Bugungi yarimo'tkazgich ishlab chiqarish sanoatida plazma o'tkazgich va turbomolekulyar nasos ikkita muhim asosiy texnologiya hisoblanadi.Plazma etcher mikroelektronik komponentlarni ishlab chiqarishda muhim vositadir, turbomolekulyar nasos esa yuqori vakuum va yuqori nasos tezligi uchun mo'ljallangan.Ushbu maqolada biz plazma etcherlarida turbomolekulyar nasoslarning roli va ahamiyatini muhokama qilamiz.
Tarkib
1. Plazma qirqish mashinasining ishlash printsipi
2. Turbomolekulyar nasosning ishlash printsipi
3. Turbomolekulyar nasosni plazma bilan ishlov berish mashinasida qo'llash
4. Turbomolekulyar nasoslarning afzalliklari va cheklovlari
5. Xulosa
1. Plazma qirqish mashinasining ishlash printsipi:
Plazma etcher - bu vakuum kamerasida plazma yordamida materiallarni qayta ishlash vositasi.Plazma gazning ionlanishi natijasida hosil bo'lgan zaryadlangan zarralar to'plamidir.Plazmaning zichligi va harakat yo'nalishi yuqori chastotali elektr yoki magnit maydonlar tomonidan boshqarilishi mumkin.Plazma bilan ishlov berish jarayonida plazma ishchi materialning yuzasiga uriladi va uni ko'taradi yoki eroziya qiladi va kerakli tuzilmani yaratadi.
Shu bilan birga, plazma bilan ishlov berish jarayonida ko'p miqdorda chiqindi gaz hosil bo'ladi.Ushbu chiqindi gazlar vakuum tizimi orqali chiqarilishi kerak bo'lgan ish materiallari va gaz tarkibidagi aralashmalarni va boshqalarni o'z ichiga oladi.Shu sababli, plazma bilan ishlov berish mashinasiga ishlov berish jarayonining barqarorligi va aniqligini ta'minlash uchun samarali vakuum tizimi kerak.
2. Turbomolekulyar nasosning ishlash printsipi:
Turbomolekulyar nasoslar vakuum tizimlarida eng ko'p ishlatiladigan yuqori tezlikli nasoslardan biridir.Vakuum kamerasidan gazni chiqarish va gazni atmosferaga chiqarish uchun yuqori tezlikda aylanadigan pervanellar to'plamini aylantirish orqali ishlaydi.Turbomolekulyar nasosda gaz birinchi navbatda turbomolekulyar nasosga yuborilgunga qadar yuqori bosimli hududga siqilgan qo'llab-quvvatlovchi nasosga kiradi.
Turbomolekulyar nasosda gaz aylanadigan pervanel orqali pompalanadi, molekulyar nasosda esa gaz kichikroq molekulalarga bo'linadi.Turbomolekulyar nasoslar yuqori vakuumni ta'minlashi mumkin va ularning nasos tezligi 500 ~ 6000 L / s ga yetishi mumkin.Yuqori vakuum talab qiladigan plazma qirqish mashinalari uchun turbomolekulyar nasoslar ajralmas qismdir.
3. Turbomolekulyar nasosni plazma bilan ishlov berish mashinasida qo'llash:
Turbomolekulyar nasoslar plazma qirqish mashinalarida keng qo'llaniladi.Plazma qirqish mashinasining vakuum tizimida yuqori vakuumga erishish uchun turbomolekulyar nasos odatda asosiy nasos sifatida ishlatiladi.Plazma sirtga tushganda, qoldiq xom ashyo va kimyoviy reaktsiya mahsulotlarini o'z ichiga olgan katta miqdorda chiqindi gaz hosil qiladi.Ushbu chiqindi gazlar plazma bilan ishlov berish jarayonining barqarorligi va ishonchliligini ta'minlash uchun vakuum kamerasidan tez va samarali ravishda chiqarilishi kerak.
Turbomolekulyar nasoslarning yuqori nasos tezligi va yuqori vakuumlari ularni ideal nasoslarga aylantiradi.Plazma etcherida turbomolekulyar nasos odatda vakuum va bosimni oson nazorat qilish uchun alohida nasos blokiga joylashtiriladi.Shu bilan birga, turbomolekulyar nasosni himoya qilish uchun ortiqcha bosim va turbomolekulyar nasosning shikastlanishiga yo'l qo'ymaslik uchun turbomolekulyar nasos oldida mexanik nasos qatlami va bosimni pasaytiradigan valfni o'rnatish kerak.
4. Turbomolekulyar nasoslarning afzalliklari va cheklovlari:
Turbomolekulyar nasoslar yuqori nasos tezligi, yuqori vakuum, past shovqin va yuqori ishonchlilik kabi ko'plab afzalliklarga ega.Turbomolekulyar nasosning yuqori nasos tezligi vakuum darajasini oshirishi va shu bilan birga nasos vaqtini qisqartirishi va shu bilan ishlab chiqarish samaradorligini oshirishi mumkin.Turbomolekulyar nasosning past shovqini va yuqori ishonchliligi ham uning afzalliklaridan biridir, ya'ni turbomolekulyar nasos uzoq vaqt davomida samarali ishlashini ta'minlaydi, texnik xizmat ko'rsatish va almashtirish sonini kamaytiradi.
Biroq, turbomolekulyar nasoslar ham ba'zi cheklovlarga ega, masalan, ma'lum gazlar uchun past nasos samaradorligi.Misol uchun, turbomolekulyar nasoslar vodorod uchun past ekstraktsiya samaradorligiga ega va turbomolekulyar nasoslar ham gaz bosimi va harorati uchun ma'lum talablarga ega.Shuning uchun amaliy qo'llanmalarda uning normal va samarali ishlashini ta'minlash uchun turbomolekulyar nasosning turini va ish parametrlarini aniq vaziyatga qarab tanlash kerak.
5. Xulosa:
Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonida plazma bilan ishlov berish mashinasi juda muhim uskunalardan biridir.Plazma qirqish mashinasining vakuum tizimida turbomolekulyar nasos asosiy nasos sifatida yuqori vakuumli va barqaror plazma qirqish jarayoniga erishishda muhim rol o'ynaydi.Turbomolekulyar nasoslar yuqori nasos tezligi, yuqori vakuum, past shovqin va yuqori texnik talablarni qondirish uchun optimallashtirishga ega.
Umuman olganda, plazma bilan ishlov berish mashinasida turbomolekulyar nasosning roli o'zgarmasdir.Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish sanoatida turbomolekulyar nasos zarur jihozlardan biriga aylandi, bu plazma bilan ishlov berish mashinasining ishlashi va barqarorligini ta'minlashda muhim rol o'ynaydi.Yarimo'tkazgich texnologiyasining uzluksiz rivojlanishi va rivojlanishi bilan turbomolekulyar nasoslardan foydalanish talabi va ko'lami kengayishda davom etadi.Shu sababli, turbomolekulyar nasos ishlab chiqaruvchilari yarimo'tkazgich ishlab chiqarish sanoatining yuqori ishlash va barqaror uskunalarga bo'lgan talabini qondirish uchun mahsulot ishlashi va sifatini doimiy ravishda yaxshilashlari kerak.
Mualliflik huquqi haqida ogohlantirish:
GPM Intelligent Technology(Guangdong) Co., Ltd intellektual mulk huquqlarini hurmat qilish va himoya qilishni yoqlaydi va aniq manbalar bilan maqolalar manbasini ko'rsatadi.Agar siz ushbu veb-sayt mazmunida mualliflik huquqi yoki boshqa muammolar mavjudligini aniqlasangiz, uni hal qilish uchun biz bilan bog'laning.Bog'lanish uchun ma'lumot:marketing01@gpmcn.com
Xabar vaqti: 20-oktabr-2023