Бүгенге ярымүткәргеч җитештерү тармагында плазма эфиры һәм турбомолекуляр насос - ике мөһим технология.Плазма эфиры - микроэлектрон компонентлар ясауда мөһим корал, турбомолекуляр насос югары вакуум һәм югары насос тизлеге өчен эшләнгән.Бу мәкаләдә без плазма эфирларында турбомолекуляр насосларның роле һәм мөһимлеге турында сөйләшәбез.
Эчтәлек
1. Плазма эшкәртү машинасының эш принцибы
2. Турбомолекуляр насосның эш принцибы
3. Турбомолекуляр насосны плазма эшкәртү машинасында куллану
4. Турбомолекуляр насосларның өстенлекләре һәм чикләүләре
5. Йомгаклау
1. Плазма эшкәртү машинасының эш принцибы:
Плазма эфиры вакуум камерасында плазманы кулланып материалларны эшкәртү коралы.Плазма - газ ионизациясе белән зарарланган кисәкчәләр җыелмасы.Плазманың хәрәкәт тыгызлыгы һәм юнәлеше югары ешлыктагы электр яки магнит кырлары белән идарә ителергә мөмкин.Плазма эфиры вакытында плазма эш материалының өслегенә бәрелә һәм аны күтәрә яки эретә, кирәкле структураны барлыкка китерә.
Ләкин, плазма эфиры вакытында күп күләмдә чыгарылган газ барлыкка килә.Бу чыгару газларына вакуум системасы аша чыгарылырга тиешле эш материаллары һәм газдагы пычраклар һ.б. керә.Шуңа күрә, плазма эшкәртү машинасына эффектив вакуум системасы кирәк, чистарту процессының тотрыклылыгын һәм төгәллеген тәэмин итү.
2. Турбомолекуляр насосның эш принцибы:
Турбомолекуляр насослар вакуум системаларында иң еш кулланыла торган югары насос тизлеге насосларының берсе.Ул газны вакуум камерасыннан чыгару һәм газны атмосферага чыгару өчен югары тизлекле әйләнүче импеллерлар җыелмасын әйләндереп эшли.Турбомолекуляр насоста газ башта насоска керә, анда турбомолекуляр насоска җибәрелгәнче югары басымлы төбәктә кысыла.
Турбомолекуляр насосда газ әйләнүче импульс аша җибәрелә, ә молекуляр насосда газ кечерәк молекулаларга бүленә.Турбомолекуляр насослар югары вакуум тәэмин итә ала, һәм аларның насос тизлеге 500 ~ 6000 L / s җитә ала.Highгары вакуум таләп итә торган плазма эшкәртү машиналары өчен турбомолекуляр насослар алыштыргысыз өлеш.
3. Турбомолекуляр насосны плазма эшкәртү машинасында куллану:
Турбомолекуляр насослар плазма эшкәртү машиналарында киң кулланыла.Плазманы эшкәртү машинасының вакуум системасында турбомолекуляр насос гадәттә төп насос буларак югары вакуумга ирешергә ярдәм итә.Плазма өскә бәрелгәндә, ул чимал һәм химик реакция продуктларын кертеп, күп күләмдә газ чыгара.Плазма эфирлау процессының тотрыклылыгын һәм ышанычлылыгын тәэмин итү өчен, бу газлар вакуум камерасыннан тиз һәм эффектив рәвештә чыгарылырга тиеш.
Pгары насос тизлеге һәм турбомолекуляр насосларның югары вакуумы аларны идеаль насослар итә.Плазма эфирында турбомолекуляр насос вакуумны һәм басымны җиңел контрольдә тоту өчен аерым насос җайланмасына урнаштырыла.Шул ук вакытта, турбомолекуляр насосны саклау өчен, турбомолекуляр насос алдына механик насос катламы һәм басымны киметүче клапан урнаштырырга кирәк.
4. Турбомолекуляр насосларның өстенлекләре һәм чикләүләре:
Турбомолекуляр насосларның күп өстенлекләре бар, мәсәлән, югары насос тизлеге, югары вакуум, түбән тавыш һәм югары ышанычлылык.Турбомолекуляр насосның югары насос тизлеге вакуум дәрәҗәсен арттырырга мөмкин, һәм шул ук вакытта насос вакытын кыскартырга, шулай итеп җитештерү нәтиҗәлелеген арттырырга мөмкин.Турбомолекуляр насосның түбән тавышы һәм югары ышанычлылыгы шулай ук аның өстенлекләренең берсе, димәк, турбомолекуляр насос озак вакыт дәвамында эффектив эшли ала, хезмәт күрсәтү һәм алыштыру санын киметә.
Ләкин, турбомолекуляр насосларның кайбер чикләүләре дә бар, мәсәлән, кайбер газлар өчен насосның эффективлыгы.Мәсәлән, турбомолекуляр насослар водород өчен чыгару эффективлыгы түбән, һәм турбомолекуляр насосларның газ басымы һәм температурасы өчен дә кайбер таләпләре бар.Шуңа күрә, практик кулланмаларда, нормаль һәм эффектив эшләвен тәэмин итү өчен, турбомолекуляр насосның төрен һәм эш параметрларын конкрет ситуация буенча сайларга кирәк.
5. Йомгаклау:
Ярымүткәргеч җитештерү процессында плазма эшкәртү машинасы бик мөһим җиһазларның берсе.Плазма эшкәртү машинасының вакуум системасында турбомолекуляр насос, төп насос буларак, югары вакуум һәм тотрыклы плазма эшкәртү процессына ирешүдә мөһим роль уйный.Турбомолекуляр насосларның югары насос тизлеге, югары вакуум, түбән тавыш һәм югары техник таләпләрне канәгатьләндерү өчен оптимизациясе бар.
Гомумән алганда, плазма эшкәртү машинасында турбомолекуляр насосның роле алыштыргысыз.Ярымүткәргеч җитештерү тармагында турбомолекуляр насос кирәкле җиһазларның берсенә әверелде, ул плазма эшкәртү машинасының эшләвен һәм тотрыклылыгын тәэмин итүдә мөһим роль уйный.Ярымүткәргеч технологиянең өзлексез үсеше һәм алга китүе белән турбомолекуляр насосларны куллануга ихтыяҗ һәм масштаб киңәячәк.Шуңа күрә, турбомолекуляр насос җитештерүчеләре ярымүткәргеч җитештерү сәнәгатенең югары җитештерүчәнлеккә һәм тотрыклы җиһазларга булган ихтыяҗын канәгатьләндерү өчен продукт җитештерүчәнлеген һәм сыйфатын өзлексез яхшыртырга тиеш.
Авторлык хокукы турында хәбәр:
GPM Интеллектуаль Технология (Гуандун) ООО интеллектуаль милек хокукларын хөрмәт итүне һәм яклауны яклый һәм ачык чыганаклар белән мәкаләләр чыганагын күрсәтә.Әгәр дә сез бу вебсайтның эчтәлегендә авторлык яки башка проблемалар барлыгын күрсәгез, зинһар, безнең белән элемтәгә керегез.Элемтә өчен мәгълүмат:marketing01@gpmcn.com
Пост вакыты: 20-2023 октябрь