ni pamoja na vifaa vya kazi na uchafu katika gesi, nk, ambayo inahitaji kutolewa kupitia mfumo wa utupu.Kwa hiyo, mashine ya kuweka plasma inahitaji mfumo wa utupu wa ufanisi ili kuhakikisha utulivu na usahihi wa mchakato wa etching.
2. Kanuni ya kazi ya pampu ya turbomolecular:
Pampu za turbomolecular ni mojawapo ya pampu za kasi ya kusukumia zinazotumiwa sana katika mifumo ya utupu.Hufanya kazi kwa kusokota seti ya vichocheo vinavyozunguka kwa kasi ya juu ili kusukuma gesi kutoka kwenye chemba ya utupu na kutoa gesi hiyo kwenye angahewa.Katika pampu ya turbomolecular, gesi kwanza huingia kwenye pampu inayounga mkono ambapo inabanwa katika eneo la shinikizo la juu kabla ya kutumwa kwa pampu ya turbomolecular.
Katika pampu ya turbomolecular, gesi hupigwa kwa njia ya impela inayozunguka, wakati katika pampu ya molekuli gesi huvunjwa ndani ya molekuli ndogo.Pampu za turbomolecular zinaweza kutoa utupu wa juu, na kasi yao ya kusukuma inaweza kufikia 500 ~ 6000 L / s.Kwa mashine za kuweka plasma ambazo zinahitaji utupu wa juu, pampu za turbomolecular ni sehemu ya lazima.
3. Utumiaji wa pampu ya turbomolecular katika mashine ya kuweka plasma:
Pampu za turbomolecular hutumiwa sana katika mashine za kuweka plasma.Katika mfumo wa utupu wa mashine ya kuweka plasma, pampu ya turbomolecular kawaida hutumiwa kama pampu kuu kusaidia kufikia utupu wa juu.Wakati plasma inapiga uso, hutoa kiasi kikubwa cha gesi ya kutolea nje, ikiwa ni pamoja na malighafi iliyobaki na bidhaa za athari za kemikali.Gesi hizi za kutolea nje zinahitajika kutolewa nje ya chumba cha utupu haraka na kwa ufanisi ili kuhakikisha uthabiti na uaminifu wa mchakato wa etching ya plasma.
Kasi ya juu ya kusukuma maji na utupu mkubwa wa pampu za turbomolecular huwafanya kuwa pampu bora.Katika etcher ya plasma, pampu ya turbomolecular kawaida huwekwa katika kitengo tofauti cha pampu kwa udhibiti rahisi wa utupu na shinikizo.Wakati huo huo, ili kulinda pampu ya turbomolecular, ni muhimu kufunga safu ya pampu ya mitambo na valve ya kupunguza shinikizo mbele ya pampu ya turbomolecular ili kuepuka shinikizo nyingi na uharibifu wa pampu ya turbomolecular.
4. Manufaa na mapungufu ya pampu za turbomolecular:
Pampu za turbomolecular zina faida nyingi, kama vile kasi ya juu ya kusukuma, utupu wa juu, kelele ya chini, na kuegemea juu.Kasi ya kusukuma ya pampu ya turbomolecular inaweza kuongeza kiwango cha utupu, na wakati huo huo inaweza kupunguza muda wa kusukuma, na hivyo kuongeza ufanisi wa uzalishaji.Kelele ya chini na uaminifu wa juu wa pampu ya turbomolecular pia ni moja ya faida zake, ambayo ina maana kwamba pampu ya turbomolecular inaweza kudumisha operesheni ya ufanisi kwa muda mrefu, kupunguza idadi ya matengenezo na uingizwaji.
Walakini, pampu za turbomolecular pia zina mapungufu, kama vile ufanisi mdogo wa kusukuma kwa gesi fulani.Kwa mfano, pampu za turbomolecular zina ufanisi mdogo wa uchimbaji wa hidrojeni, na pampu za turbomolecular pia zina mahitaji fulani kwa shinikizo la gesi na joto.Kwa hiyo, katika matumizi ya vitendo, ni muhimu kuchagua aina na vigezo vya kazi vya pampu ya turbomolecular kulingana na hali maalum ili kuhakikisha uendeshaji wake wa kawaida na ufanisi.
5. Hitimisho:
Katika mchakato wa utengenezaji wa semiconductor, mashine ya kuweka plasma ni moja ya vifaa muhimu sana.Katika mfumo wa utupu wa mashine ya kuweka plasma, pampu ya turbomolecular, kama pampu kuu, ina jukumu muhimu katika kufikia utupu wa juu na mchakato thabiti wa kuweka plasma.Pampu za turbomolecular zina kasi ya juu ya kusukuma maji, utupu wa juu, kelele ya chini na uboreshaji ili kukidhi mahitaji ya juu ya kiufundi.
Kwa ujumla, jukumu la pampu ya turbomolecular katika mashine ya etching ya plasma haiwezi kubatilishwa.Katika sekta ya utengenezaji wa semiconductor, pampu ya turbomolecular imekuwa moja ya vifaa muhimu, ambayo ina jukumu muhimu katika kuhakikisha utendaji na utulivu wa mashine ya etching ya plasma.Kwa maendeleo ya kuendelea na maendeleo ya teknolojia ya semiconductor, mahitaji na upeo wa matumizi ya pampu za turbomolecular itaendelea kupanua.Kwa hivyo, watengenezaji wa pampu za turbomolecular wanahitaji kuendelea kuboresha utendaji na ubora wa bidhaa ili kukidhi mahitaji ya sekta ya utengenezaji wa semiconductor kwa utendakazi wa hali ya juu na vifaa thabiti zaidi.
Notisi ya hakimiliki:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd. inatetea heshima na ulinzi wa haki miliki na inaonyesha chanzo cha makala zilizo na vyanzo wazi.Ukigundua kuwa kuna hakimiliki au matatizo mengine katika maudhui ya tovuti hii, tafadhali wasiliana nasi ili kuyashughulikia.Maelezo ya mawasiliano:marketing01@gpmcn.com
Muda wa kutuma: Oct-20-2023