אין הייַנט ס סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג אינדוסטריע, פּלאַזמע עטשער און טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע זענען צוויי וויכטיק שליסל טעקנאַלאַדזשיז.א פּלאַזמע עטשער איז אַ יקערדיק געצייַג אין די פאַבריקיישאַן פון מיקראָעלעקטראָניק קאַמפּאָונאַנץ, בשעת אַ טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע איז דיזיינד פֿאַר הויך וואַקוום און הויך פּאַמפּינג גיכקייַט.אין דעם אַרטיקל, מיר דיסקוטירן די ראָלע און וויכטיקייט פון טורבאָמאָלעקולאַר פּאַמפּס אין פּלאַזמע עטשערס.
אינהאַלט
1. ארבעטן פּרינציפּ פון פּלאַזמע עטשינג מאַשין
2. ארבעטן פּרינציפּ פון טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע
3. אַפּפּליקאַטיאָן פון טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע אין פּלאַזמע עטשינג מאַשין
4. אַדוואַנטאַגעס און לימיטיישאַנז פון טורבאָמאָלעקולאַר פּאַמפּס
5. מסקנא
1. ארבעטן פּרינציפּ פון פּלאַזמע עטשינג מאַשין:
א פּלאַזמע עטשער איז אַ געצייַג פֿאַר פּראַסעסינג מאַטעריאַלס דורך ניצן פּלאַזמע אין אַ וואַקוום קאַמער.פּלאַזמע איז אַ זאַמלונג פון באפוילן פּאַרטיקאַלז געשאפן דורך גאַז ייאַנאַזיישאַן.די געדיכטקייַט און ריכטונג פון באַוועגונג פון פּלאַזמע קענען זיין קאַנטראָולד דורך הויך-אָפטקייַט עלעקטריק אָדער מאַגנעטיק פעלדער.בעשאַס פּלאַזמע עטשינג, אַ פּלאַזמע סטרייקס די ייבערפלאַך פון די אַרבעט מאַטעריאַל און ליפץ עס אַוועק אָדער יראָודז עס, קריייטינג די געבעטן סטרוקטור.
אָבער, אַ גרויס סומע פון ויסמאַטערן גאַז איז דזשענערייטאַד בעשאַס פּלאַזמע עטשינג.די ויסמאַטערן גאַסאַז אַרייַננעמען ארבעטן מאַטעריאַלס און ימפּיוראַטיז אין די גאַז, אאז"ו ו, וואָס דאַרפֿן צו זיין אָפּזאָגן דורך די וואַקוום סיסטעם.דעריבער, די פּלאַזמע עטשינג מאַשין דאַרף אַ עפעקטיוו וואַקוום סיסטעם צו ענשור די פעסטקייַט און אַקיעראַסי פון די עטשינג פּראָצעס.
2. ארבעטן פּרינציפּ פון טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע:
טורבאָמאָלעקולאַר פּאַמפּס זענען איינער פון די מערסט קאַמאַנלי געניצט הויך פּאַמפּינג גיכקייַט פּאַמפּס אין וואַקוום סיסטעמען.עס אַרבעט דורך ספּיננינג אַ גאַנג פון הויך-גיכקייַט ראָוטייטינג ימפּעללער צו פּאָמפּע די גאַז אויס פון די וואַקוום קאַמער און אַרויסטרייַבן די גאַז אין די אַטמאָספער.אין אַ טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע, גאַז ערשטער גייט אריין אין אַ באַקינג פּאָמפּע ווו עס איז קאַמפּרעסט אין אַ הויך-דרוק געגנט איידער עס געשיקט צו די טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע.
אין אַ טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע, די גאַז איז פּאַמפּט דורך אַ ראָוטייטינג ימפּעללער, בשעת אין אַ מאָלעקולאַר פּאָמפּע די גאַז איז צעבראכן אַראָפּ אין קלענערער מאַלאַקיולז.טורבאָמאָלעקולאַר פּאַמפּס קענען צושטעלן הויך וואַקוום, און זייער פּאַמפּינג גיכקייַט קענען דערגרייכן 500 ~ 6000 ל / s.פֿאַר פּלאַזמע עטשינג מאשינען וואָס דאַרפן הויך וואַקוום, טורבאָמאָלעקולאַר פּאַמפּס זענען אַ ינדיספּענסאַבאַל טייל.
3. אַפּפּליקאַטיאָן פון טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע אין פּלאַזמע עטשינג מאַשין:
טורבאָמאָלעקולאַר פּאַמפּס זענען וויידלי געניצט אין פּלאַזמע עטשינג מאשינען.אין די וואַקוום סיסטעם פון אַ פּלאַזמע עטשינג מאַשין, אַ טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע איז יוזשאַוואַלי געניצט ווי די הויפּט פּאָמפּע צו העלפן דערגרייכן הויך וואַקוום.ווען די פּלאַזמע היץ די ייבערפלאַך, עס טראגט אַ גרויס סומע פון ויסמאַטערן גאַז, אַרייַנגערעכנט ריזידזשואַל רוי מאַטעריאַלס און כעמישער רעאַקציע פּראָדוקטן.די ויסמאַטערן גאַסאַז דאַרפֿן צו זיין פּאַמפּט אויס פון די וואַקוום קאַמער געשווינד און יפישאַנטלי צו ענשור די פעסטקייַט און רילייאַבילאַטי פון די פּלאַזמע עטשינג פּראָצעס.
די הויך פּאַמפּינג גיכקייַט און הויך וואַקוום פון טורבאָמאָלעקולאַר פּאַמפּס מאַכן זיי ידעאַל פּאַמפּס.אין אַ פּלאַזמע עטשער, די טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע איז יוזשאַוואַלי געשטעלט אין אַ באַזונדער פּאָמפּע אַפּאַראַט פֿאַר גרינג קאָנטראָל פון וואַקוום און דרוק.אין דער זעלביקער צייט, אין סדר צו באַשיצן די טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע, עס איז נייטיק צו ינסטאַלירן אַ שיכטע פון מעטשאַניקאַל פּאָמפּע און אַ דרוק רידוסינג וואַלוו אין פראָנט פון די טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע צו ויסמיידן יבעריק דרוק און שעדיקן צו די טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע.
4. אַדוואַנטאַגעס און לימיטיישאַנז פון טורבאָמאָלעקולאַר פּאַמפּס:
טורבאָמאָלעקולאַר פּאַמפּס האָבן פילע אַדוואַנטידזשיז, אַזאַ ווי הויך פּאַמפּינג גיכקייַט, הויך וואַקוום, נידעריק ראַש און הויך רילייאַבילאַטי.די הויך פּאַמפּינג גיכקייַט פון די טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע קענען פאַרגרעסערן די וואַקוום גראַד, און אין דער זעלביקער צייַט קענען רעדוצירן די פּאַמפּינג צייט, דערמיט ינקריסינג די פּראָדוקציע עפעקטיווקייַט.די נידעריק ראַש און הויך רילייאַבילאַטי פון די טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע איז אויך איינער פון זייַן אַדוואַנטידזשיז, וואָס מיטל אַז די טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע קענען האַלטן עפעקטיוו אָפּעראַציע פֿאַר אַ לאַנג צייַט, רידוסינג די נומער פון וישאַלט און פאַרבייַט.
אָבער, טורבאָמאָלעקולאַר פּאַמפּס אויך האָבן עטלעכע לימיטיישאַנז, אַזאַ ווי נידעריק פּאַמפּינג עפעקטיווקייַט פֿאַר זיכער גאַסאַז.פֿאַר בייַשפּיל, טורבאָמאָלעקולאַר פּאַמפּס האָבן נידעריק יקסטראַקשאַן עפעקטיווקייַט פֿאַר הידראָגען, און טורבאָמאָלעקולאַר פּאַמפּס אויך האָבן זיכער באדערפענישן פֿאַר גאַז דרוק און טעמפּעראַטור.דעריבער, אין פּראַקטיש אַפּלאַקיישאַנז, עס איז נייטיק צו סעלעקטירן דעם טיפּ און אַרבעט פּאַראַמעטערס פון די טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע לויט צו די ספּעציפיש סיטואַציע צו ענשור זייַן נאָרמאַל און עפעקטיוו אָפּעראַציע.
5. מסקנא:
אין די סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג פּראָצעס, די פּלאַזמע עטשינג מאַשין איז איינער פון די זייער וויכטיק ויסריכט.אין די וואַקוום סיסטעם פון די פּלאַזמע עטשינג מאַשין, די טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע, ווי די הויפּט פּאָמפּע, פיעסעס אַ וויטאַל ראָלע אין דערגרייכן הויך וואַקוום און סטאַביל פּלאַזמע עטשינג פּראָצעס.טורבאָמאָלעקולאַר פּאַמפּס האָבן הויך פּאַמפּינג גיכקייַט, הויך וואַקוום, נידעריק ראַש און אַפּטאַמאַזיישאַן צו טרעפן העכער טעכניש רעקווירעמענץ.
אין אַלגעמיין, די ראָלע פון די טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע אין די פּלאַזמע עטשינג מאַשין איז יראַפּלייסאַבאַל.אין די סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג אינדוסטריע, די טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע איז געווארן איינער פון די נייטיק ויסריכט, וואָס פיעסעס אַ וויכטיק ראָלע אין ינשורינג די פאָרשטעלונג און פעסטקייַט פון די פּלאַזמע עטשינג מאַשין.מיט די קעסיידערדיק אַנטוויקלונג און פּראָגרעס פון סעמיקאַנדאַקטער טעכנאָלאָגיע, די פאָדערונג און פאַרנעם פון נוצן פון טורבאָמאָלעקולאַר פּאַמפּס וועט פאָרזעצן צו יקספּאַנד.דעריבער, טורבאָמאָלעקולאַר פּאָמפּע מאַניאַפאַקטשערערז דאַרפֿן קאַנטיניואַסלי פֿאַרבעסערן פּראָדוקט פאָרשטעלונג און קוואַליטעט צו טרעפן די פאָדערונג פון די סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג אינדוסטריע פֿאַר העכער פאָרשטעלונג און מער סטאַביל ויסריכט.
דרוקרעכט מעלדונג:
גפּם ינטעליגענט טעכנאָלאָגיע (גואַנגדאָנג) קאָו, לטד אַדוואַקאַץ רעספּעקט און שוץ פון אינטעלעקטואַל פאַרמאָג רעכט און ינדיקייץ די מקור פון אַרטיקלען מיט קלאָר קוואלן.אויב איר געפֿינען אַז עס זענען קאַפּירייט אָדער אנדערע פּראָבלעמס אין דעם אינהאַלט פון דעם וועבזייטל, ביטע קאָנטאַקט אונדז צו האַנדלען מיט עס.קאָנטאַקט אינפֿאָרמאַציע:marketing01@gpmcn.com
פּאָסטן צייט: 20 אקטאבער 2023