Trong ngành sản xuất chất bán dẫn ngày nay, máy khắc plasma và bơm turbo phân tử là hai công nghệ chủ chốt quan trọng.Máy khắc plasma là một công cụ thiết yếu trong chế tạo các linh kiện vi điện tử, trong khi máy bơm turbo phân tử được thiết kế cho chân không cao và tốc độ bơm cao.Trong bài viết này, chúng tôi thảo luận về vai trò và tầm quan trọng của máy bơm turbo phân tử trong máy khắc plasma.
Nội dung
1. Nguyên lý làm việc của máy khắc plasma
2. Nguyên lý làm việc của bơm turbo phân tử
3. Ứng dụng bơm turbo phân tử trong máy khắc plasma
4. Ưu điểm và hạn chế của bơm turbo phân tử
5. Kết luận
1. Nguyên lý làm việc của máy khắc plasma:
Máy khắc plasma là một công cụ xử lý vật liệu bằng cách sử dụng plasma trong buồng chân không.Plasma là tập hợp các hạt tích điện được tạo ra bởi quá trình ion hóa khí.Mật độ và hướng chuyển động của plasma có thể được điều khiển bằng điện trường hoặc từ trường tần số cao.Trong quá trình khắc plasma, plasma chạm vào bề mặt vật liệu gia công và nâng nó lên hoặc làm xói mòn nó, tạo ra cấu trúc mong muốn.
Tuy nhiên, một lượng lớn khí thải được tạo ra trong quá trình khắc plasma.Những khí thải này bao gồm các vật liệu làm việc và các tạp chất trong khí, v.v., cần được thải ra qua hệ thống chân không.Vì vậy, máy khắc plasma cần một hệ thống chân không hiệu quả để đảm bảo tính ổn định và chính xác của quá trình khắc.
2. Nguyên lý làm việc của bơm turbo phân tử:
Máy bơm turbo phân tử là một trong những máy bơm tốc độ cao được sử dụng phổ biến nhất trong hệ thống chân không.Nó hoạt động bằng cách quay một bộ cánh quạt quay tốc độ cao để bơm khí ra khỏi buồng chân không và đẩy khí vào khí quyển.Trong máy bơm turbo phân tử, khí đầu tiên đi vào bơm hỗ trợ, nơi nó được nén thành vùng áp suất cao trước khi được đưa đến bơm turbo phân tử.
Trong máy bơm turbo phân tử, khí được bơm qua một bánh công tác quay, trong khi ở máy bơm phân tử, khí được chia thành các phân tử nhỏ hơn.Máy bơm turbo phân tử có thể cung cấp độ chân không cao và tốc độ bơm của chúng có thể đạt tới 500 ~ 6000 L/s.Đối với những máy khắc plasma yêu cầu độ chân không cao thì bơm turbo phân tử là bộ phận không thể thiếu.
3. Ứng dụng bơm turbo phân tử trong máy khắc plasma:
Bơm turbo phân tử được sử dụng rộng rãi trong các máy khắc plasma.Trong hệ thống chân không của máy khắc plasma, bơm turbo phân tử thường được sử dụng làm bơm chính giúp đạt được độ chân không cao.Khi plasma chạm vào bề mặt, nó tạo ra một lượng lớn khí thải, bao gồm cả nguyên liệu thô còn sót lại và các sản phẩm phản ứng hóa học.Những khí thải này cần được bơm ra khỏi buồng chân không một cách nhanh chóng và hiệu quả để đảm bảo tính ổn định và độ tin cậy của quá trình khắc plasma.
Tốc độ bơm cao và độ chân không cao của máy bơm phân tử làm cho chúng trở thành máy bơm lý tưởng.Trong máy khắc plasma, bơm turbo phân tử thường được đặt trong một bộ phận bơm riêng biệt để dễ dàng kiểm soát chân không và áp suất.Đồng thời, để bảo vệ bơm turbo phân tử, cần lắp đặt một lớp bơm cơ học và van giảm áp phía trước bơm turbo phân tử để tránh áp suất quá cao và làm hỏng bơm turbo phân tử.
4. Ưu điểm và hạn chế của bơm turbo phân tử:
Máy bơm turbo phân tử có nhiều ưu điểm như tốc độ bơm cao, độ chân không cao, độ ồn thấp và độ tin cậy cao.Tốc độ bơm cao của bơm turbo phân tử có thể làm tăng mức độ chân không, đồng thời có thể giảm thời gian bơm, từ đó tăng hiệu quả sản xuất.Độ ồn thấp và độ tin cậy cao của bơm turbo phân tử cũng là một trong những ưu điểm của nó, điều đó có nghĩa là bơm turbo phân tử có thể duy trì hoạt động hiệu quả trong thời gian dài hơn, giảm số lần bảo trì và thay thế.
Tuy nhiên, máy bơm tua-bin phân tử cũng có một số hạn chế, chẳng hạn như hiệu suất bơm thấp đối với một số loại khí nhất định.Ví dụ, máy bơm turbo phân tử có hiệu suất chiết hydro thấp và máy bơm turbo phân tử cũng có những yêu cầu nhất định về áp suất và nhiệt độ khí.Do đó, trong các ứng dụng thực tế, cần phải chọn loại và thông số làm việc của bơm turbo phân tử theo tình huống cụ thể để đảm bảo hoạt động bình thường và hiệu quả của nó.
5. Kết luận:
Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, máy khắc plasma là một trong những thiết bị rất quan trọng.Trong hệ thống chân không của máy khắc plasma, bơm turbo phân tử, với vai trò là bơm chính, đóng vai trò quan trọng trong việc đạt được độ chân không cao và quá trình khắc plasma ổn định.Bơm turbo phân tử có tốc độ bơm cao, độ chân không cao, độ ồn thấp và tối ưu hóa đáp ứng yêu cầu kỹ thuật cao hơn.
Nói chung, vai trò của bơm turbo phân tử trong máy khắc plasma là không thể thay thế được.Trong ngành sản xuất chất bán dẫn, bơm turbo phân tử đã trở thành một trong những thiết bị cần thiết, đóng vai trò quan trọng trong việc đảm bảo hiệu suất và độ ổn định của máy khắc plasma.Với sự phát triển và tiến bộ không ngừng của công nghệ bán dẫn, nhu cầu và phạm vi sử dụng máy bơm turbo phân tử sẽ tiếp tục mở rộng.Do đó, các nhà sản xuất máy bơm tuabin phân tử cần liên tục cải thiện hiệu suất và chất lượng sản phẩm để đáp ứng nhu cầu của ngành sản xuất chất bán dẫn về hiệu suất cao hơn và thiết bị ổn định hơn.
Thông báo bản quyền:
Công ty TNHH Công nghệ Thông minh GPM (Quảng Đông) chủ trương tôn trọng và bảo vệ quyền sở hữu trí tuệ và ghi rõ nguồn gốc các bài viết.Nếu bạn phát hiện có vấn đề về bản quyền hoặc các vấn đề khác trong nội dung của trang web này, vui lòng liên hệ với chúng tôi để giải quyết.Thông tin liên lạc:marketing01@gpmcn.com
Thời gian đăng: Oct-20-2023