Häzirki wagtda ýarymgeçiriji önümçilik pudagynda plazma efir we turbomolekulýar nasos iki möhüm tehnologiýa.Plazma efir mikroelektroniki komponentleri ýasamakda möhüm guraldyr, turbomolekulýar nasos bolsa ýokary vakuum we ýokary nasos tizligi üçin niýetlenendir.Bu makalada, turbomolekulýar nasoslaryň plazma efirlerindäki orny we ähmiýeti barada söhbet edýäris.
Mazmuny
1. Plazma çykaryjy maşynyň iş prinsipi
2. Turbomolekulýar nasosyň iş prinsipi
3. Turbomolekulýar nasosyň plazma öndürýän maşynda ulanylmagy
4. Turbomolekulýar nasoslaryň artykmaçlyklary we çäklendirmeleri
5. Netije
1. Plazma çykaryjy maşynyň iş prinsipi:
Plazma eteri wakuum kamerasynda plazmany ulanyp materiallary gaýtadan işlemek üçin guraldyr.Plazma, gaz ionizasiýasy arkaly öndürilen zarýadly bölejikleriň ýygyndysydyr.Plazmanyň dykyzlygy we ugruny ýokary ýygylykly elektrik ýa-da magnit meýdanlary dolandyryp biler.Plazma dökülende plazma iş materialynyň üstüne zarba urýar we ony göterýär ýa-da ýok edýär, islenýän gurluşy döredýär.
Şeýle-de bolsa, plazma dökülende köp mukdarda gaz çykarylýar.Bu gaz çykaryjy gazlar, wakuum ulgamynyň üsti bilen zyňylmaly iş materiallaryny we gazdaky hapalary we ş.m.Şonuň üçin, plazma çykaryjy maşyn, dökülme prosesiniň durnuklylygyny we takyklygyny üpjün etmek üçin netijeli vakuum ulgamyna mätäç.
2. Turbomolekulýar nasosyň iş ýörelgesi:
Turbomolekulýar nasoslar wakuum ulgamlarynda iň köp ulanylýan ýokary nasos tizlik nasoslaryndan biridir.Wakuum kamerasyndan gazy çykarmak we gazy atmosfera çykarmak üçin ýokary tizlikli aýlanýan impellerleriň toplumyny aýlamak arkaly işleýär.Turbomolekulýar nasosda, gaz ilki turbomolekulýar nasosyna iberilmezden ozal ýokary basyşly sebite gysylan arka nasosyna girýär.
Turbomolekulýar nasosda gaz aýlanýan hereketlendiriji arkaly sorulýar, molekulýar nasosda bolsa gaz ownuk molekulalara bölünýär.Turbomolekulýar nasoslar ýokary wakuumy üpjün edip biler we nasos tizligi 500 ~ 6000 L / s ýetip biler.Vokary vakuumy talap edýän plazma çykaryjy maşynlar üçin turbomolekulýar nasoslar aýrylmaz bölekdir.
3. Turbomolekulýar nasosyň plazma çykaryjy maşynda ulanylmagy:
Turbomolekulýar nasoslar plazma arassalaýjy maşynlarda giňden ulanylýar.Plazma çykaryjy maşynyň vakuum ulgamynda ýokary vakuuma ýetmek üçin esasy nasos hökmünde turbomolekulýar nasos ulanylýar.Plazma ýer ýüzüne uranda, galyndy çig mal we himiki reaksiýa önümleri ýaly köp mukdarda gaz çykarýar.Plazma çykarmak prosesiniň durnuklylygyny we ygtybarlylygyny üpjün etmek üçin bu gaz gazlary wakuum kamerasyndan çalt we täsirli çykarmaly.
Nasosyň ýokary tizligi we turbomolekulýar nasoslaryň ýokary vakuumy olary ideal nasoslara öwürýär.Plazma efirinde turbomolekulýar nasos wakuumy we basyşy aňsat dolandyrmak üçin aýratyn nasos bölümine ýerleşdirilýär.Şol bir wagtyň özünde, turbomolekulýar nasosy goramak üçin, turbomolekulýar nasosyň aşa basyşynyň we zeperlenmeginiň öňüni almak üçin, turbomolekulýar nasosyň öňünde mehaniki nasos gatlagyny we basyşy azaldýan klapan gurmaly.
4. Turbomolekulýar nasoslaryň artykmaçlyklary we çäklendirmeleri:
Turbomolekulýar nasoslaryň ýokary nasos tizligi, ýokary vakuum, pes ses we ýokary ygtybarlylyk ýaly köp artykmaçlygy bar.Turbomolekulýar nasosyň ýokary nasos tizligi wakuum derejesini ýokarlandyryp biler we şol bir wagtyň özünde nasos wagtyny azaldyp, önümçiligiň netijeliligini ýokarlandyryp biler.Turbomolekulýar nasosyň pes sesi we ýokary ygtybarlylygy hem onuň artykmaçlyklaryndan biridir, bu turbomolekulýar nasosyň uzak wagtlap netijeli işlemegini, tehniki hyzmatyň we çalşygyň sanyny azaldyp biljekdigini aňladýar.
Şeýle-de bolsa, turbomolekulýar nasoslarda käbir gazlar üçin pes nasos netijeliligi ýaly käbir çäklendirmeler bar.Mysal üçin, turbomolekulýar nasoslar wodorod üçin pes çykarmak netijeliligine, turbomolekulýar nasoslarda gaz basyşy we temperatura üçin käbir talaplar bar.Şonuň üçin amaly goşundylarda adaty we täsirli işlemegini üpjün etmek üçin turbomolekulýar nasosyň görnüşini we iş parametrlerini belli bir ýagdaýa görä saýlamaly.
5. Netije:
Ondarymgeçirijini öndürmek prosesinde plazma çykaryjy maşyn iň möhüm enjamlardan biridir.Plazma çykaryjy maşynyň wakuum ulgamynda esasy nasos hökmünde turbomolekulýar nasos ýokary vakuum we durnukly plazma emele gelmeginde möhüm rol oýnaýar.Turbomolekulýar nasoslar ýokary nasos tizligine, ýokary wakuuma, pes ses we ýokary tehniki talaplary kanagatlandyrmak üçin optimizasiýa eýe.
Umuman aýdanyňda, plazma çykaryjy maşynda turbomolekulýar nasosyň ornuny tutup bolmaýar.Ondarymgeçiriji önümçilik pudagynda turbomolekulýar nasos, plazma çykaryjy maşynyň işleýşini we durnuklylygyny üpjün etmekde möhüm rol oýnaýan zerur enjamlaryň birine öwrüldi.Ondarymgeçiriji tehnologiýanyň üznüksiz ösüşi we ösüşi bilen turbomolekulýar nasoslary ulanmaga bolan isleg we gerim giňelmegini dowam etdirer.Şonuň üçin turbomolekulýar nasos öndürijileri ýarymgeçiriji önümçilik pudagynyň has ýokary öndürijilige we has durnukly enjamlara bolan islegini kanagatlandyrmak üçin önümiň öndürijiligini we hilini yzygiderli ýokarlandyrmalydyrlar.
Awtorlyk hukugy barada duýduryş:
GPM Intelligent Technology (Guangdong) Ltd., intellektual eýeçilik hukuklaryna hormat goýmagy we goramagy goldaýar we anyk çeşmeler bilen makalalaryň çeşmesini görkezýär.Bu web sahypasynyň mazmunynda awtorlyk hukugynyň ýa-da başga meseleleriň bardygyny görseňiz, bu meseläni çözmek üçin biziň bilen habarlaşmagyňyzy haýyş edýäris.Şahsy maglumatlar:marketing01@gpmcn.com
Iş wagty: 20-2023-nji oktýabr